公开(公告)号：KR100592192B1

公开(公告)日：2006-06-26

申请号：KR1020040058197

申请日：2004-07-26

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김달현 ,  구자용 ,  김한철 ,  황찬용 ,  이인호 ,  김원동 ,  박병천 ,  이세경 ,  김종진

IPC: B82B3/00 ,  B82Y15/00

Abstract: 본 발명은 나노프로브(nano-probe)를 이용하여 기판 위에 있는 나노구조물(nano-structure)을 이동시키는 방법에 관한 것으로서, 특히 나노프로브와 나노구조물 사이에 작용하는 정전기력(electrostatic force)을 이용하여 신속하고 정확하며 단 한차례의 작업으로 손쉽게 나노구조물을 목표 지점으로 이동시킬 수 있는 나노프로브를 이용한 나노구조물의 이동 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 이동 방법은 상기 나노프로브에 전압을 인가하는 단계와, 상기 전압이 인가된 나노프로브를 상기 나노구조물 근방으로 이동시켜 상기 나노프로브에 나노구조물을 부착시키는 단계와, 상기 나노구조물이 부착된 나노프로브를 상기 기판 위의 목표 지점으로 이동시키는 단계와, 상기 목표 지점에서 상기 나노프로브에 인가된 전압을 끊어 상기 나노프로브에 부착된 나노구조물을 탈리시키는 단계를 포함한다.

公开(公告)号：KR100302459B1

公开(公告)日：2001-10-29

申请号：KR1019990044722

申请日：1999-10-15

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김달현 ,  구자용 ,  이세경 ,  김종진

IPC: G01F23/26

Abstract: 본발명에따른정전용량형센서콘트롤러의비선형성보정장치는, 기준커패시터의정전용량에비례하고정전용량형센서의정전용량에반비례하는전압을출력하는반전연산증폭수단과, 상기반전연산증폭수단의출력전압을 DC화하여 DC전압으로변환하는디모듈레이터와, 상기디모듈레이터의출력전압으로부터정전용량형센서의정전용량과표유정전용량을가산한정전용량에비례하는전압을구하는제1디바이더와, 상기제1디바이더의전압에신호를가산하여표유정전용량에비례하는신호를제거한후 정전용량형센서의정전용량에비례하는신호만을출력하는가산기와, 상기가산기의출력신호를거리의 1차항에선형비례하는출력전압으로변환하는제2디바이더로이루어진다. 본발명에의하면, 간단한구성으로비선형적으로출력되는거리나높이에대한정전용량형센서의데이터를선형적으로변환시켜정전용량형센서에의한거리및 높이측정의정확도를높일수 있는것이다.

公开(公告)号：KR1019960008358A

公开(公告)日：1996-03-22

申请号：KR1019940019471

申请日：1994-08-08

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 구자용 ,  김달현 ,  이세경 ,  김구영

IPC: G02B21/24