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2.发明公开광믹싱 연속파 시스템을 이용한 소자 특성 측정 방법 및 이를 이용한 테라헤르츠 출력 측정 장치의 주파수 특성 측정 방법 无效使用全光电TERAHERTZ光刻系统进行器件测量的方法和使用它的TERAHERTZ测量装置的光谱测量方法
公开(公告)号：KR1020120072215A
公开(公告)日：2012-07-03
申请号：KR1020100134049
申请日：2010-12-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01R29/10
CPC classification number: G01R23/17 , G01R29/0885
Abstract: PURPOSE: A method for measurement of device characteristics using a photonic mixing continuous wave system and a terahertz output measuring device using the same are provided to measure the frequency characteristics of a terahertz photomixer antenna device and the frequency characteristics of a terahertz output measuring device. CONSTITUTION: A matching condition for the output impedance of a photomixer and the input impedance of an antenna is added to the output of a photomixer of a transmitter and the output of the photomixer and the antenna of the transmitter are calculated(S10). The output of the antenna of a receiver is calculated based on the output of the photomixer and the antenna of the transmitter(S30). The antenna output of the transmitter and the antenna output of the receiver are outputted to analyze the device characteristics of the photomixer and the antenna(S40).
Abstract translation: 目的：提供一种使用光子混合连续波系统测量器件特性的方法和使用该方法的太赫兹输出测量装置，以测量太赫兹光混频器天线装置的频率特性和太赫兹输出测量装置的频率特性。 构成：将混合器的输出阻抗和天线的输入阻抗的匹配条件加到发射机的光混合器的输出端，并计算光混合器和发射器天线的输出（S10）。 接收机的天线的输出根据光混合器的输出和发射机的天线来计算（S30）。 输出发射机的天线输出和接收机的天线输出，以分析光混合器和天线的装置特性（S40）。
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公开(公告)号：KR101191377B1
公开(公告)日：2012-10-15
申请号：KR1020080131596
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01J3/108 , G01J3/02 , G01J3/0208 , Y10T29/49826
Abstract: 본 발명은 테라헤르츠파 송수신 모듈 패키지 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 실리콘 볼렌즈, 광전도 안테나 및 집속 렌즈를 간단하게 정렬시켜 하나의 완전하고 독립된 테라헤르츠파 송수신 모듈 패키지를 구현함으로써, 테라헤르츠파를 용이하게 발생시키거나 측정할 수 있는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명에 따르면, 테라헤르츠파 발생 및 측정 시스템의 구축에 소요되는 시간 및 비용을 획기적으로 감소시킬 수 있으며, 테라헤르츠파 발생 및 측정 시스템의 단순화 및 소형화를 도모할 수 있다. 또한, 광전도 안테나에서 발생된 테라헤르츠파의 특성을 간단하게 측정할 수 있다. 게다가, 상부 및 하부 덮개에 의해 광전도 안테나, 실리콘 볼렌즈 및 집속 렌즈의 정렬 상태를 그대로 유지하면서 보존 및 운반이 가능하여 안정성을 확보할 수 있을 뿐만 아니라, 외부 환경에 의해 테라헤르츠파 소자가 오염되는 것을 최소화할 수 있다.
테라헤르츠파, 광전도 안테나, 실리콘 볼렌즈, 정렬-
公开(公告)号：KR1020110015107A
公开(公告)日：2011-02-15
申请号：KR1020090072651
申请日：2009-08-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S3/05
CPC classification number: H01S3/08013 , H01S1/005 , H01S3/0606 , H01S3/08036
Abstract: PURPOSE: An apparatus for generating parametric terahertz wave and a method for generating the same are provided to obtain technical and economical effects using commercial infrared laser and non-linear optical crystal. CONSTITUTION: A laser generator(100) generates near infrared laser. A non-linear optical crystal part(200) receives the near infrared laser and generates idler light according to the crystal direction orientation of crystal. The non-linear optical crystal part generates terahertz wave according to the wave number vector difference of the near infrared laser and the idler light. An emitting part emits the terahertz wave to the outside of the crystal.
Abstract translation: 目的：提供一种用于产生参数太赫兹波的装置及其产生方法，以使用商业红外激光和非线性光学晶体获得技术和经济效果。 构成：激光发生器（100）产生近红外激光。 非线性光学晶体部件（200）接收近红外激光，并根据晶体的晶体方向产生惰性光。 非线性光学晶体部分根据近红外激光器和惰轮光的波数向量差产生太赫兹波。 发射部分将太赫兹波发射到晶体的外部。
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5.发明公开
公开(公告)号：KR1020100073015A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR1020080131590
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: A THz wave Tx/Rx module which a silicon ball lens is unified with a photoconductive antenna and a manufacturing method thereof are provided to easily generate and measure THz wave. CONSTITUTION: A plurality of photoconductive antennas(240) is formed into an array structure on a substrate. The whole structure is cut into the fixed size in order that one photoconductive antenna locate on the silicon wafer of the fixed size. The side of the silicon wafer cut into the fixed size is ground and a hemisphere silicon ball lens(230) is formed. A signal wire for the electrical contact with an outside element is connected to the photoconductive antenna.
Abstract translation: 目的：提供硅球透镜与光电导天线一体化的太赫兹波Tx / Rx模块及其制造方法，以便于生成和测量太赫兹波。 构成：多个光电导天线（240）在衬底上形成阵列结构。 将整个结构切割成固定尺寸，以便一个光电导天线位于固定尺寸的硅晶片上。 将切割成固定尺寸的硅晶片的侧面研磨，并形成半球硅球透镜（230）。 用于与外部元件的电接触的信号线连接到光电导天线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090061958A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：KR1020070128991
申请日：2007-12-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L23/12
CPC classification number: H01L31/0203 , H01L31/02325
Abstract: A packing apparatus of terahertz device is provided to smoothly measure the electrical characteristic of the independent electrical device. The packing apparatus of terahertz device comprises a terahertz wave device(31), a device substrate(32), a ball lens block(33), a lower case(34) and an upper case(35). The terahertz wave device has the specific active region. The active region performs detection and the radiation of the terahertz wave. The device substrate has the opening region on the center. The terahertz wave device is settled in the device substrate. The opening area of the device substrate arranges with the active region of the terahertz wave device. The device substrate electrically connects with the terahertz wave device. The ball lens block is arranged on the terahertz wave device. The lower part and upper cases surround the device substrate and terahertz wave device. The lower part and upper cases expose the active region of the terahertz wave device.
Abstract translation: 提供太赫兹装置的包装装置以平滑地测量独立电气装置的电气特性。 太赫兹装置的包装装置包括太赫兹波装置（31），装置基板（32），球透镜块（33），下壳体（34）和上壳体（35）。 太赫兹波器件具有特定的有源区域。 有源区域执行太赫兹波的检测和辐射。 器件衬底在中心具有开口区域。 太赫兹波器件被安置在器件衬底中。 器件基板的开口面积与太赫兹波器件的有源区域配置。 器件衬底与太赫兹波器件电连接。 球形透镜块设置在太赫波装置上。 下部和上壳围绕器件衬底和太赫兹波器件。 下部和上部壳体暴露了太赫兹波器件的有源区域。
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公开(公告)号：KR100848317B1
公开(公告)日：2008-07-24
申请号：KR1020060124125
申请日：2006-12-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/00
CPC classification number: G01R31/2822 , G01R31/2841
Abstract: 주입되는 광파 및 전파를 이용하여 테라헤르츠파를 생성하는 테스트 대상 장치;
광섬유를 통해 전달되는 광을 이용하여 상기 테스트 대상 장치를 스캔하는 탐침; 및
상기 전파를 생성하여 상기 테스트 대상 장치에 주입하는 구동 발진기-
公开(公告)号：KR1020080052087A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：KR1020060124125
申请日：2006-12-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/00
CPC classification number: G01R31/2822 , G01R31/2841
Abstract: An apparatus and a method for generating THz-waves by heterodyning optical and electrical waves are provided to control precisely a near-field optical fiber probe by using the near-field optical fiber probe and a nano-actuator. A test target unit generates THz-waves by using injected optical waves and electric waves. A probe is formed to scan the test target unit by using light received through an optical fiber. A driving oscillator(7) generates the electric waves and applies the electric waves to the test target device. The probe includes a lossless optical waveguide part, a tapering optical fiber part, and a probe terminal in order to connect the optical waveguide part with the optical fiber. Diameter of the probe terminal is shorter than wavelength of the light. A scanning direction of the probe crosses the direction in which the electric waves are injected.
Abstract translation: 提供了一种用于通过外光学和电波产生太赫兹波的装置和方法，以通过使用近场光纤探针和纳米致动器精确地控制近场光纤探针。 测试目标单元通过使用注入的光波和电波产生太赫兹波。 形成探针，通过使用通过光纤接收的光来扫描测试目标单元。 驱动振荡器（7）产生电波并将电波施加到测试目标器件。 该探针包括无损光波导部分，锥形光纤部分和探针端子，以将光波导部分与光纤连接。 探针端子的直径比光的波长短。 探针的扫描方向与电波注入的方向交叉。
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公开(公告)号：KR100753840B1
公开(公告)日：2007-08-31
申请号：KR1020060081834
申请日：2006-08-28
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 라디얼 스터브를 공통으로 사용하여 크기를 줄인 강유전체 결합 선로형 위상 변위기가 개시된다. 본 발명에 따른 공통 라디얼 스터브를 이용한 강유전체 결합 선로형 위상 변위기는, 라디얼 스터브의 꼭짓점에 제 1 마이크로 스트립 라인들의 각각의 일측이 공통으로 연결되어 결합 선로들의 강유전체 박막에 DC 전압을 인가하는 다수의 DC 전압 인가 회로들을 구성하고, 제 1 마이크로 스트립 라인들의 각각의 타측은 결합 선로들과 직렬로 연결된 제 2 마이크로 스트립 라인들에 각각 연결되어 결합 선로로 DC 전압을 인가할 수 있도록 경로를 형성한다. 본 발명에 따르면, 마이크로파 특성의 저하 없이 강유전체 결합 선로형 위상 변위기 전체의 크기를 줄일 수 있다.
강유전체 박막, 결합 선로, coupled line, 위상 변위기, 라디얼 스터브, radial stub, 미앤더 라인, meander line-
公开(公告)号：KR100596391B1
公开(公告)日：2006-07-04
申请号：KR1020040101087
申请日：2004-12-03
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/20
CPC classification number: H01L21/022 , H01G7/06 , H01L21/02197 , H01L21/0226 , H01L21/31691 , H01L28/56 , H01P1/181
Abstract: 본 발명은 강유전체 박막의 유전 상수의 튜닝율 및 유전 손실의 한계성을 극복하기 위해 유전 상수의 큰 튜닝율과 작은 유전 손실을 갖는 새로운 강유전체/상유전체 다층 박막 및 그 제조 방법과, 상기 강유전체/상유전체 다층 박막을 구비하는 초고주파 가변 소자에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 강유전체/상유전체 다층 박막은 기판 상에 형성된 페로브스카이트 ABO
3 형 상유전체 종자층과, 상기 상유전체 종자층 위에 형성된 에피택셜 강유전체 (Ba
x Sr
1-x )TiO
3 박막을 포함한다. 본 발명에 따른 초고주파 가변 소자는 초고속, 저전력, 저가격화가 가능한 우수한 마이크로파 특성을 갖는 초고주파 주파수/위상 가변 소자를 구현할 수 있다.
강유전체, BST, 종자층, 유전 상수, 유전 손실, 주파수, 위상, 가변 소자
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