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公开(公告)号：KR100143506B1
公开(公告)日：1998-10-01
申请号：KR1019940019470
申请日：1994-08-08
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B21/32
Abstract: 본 발명은 탐침 위치 전압을 입력으로 하여 피드백시키는 주사형 터널링 현미경의 피드백 회로에 관한 것으로, 아날로그 스위치를 사용하여 샘플-홀드 기능을 향상시키기 위한 주사형 터널링 현미경의 피드백(Feedback) 회로에 관한 것으로 이를 위해 본 발명은 탐침 위치 전압을 입력으로 하여 피드백시키는 주사형 터널링 현미경의 피드백 회로에 있어서, 상기 터널링 전류전압과 피드백 회로의 최종 출력전압 중에서 하나를 선택하여 출력함으로써 피드백 기능을 제어하는 스위칭 수단(28)을 더 포함하여 구성된다.
따라서 본 발명은 첫째, 피드백 회로가 끊어진후 오랜 시간이 경과되어도 스캔너의 z축에 걸리는 전압의 변화가 없으므로 스펙트로스코피의 실험시 오랜 시간에 걸친 정밀한 측정을 할 수 있고, 둘째, z축 전압을 컴퓨터의 디지날/아날로그 변환기로 제어할 수 있으므로 샘플-홀더에 필요한 큰 용량을 갖는 캐패시터가 필요하지 않아 피드백 회로의 신뢰성과 속도를 향상시킬 수 있고, 셋째, 아날로그 스위치에 연산증폭기의 비반전 입력단을 통해 탐침 위치 제어 전압을 출력시킬 수 있으므로 서피스 모디케이션(Surface Modification)을 위채서 탐침시료간거리를 임의로 정밀하게 제어할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100143505B1
公开(公告)日：1998-10-01
申请号：KR1019940019471
申请日：1994-08-08
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B21/24
Abstract: 본 발명은 주사형 터널링 현미경(scanning tunneling microscope)에서의 밑판(baseplate)의 구조에 관한 것으로 더 상세하게는 현미경 밑판을 제조함에 있어서 자석이나 구리블록 등 댐핑(damping)용 부품을 고정할 마운트를 밑판과 일체화하여 하나의 구조물로 제작하되 밑판 블록의 내부나 벽면의 일부를 깎아내어 다른 용도로 사용할 공간을 확보하고 진동공진 주파수를 높인 것으로 자석이나 구리블록 등 댐핑 부품을 고정할 마운트를 밑판과 일체화하여 하나의 밑판 구조물로 제작하되 밑판 블록의 내부나 벽면의 일부를 깎아내서, 다른 용도로 사용할 공간을 확보하고 진동 공진 주파수를 높은 것을 특징으로 하는 주사형 터널링 현미경에서의 일체화된 밑판의 구조.
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公开(公告)号：KR100287957B1
公开(公告)日：2002-05-13
申请号：KR1019980055279
申请日：1998-12-16
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/30
Abstract: 본 발명은 광화이버를 통한 아토믹 포스 마이크로스코프 탐침광 전송방법에 관한 것으로, 광화이버를 통한 아토믹 포스 마이크로스코프 탐침광을 전송하는 방법으로서, AFM 팁(2)의 (10㎛ ∼ 100㎛) 크기보다 더 이 빛이 퍼지기 전에 팁에 광화이버 끝을 (100㎛ ∼ 500㎛)로 근접시키고, 빛이 팁 끝에서 전부 반사되어 4-cell 포토다이오드에서 검출되게 하되 샘플과 팁의 거리가 달라지면 팁과 시편 사이에 작용하는 힘의 크기가 달라져서 팁이 위 또는 아래로 구부러지고, 그러면 팁에서 반사된 레이저 빛의 반사각도가 달라져서 포토다이오드의 상부(2개 cell), 하부(2개 cell )에 입사하는 빛의 양이 달라져 상부가 하부보다 빛의 세기가 더 커지거나 작아진다. 그러면 상부와 하부 사이의 빛의 세기 차이를 측정하여 일정한 차이를 유지하는데 이것은 팁과 시편 사이가 일정한 거리로 유지된다는 것을 의미한다. 팁을 시편의 다른 지점으로 이동시키면 시편 표면의 높이가 다르므로 팁과 시편 사이의 거리가 달라져서 팁이 위로 혹은 아래로 휘어진다. 따라서 거리를 일정하게 유지시켜 주기 위해서 팁 혹은 시편을 움직여서 거리를 일정하게 유지시킨다. 이때 움직인 거리가 결국 그 지점에서의 표면 높낮이가 되는 것이다. 그래서 시편의 측정 지점을 바꾸면서 이 높낮이를 측정하면 시편의 표면 굴곡을 측정하는 것이 아토믹 포스 마이크로스코프의 원리이다. 그런데 우리는 광화이버를 팁에 가깝게 접근시키고 반사된 빛이 포토다이오드의 중앙에 입사하도록 광화이버를 조절하기 위하여 광화이버를 스테인리스스틸 튜브 안에 넣고 접착제로 고정시켜서 광화이버를 미세하게 조절하는 것이다.
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公开(公告)号：KR1020000039822A
公开(公告)日：2000-07-05
申请号：KR1019980055279
申请日：1998-12-16
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01B11/30
Abstract: PURPOSE: A method for transmitting atomic force microscope probe light through an optical fiber is provided to minimize a head and improve a laser property by using an optical fiber without using a lens. CONSTITUTION: In a method for transmitting atomic force microscope probe light, an extreme end of an optical fiber(1) approaches a tip(2) before light is dispersed over a size of the tip(2). When a distance between the tip(2) and a sample(4) is varied, the tip(2) is bent upward and downward so that laser reflected from the tip(2) can be deflected. By deflection of the laser, amounts of light incident to two cells. By measuring the difference, an irregulation of the surface of the sample(4) is measured. The optical fiber(1) is inserted into a tube(5) so as to adjust the optical fiber(1) such that the light reflected from the optical fiber can be incident to a center of a photo diode(3).
Abstract translation: 目的：提供通过光纤传输原子力显微镜探针光的方法，以最小化头部，并且通过在不使用透镜的情况下使用光纤来提高激光性能。 构成：在用于发射原子力显微镜探针光的方法中，在将光分散在尖端（2）的尺寸上之前，光纤（1）的末端接近尖端（2）。 当尖端（2）和样品（4）之间的距离改变时，尖端（2）向上和向下弯曲，使得从尖端（2）反射的激光可以偏转。 通过激光的偏转，入射到两个电池的光量。 通过测量差异，测量样品（4）的表面的不调节。 将光纤（1）插入管（5）中，以便调节光纤（1），使得从光纤反射的光可以入射到光电二极管（3）的中心。
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公开(公告)号：KR1020000000362A
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019990044722
申请日：1999-10-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01F23/26
Abstract: PURPOSE: A device for compensating a nonlinearity of a controller is provided to increase a precision of a distance and height measurement by a capacitive sensor with a simple structure. CONSTITUTION: A device for compensating a nonlinearity comprises:an inverse algorithm amplifying instrument outputting a voltage(B(Cr/Cx+Cs)) being in proportion to a capacitance of a standard capacitor(Cr) and inverse proportion to a capacitance of a capacitive sensor(Cx); a demodulator transforming the output voltage to a direct current(DC) voltage(D/(Cx+Cs)); a first divider figuring a voltage(ACx+ACs) being in proportion to the capacitance; an adder outputting the only signal(ACx) being in proportion to the capacitance of the capacitive sensor; and a second divider transforming the output signal from the adder to an output voltage(Xp) being in linear proportion to a linear term of a distance.
Abstract translation: 目的：提供一种用于补偿控制器非线性的装置，以通过具有简单结构的电容传感器提高距离和高度测量的精度。 构成：用于补偿非线性的装置包括：输出与标准电容器（Cr）的电容成比例的电压（B（Cr / Cx + Cs））的逆算法放大器，并且与电容器的电容成反比 传感器（CX）; 解调器将输出电压转换为直流（DC）电压（D /（Cx + Cs））; 形成与电容成比例的电压（ACx + ACs）的第一分压器; 输出与电容式传感器的电容成比例的唯一信号（ACx）的加法器; 以及将来自加法器的输出信号转换为与距离的线性项成线性比例的输出电压（Xp）的第二分频器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019960008363A
公开(公告)日：1996-03-22
申请号：KR1019940019469
申请日：1994-08-08
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L41/08
Abstract: 본 발명은 주사형 터널링 현미경에 사용되는 3차원 주사기(scanner)의 감도제어방법에 관한 것으로 주사형 터널링 현미경용 3차원 주사기에 있어서 원통형 3차원 주사기의 z축을 위한 전극을 바깥쪽에 형성시켜 내부전극을 접지시키거나 z 전압을 가하게 하여 열팽창보상에 이용하고 또 z-전극의 길이를 변화시켜 각축의 감도를 조절하게 함을 특징으로 하는 주사형 터널링 현미경에 사용되는 3차원 주사기의 감도제어방법.
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公开(公告)号：KR1019960008357A
公开(公告)日：1996-03-22
申请号：KR1019940019470
申请日：1994-08-08
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B21/32
Abstract: 본 발명은 탐침 위치 전압을 입력으로 하여 피드백시키는 주사형 터널링 현미경의 피드백 회로에 관한 것으로, 아날로그 스위치를 사용하여 샘플-홀드 기능을 향상시키기 위한 주사형 터널링 현미경의 피드백(Feedback) 회로에 관한 것으로 이를 위해 본 발명은 탐침 위치 전압을 입력으로 하여 피드백시키는 주사형터널링 현미경의 피드백 회로에 있어서, 상기 터널링 전류전압과 피드백 회로의 최종 출력전압 중에서 하나를 선택하여 출력함으로써 피드백 기능을 제어하는 스위칭 수단(28)을 더 포함하여 구성된다.
따라서 본 발명은 첫째, 피드백 회로가 끊어진후 오랜 시간이 경과되어도 스캔너의 z축에 걸리는 전압의 변화가 없으므로 스펙트로스코피의 실험시 오랜 시간에 걸친 정밀한 측정을 할 수 있고, 둘째, z축 전압을 컴퓨터의 디지탈/아날로그 변환기로 제어할 수 있으므로 샘플-홀더에 필요한 큰 용량을 갖는 캐패시터가 필요하지 않아 피드백 회로의 신뢰성과 속도를 향상시킬 수 있고, 셋째, 아날로그 스위치에 연선증폭기의 비반전 입력단을 통해 탐침 위치 제어 전압을 출력시킬 수 있으므로 서피스 모디피케이션(Surface Modification)을 위해서 탐침시료간거리를 임의로 정밀하게 제어할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100592192B1
公开(公告)日：2006-06-26
申请号：KR1020040058197
申请日：2004-07-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 나노프로브(nano-probe)를 이용하여 기판 위에 있는 나노구조물(nano-structure)을 이동시키는 방법에 관한 것으로서, 특히 나노프로브와 나노구조물 사이에 작용하는 정전기력(electrostatic force)을 이용하여 신속하고 정확하며 단 한차례의 작업으로 손쉽게 나노구조물을 목표 지점으로 이동시킬 수 있는 나노프로브를 이용한 나노구조물의 이동 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 이동 방법은 상기 나노프로브에 전압을 인가하는 단계와, 상기 전압이 인가된 나노프로브를 상기 나노구조물 근방으로 이동시켜 상기 나노프로브에 나노구조물을 부착시키는 단계와, 상기 나노구조물이 부착된 나노프로브를 상기 기판 위의 목표 지점으로 이동시키는 단계와, 상기 목표 지점에서 상기 나노프로브에 인가된 전압을 끊어 상기 나노프로브에 부착된 나노구조물을 탈리시키는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR100302459B1
公开(公告)日：2001-10-29
申请号：KR1019990044722
申请日：1999-10-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01F23/26
Abstract: 본발명에따른정전용량형센서콘트롤러의비선형성보정장치는, 기준커패시터의정전용량에비례하고정전용량형센서의정전용량에반비례하는전압을출력하는반전연산증폭수단과, 상기반전연산증폭수단의출력전압을 DC화하여 DC전압으로변환하는디모듈레이터와, 상기디모듈레이터의출력전압으로부터정전용량형센서의정전용량과표유정전용량을가산한정전용량에비례하는전압을구하는제1디바이더와, 상기제1디바이더의전압에신호를가산하여표유정전용량에비례하는신호를제거한후 정전용량형센서의정전용량에비례하는신호만을출력하는가산기와, 상기가산기의출력신호를거리의 1차항에선형비례하는출력전압으로변환하는제2디바이더로이루어진다. 본발명에의하면, 간단한구성으로비선형적으로출력되는거리나높이에대한정전용량형센서의데이터를선형적으로변환시켜정전용량형센서에의한거리및 높이측정의정확도를높일수 있는것이다.
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