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公开(公告)号：WO2009157648A2
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：PCT/KR2009/002537
申请日：2009-05-13
Inventor： 김달현
IPC: G01N13/18
CPC classification number: G01Q60/44
Abstract: 본 발명은 이온전도현미경에 관한 것으로 특히, 정전류를 피펫 전극에 인가하여 피펫구멍과 시편표면 사이의 거리에 반비례하는 이온전도저항의 크기에 비례하는 신호를 피드백신호로 사용함으로써 기존의 거리진동모드현미경의 단점인 저속성을 극복하여 고속으로 주사가 가능하고 아울러 기존의 정전압모드의 낮은 감도를 극복하여 거리진동모드에 준하는 고감도 특성을 갖는 고속 정전류모드 이온전도현미경에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따른 고속 정전류 이온전도현미경은 정전압이 인가된 피펫 전극을 구비한 피펫의 피펫구멍을 통해 흐르는 이온전류의 값의 변화를 감지하여 이를 이미지화하는 피펫을 구비한 기존의 정전압모드 이온전도현미경과는 달리, 피펫전극에 정전류를 인가하여, 시편표면-피펫구멍과의 거리가 가까워지면 이온전도저항이 대략 (1/거리)로 가파르게 증가하고 거리에 매우 민감하게 변하게 되는데 이 이온전도저항과 비례하는 신호를 피드백신호로 사용함으로써 고속 고감도 고분해능 이미징이 가능한 장점이 있다.
Abstract translation: 本发明是一种扫描离子电导显微镜，特别是以高速恒流模式工作的扫描离子传导显微镜，其中使用与离子电导电阻的大小成比例的信号将恒定电流施加到移液管电极上，该信号与 移液管孔和样品表面之间的距离作为反馈信号，使得作为距离调制模式操作的现有显微镜的缺点的低速问题可以被克服，使得能够高速扫描，并且现有显微镜的操作灵敏度差 可以克服恒流模式，提供与距离调制模式相当的高灵敏度特性。 与在恒压模式下操作的现有扫描离子电导显微镜不同，其中安装在显微镜中的移液管具有恒定施加电压的移液管电极，移液管电极布置在移液管孔内，以感测流经 孔径变化为图像，根据本发明的扫描离子电导显微镜对移液管电极施加恒定电流，使得如果样品表面和移液管孔之间的距离减小，则离子电导阻力大大增加 1 /距离对距离变化非常敏感，与离子电导电阻成比例的信号用作反馈信号，以实现高速，高灵敏度和高分辨率成像。
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公开(公告)号：WO2016105109A1
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：PCT/KR2015/014143
申请日：2015-12-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01Q60/24
Abstract: 본 발명의 목적은 원자간력 현미경(AFM)의 헤드 구조를 최적화함으로써, 중량 및 부피 최소화와 구조적 안정성 향상을 실현하는 원자간력 현미경용 일체형 헤드를 제공함에 있다. 본 발명의 다른 목적은, 이러한 일체형 헤드를 장착함으로써 동적 특성이 향상되어 고속 헤드 스캔이 가능해서 대면적 샘플 이미징에 활용할 수 있는 헤드 일체형 원자간력 현미경을 제공함에 있다. 본 발명의 또다른 목적은, 이처럼 동적 특성이 향상된 헤드 일체형 원자간력 현미경과 전자 현미경 또는 광학 현미경을 융합함으로써, 고속 위치탐색 및 이미징이 가능함과 동시에 관심 영역에서는 원자상 수준까지의 3차원 형상의 정밀 관찰이 가능하도록 하는, 헤드 일체형 원자간력 현미경을 포함한 융합 현미경을 제공함에 있다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于原子力显微镜（AFM）的集成头，通过AFM的头部结构的优化，其具有最小的重量和体积以及改进的结构完整性。 本发明的另一个目的是提供一种头部集成的AFM，其具有安装在其上的上述集成头，并且具有改善的动态特性，使得可以进行高速头扫描，并且AFM可用于广域样本成像。 本发明的另一个目的是提供一种复合显微镜，其包括头部集成的AFM，复合显微镜是具有改善的动态特性的上述头部集成AFM和电子显微镜或光学显微镜的组合，以便是 能够进行高速位置跟踪和成像，以及在原子级别上感兴趣区域中的3D形状的详细观察。
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公开(公告)号：WO2017116155A1
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：PCT/KR2016/015456
申请日：2016-12-29
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명의 목적은 정밀하고 미세한 이동을 수행함에 있어서 단순한 구조를 통해 시스템 복잡성을 최소화하면서 원하는 이동을 원활하게 수행할 수 있도록 하는 구조를 가지는, 변위전달용 선형구조물 및 이를 이용한 1차원 및 3차원 미세 이동 장치를 제공함에 있다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于位移传输的线性结构，其具有能够通过简单的结构在执行精确和精细移动的同时最小化系统复杂性而平稳地执行期望的移动的结构 并提供一种使用其的一维和三维精细运动装置。
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公开(公告)号：WO2013100424A1
公开(公告)日：2013-07-04
申请号：PCT/KR2012/010528
申请日：2012-12-06
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/317 , B82B3/0023 , B82B3/0076 , Y10S977/84 , Y10S977/842 , Y10S977/901
Abstract: 본 발명의 목적은 이온빔을 이용하여 일차원 또는 이차원 나노 구조물을 굽힘 변형시키되, 나노 구조물의 회전 등과 같은 움직임을 필요로 하지 않으면서 굽힘 방향을 바꿀 수 있도록 하는, 이온빔을 이용한 일차원 또는 이차원 나노 구조물의 무운동 굽힘 방법을 제공함에 있다. 본 발명의 이온빔을 이용한 일차원 또는 이차원 나노 구조물의 무운동 굽힘 방법은, 이온빔(10)을 조사하여 일차원 또는 이차원 형상의 나노 구조물(20)을 구부러뜨리는 굽힘 방법으로서, 상기 이온빔(10)의 에너지에 따라 상기 나노 구조물(20)의 굽힘 방향이 제어되거나, 또는 상기 나노 구조물(20)의 굵기 또는 두께에 따라 상기 나노 구조물(20)의 굽힘 방향이 제어되는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种使用离子束的一维或二维纳米结构的无运动弯曲方法，其中一维或二维纳米结构通过使用一维或二维纳米结构弯曲成不同的形状 离子束，使得可以改变弯曲方向而不需要诸如纳米结构的旋转的运动。 使用本发明的离子束的一维或二维纳米结构的无运动弯曲方法是一种弯曲方法，其中将具有一维或二维形状的纳米结构（20）制成 通过照射离子束（10）的曲线，并且涉及根据离子束（10）的能量来控制纳米结构（20）的弯曲方向，或者控制纳米结构（20）的弯曲方向， 根据纳米结构（20）的脂肪或厚度。
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公开(公告)号：KR1020160078534A
公开(公告)日：2016-07-05
申请号：KR1020140187700
申请日：2014-12-24
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01Q60/24
CPC classification number: G01Q60/32 , G01Q20/02 , G01Q30/02 , G01Q30/18 , G01Q60/38 , G01Q60/24 , G01Q60/00 , G01Q60/34 , Y10S977/852
Abstract: 본발명의목적은원자간력현미경(AFM)의헤드구조를최적화함으로써, 중량및 부피최소화와구조적안정성향상을실현하는원자간력현미경용일체형헤드를제공함에있다. 본발명의다른목적은, 이러한일체형헤드를장착함으로써동적특성이향상되어고속헤드스캔이가능해서대면적샘플이미징에활용할수 있는헤드일체형원자간력현미경을제공함에있다. 본발명의또다른목적은, 이처럼동적특성이향상된헤드일체형원자간력현미경과전자현미경또는광학현미경을융합함으로써, 고속위치탐색및 이미징이가능함과동시에관심영역에서는원자상수준까지의 3차원형상의정밀관찰이가능하도록하는, 헤드일체형원자간력현미경을포함한융합현미경을제공함에있다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种具有最小重量和体积的原子力显微镜（AFM）的集成头，以及通过优化AFM的头部结构来提高结构稳定性。 本发明的另一个目的是提供一种头部集成的AFM，其具有安装在其上的上述集成头，具有改善的动态特性，使得能够进行高速头扫描，并且AFM能够用于宽 - 样品成像。 本发明的另一个目的是提供一种包括头部集成的AFM的融合显微镜。 融合显微镜是具有改进的动态特性的上述头部集成AFM和电子显微镜或光学显微镜的组合，使得高速位置搜索和成像以及兴趣区域中的3D形状的详细观察 原子级别是可能的。 用于AFM的集成头部包括：测量单元（110），其形成为沿纵向从其一侧延伸到另一侧的板，其中具有第一反射镜（211）的第一反射镜安装座（111）和 具有第二反射镜（212）的第二反射镜安装座（112）在纵向方向上从一侧到另一侧彼此预定距离地连续地放置和固定，并且具有尖端（115） 215），其具有探针并且形成为沿着从第一反射镜安装件（111）放置的长度方向延伸并且沿高度方向和宽度方向固定的板，并且所述尖端（215）的下部具有： 一个空的空间; 源单元（120），其形成为连接到所述测量单元（110）的一侧的块，所述块在长度方向上具有贯通路径（125），所述通孔设置有透镜（225），所述透镜 侧具有固定光源单元（220）; 以及感测单元（130），其形成为连接到所述测量单元（110）的另一侧的块，所述测量单元（110）的另一侧具有容纳所述位置敏感光电检测器（PSPD）（230）的纵向方向上的容纳路径（135），并且 迷恋。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101008656B1
公开(公告)日：2011-01-25
申请号：KR1020080047542
申请日：2008-05-22
Applicant: 한국표준과학연구원
Inventor： 김달현
Abstract: 본 발명은 2차원 도펀트이미징 공간분해능 기준 물질에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 도펀트확산경계면을 배제하여 1nm 이하의 고분해능까지 평가할 수 있는 2차원 도펀트이미징 공간분해능 기준 물질에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 본 발명은 도펀트가 포함되어 있는 반도체 박막층; 및 상기 도펀트를 포함하지 않는 상기 반도체 물질을 이용하여 상기 반도체 박막층 위에 형성된 코팅층; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 도펀트 이미징 공간분해능 기준 물질을 제공한다.
공간분해능, 도펀트, 전기주사탐침현미경, 기준 물질-
公开(公告)号：KR100816088B1
公开(公告)日：2008-03-24
申请号：KR1020060130405
申请日：2006-12-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A scanning ion conductance microscope with a multipipet is provided to obtain a wide area of images at a time by detecting ion currents in barrels with the multipipet, thereby improving speed, resolution, and a signal to noise ratio. A scanning ion conductance microscope includes a pipet(1). The pipet detects change of ion current flowing through a pipet hole to convert into an image. A pair of pipets with pipet electrodes(12) constitute a multipipet. The ion currents flowing through the pipet holes of the multipipet are compared with each other to detect a sample. The scanning ion conductance microscope further includes a noise reference pipet(10). The noise reference pipet, installed at a flat part of the sample, measures the ion current of the flat part to detect noise, and extracts the noise included in the ion current detected by the multipipet.
Abstract translation: 提供具有多吸嘴的扫描离子电导显微镜，以通过检测与多管的桶中的离子电流来一次获得广谱图像，从而提高速度，分辨率和信噪比。 扫描离子电导显微镜包括移液管（1）。 移液管检测流过移液孔的离子电流的变化，以转换为图像。 具有移液管电极（12）的一对移液管构成多管。 将流过多吸嘴的移液孔的离子流彼此进行比较以检测样品。 扫描离子电导显微镜还包括噪声参考吸管（10）。 噪声参考吸管安装在样品的平坦部分，测量平面部分的离子电流以检测噪声，并提取由多吸嘴检测到的离子电流中包含的噪声。
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公开(公告)号：KR1020070052844A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：KR1020050110592
申请日：2005-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: B82B3/0061 , B01J19/081 , B82B3/0076 , B82Y15/00
Abstract: 본 발명은 입자빔(particle beam)을 이용한 나노 크기 물질(nanometer-scale material)의 변형 방법 및 그러한 방법을 이용하여 제조되는 나노 공구(nano-tool)에 관한 것이다. 본 발명에 따른 입자빔을 이용한 나노 크기 물질의 변형 방법은 나노 크기 물질에 입자빔을 조사하여 상기 나노 크기 물질을 상기 입자빔의 방향으로 휘게 하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR100143506B1
公开(公告)日：1998-10-01
申请号：KR1019940019470
申请日：1994-08-08
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B21/32
Abstract: 본 발명은 탐침 위치 전압을 입력으로 하여 피드백시키는 주사형 터널링 현미경의 피드백 회로에 관한 것으로, 아날로그 스위치를 사용하여 샘플-홀드 기능을 향상시키기 위한 주사형 터널링 현미경의 피드백(Feedback) 회로에 관한 것으로 이를 위해 본 발명은 탐침 위치 전압을 입력으로 하여 피드백시키는 주사형 터널링 현미경의 피드백 회로에 있어서, 상기 터널링 전류전압과 피드백 회로의 최종 출력전압 중에서 하나를 선택하여 출력함으로써 피드백 기능을 제어하는 스위칭 수단(28)을 더 포함하여 구성된다.
따라서 본 발명은 첫째, 피드백 회로가 끊어진후 오랜 시간이 경과되어도 스캔너의 z축에 걸리는 전압의 변화가 없으므로 스펙트로스코피의 실험시 오랜 시간에 걸친 정밀한 측정을 할 수 있고, 둘째, z축 전압을 컴퓨터의 디지날/아날로그 변환기로 제어할 수 있으므로 샘플-홀더에 필요한 큰 용량을 갖는 캐패시터가 필요하지 않아 피드백 회로의 신뢰성과 속도를 향상시킬 수 있고, 셋째, 아날로그 스위치에 연산증폭기의 비반전 입력단을 통해 탐침 위치 제어 전압을 출력시킬 수 있으므로 서피스 모디케이션(Surface Modification)을 위채서 탐침시료간거리를 임의로 정밀하게 제어할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR101350704B1
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：KR1020110142613
申请日：2011-12-26
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/317 , B82B3/0023 , B82B3/0076 , Y10S977/84 , Y10S977/842 , Y10S977/901
Abstract: 본 발명의 목적은 이온빔을 이용하여 일차원 또는 이차원 나노 구조물을 굽힘 변형시키되, 나노 구조물의 회전 등과 같은 움직임을 필요로 하지 않으면서 굽힘 방향을 바꿀 수 있도록 하는, 이온빔을 이용한 일차원 또는 이차원 나노 구조물의 무운동 굽힘 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 이온빔을 이용한 일차원 또는 이차원 나노 구조물의 무운동 굽힘 방법은, 이온빔(10)을 조사하여 일차원 또는 이차원 형상의 나노 구조물(20)을 구부러뜨리는 굽힘 방법으로서, 상기 이온빔(10)의 에너지에 따라 상기 나노 구조물(20)의 굽힘 방향이 제어되거나, 또는 상기 나노 구조물(20)의 굵기 또는 두께에 따라 상기 나노 구조물(20)의 굽힘 방향이 제어되는 것을 특징으로 한다.
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