公开(公告)号：EP1346383A2

公开(公告)日：2003-09-24

申请号：EP01962238.0

申请日：2001-08-17

Applicant: 3M Innovative Properties Company

Inventor： WEAVER, Billy, L. ,  GOETZ, Douglas, P. ,  HAGEN, Kathy, L. ,  HAMERLY, Mike, E. ,  SMITH, Robert, G. ,  THEISS, Silva, K.

IPC: H01H1/00

CPC classification number: B81B3/0024 ,  B81B2201/031 ,  H01H1/0036 ,  H01H61/01 ,  H01H2001/0068 ,  H01H2061/006 ,  H01H2061/008

Abstract: A micrometer sized, single-stage, horizontal and vertical thermal actuator capable of repeatable and rapid movement of a micrometer-sized optical device off the surface of a substrate. The horizontal and vertical thermal actuator is constructed on a surface of a substrate. At least one hot arm has a first end anchored to the surface and a free end located above the surface. A cold arm has a first end anchored to the surface and a free end. The cold arm is located above and laterally offset from the hot arm relative to the surface. The cold arm is adapted to provide controlled bending near the first end thereof. A member mechanically and electrically couples the free ends of the hot and cold arms such that the actuator exhibits horizontal and vertical displacement when current is applied to at least the hot arm.

公开(公告)号：EP1294635A1

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：EP01927492.7

申请日：2001-05-02

Applicant: Silverbrook Research Pty. Limited

Inventor： SILVERBROOK, Kia,Silverbrook Research Pty Ltd

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  B41J2/045

CPC classification number: B41J2/1645 ,  B41J2/14427 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1648 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/052 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49083 ,  Y10T29/49401

Abstract: A thermal bend actuator ( 6 ) is provided with a group of upper arms ( 23, 25, 26 ) and a group of lower arms ( 27, 28 ) which are non planar, so increasing the stiffness of the arms. The arms ( 23, 25, 26,27,28 ) may be spaced transversely of each other and do not overly each other in plan view, so enabling all arms to be formed by depositing a single layer of arm forming material

公开(公告)号：EP1081391A2

公开(公告)日：2001-03-07

申请号：EP00810770.8

申请日：2000-08-29

Applicant: JDS Uniphase Inc. ,  Cronos Integrated Microsystems, Inc.

Inventor： Dhuler, Vijayakumar R. ,  Walters, Mark David

IPC: F15C5/00

CPC classification number: F15C5/00 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/051 ,  B81C2203/031 ,  B81C2203/036 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0007 ,  F16K99/0009 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0036 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  H01H2001/0042

Abstract: A microelectromechanical (MEMS) device (10) is provided that includes a microelectronic substrate (50) and a thermally actuated microactuator (20). For example, the MEMS device (10) may be a valve. As such, the valve may include at least one valve plate (30) that is controllably brought into engagement with at least one valve opening (40) in the microelectronic substrate (50) by selective actuation of the microactuator (20). While the MEMS device (10) can include various microactuators (20), the microactuator advantageously includes a pair of spaced apart supports (22) disposed on the substrate (50) and at least one arched beam (24) extending therebetween. The microactuator (20) may further include metallization traces (70) on distal portions (23) of the arched beams (24) to constrain the thermally actuated regions of arched beams to medial portions thereof. The valve may also include a latch (680) for maintaining the valve plate (30) in a desired position without requiring continuous energy input to the microactuator (20).

Abstract translation: 提供了一种包括微电子衬底（50）和热致动微致动器（20）的微机电（MEMS）装置（10）。 例如，MEMS器件（10）可以是阀。 因此，阀可以包括至少一个阀板（30），其通过选择性地致动微致动器（20）而可控制地与微电子衬底（50）中的至少一个阀开口（40）接合。 虽然MEMS器件（10）可以包括各种微致动器（20），微致动器有利地包括设置在基板（50）上的一对间隔开的支撑件（22）和在其间延伸的至少一个拱形梁（24）。 微致动器（20）还可包括在拱形梁（24）的远侧部分（23）上的金属化走线（70），以将拱形梁的热致动区域约束到其中间部分。 阀还可以包括用于将阀板（30）保持在期望位置的闩锁（680），而不需要对微致动器（20）的连续能量输入。

公开(公告)号：WO2007077397A3

公开(公告)日：2007-08-30

申请号：PCT/FR2007000013

申请日：2007-01-05

Applicant: CENTRE NAT RECH SCIENT ,  LUCAT CLAUDE ,  MENIL FRANCIS ,  DEBEDA-HICKEL HELENE ,  GINET PATRICK

Inventor： LUCAT CLAUDE ,  MENIL FRANCIS ,  DEBEDA-HICKEL HELENE ,  GINET PATRICK

IPC: B81C99/00 ,  H01L41/29 ,  H01L41/39

CPC classification number: B81C99/0095 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0118 ,  H01L41/107 ,  H01L41/27 ,  H01L41/29 ,  H01L41/314 ,  Y10T29/42 ,  Y10T428/24917 ,  Y10T428/24926

Abstract: The invention relates to the production of multilayer microcomponents comprising one or more layers, each consisting of a material M chosen from metals, metal alloys, glasses, ceramics and glass-ceramics. The method consists in depositing, on a substrate, one or more layers of an ink P and one or more layers of an ink M, each layer being deposited in a predetermined pattern, each ink layer being at least partially consolidated before deposition of the next layer, in completely consolidating the partially consolidated layers of ink M after their deposition, and in completely or partially removing the material of each of the layers of ink P. An ink P consists of a thermosetting resin containing a mineral filler or of a mixture comprising a mineral material and an organic binder. An ink M consists of a mineral material that is a precursor of the material M and an organic binder. The inks are deposited by casting or by extrusion.

Abstract translation: 本发明涉及包括一层或多层的多层微组件的制造，每层由选自金属，金属合金，玻璃，陶瓷和玻璃陶瓷的材料M组成。 该方法在于在衬底上沉积一层或多层油墨P和一层或多层油墨M，每层以预定图案沉积，每个油墨层在沉积下一层之前至少部分固结 层，在其沉积之后完全固化部分固化的油墨层M，以及完全或部分地去除每个油墨层P的材料。油墨P由含有矿物填料或含有 矿物材料和有机粘合剂。 油墨M由作为材料M的前体的矿物材料和有机粘合剂组成。 油墨通过铸造或挤出沉积。

公开(公告)号：WO2003045838A1

公开(公告)日：2003-06-05

申请号：PCT/JP2001/010443

申请日：2001-11-29

Applicant: 株式会社 テクノネットワーク四国 ,  橋口 原 ,  三原 豊 ,  吹野岳生 ,  原 隆文 ,  藤田博之

Inventor： 橋口　原 ,  三原　豊 ,  吹野岳生 ,  原　隆文 ,  藤田博之

IPC: B82B1/00

CPC classification number: B81C99/002 ,  B25J7/00 ,  B25J9/0015 ,  B25J15/0253 ,  B81B2201/031 ,  F03G7/06 ,  Y10S977/962

Abstract: A nano gripper, comprising a pair of arms (71, 71) opposed to each other, a pair of projected parts (72, 72) formed on the tip part opposed surfaces of the pair of arms (71, 71) with the tip parts of the arms opposed to each other, and pairs of silicon extendable and thermally expanding actuators (75, 76) allowing the tip parts of the pair of arms (71, 71) to be moved close to and apart from each other, wherein the tip parts of the projected parts (72) are formed in a curvature of 50 nano meter or less, and the projected parts (72) are formed of silicon crystals and have a triangular pyramid shape with an apex formed of surfaces (100, 001, and 111).

Abstract translation: 一种纳米夹持器，包括彼此相对的一对臂（71,71），一对突出部分（72,72），形成在所述一对臂（71,71）的顶端部相对表面上，所述突出部分具有尖端部分 彼此相对的臂以及允许所述一对臂（71,71）的尖端部分彼此靠近和分开地移动的一对硅可延伸和热膨胀致动器（75,76），其中所述尖端 突起部（72）的一部分形成为50纳米以下的曲率，突出部（72）由硅晶体形成，并具有三角锥形状，顶点由表面（100,001和 111）。

公开(公告)号：WO0223565A2

公开(公告)日：2002-03-21

申请号：PCT/US0125786

申请日：2001-08-17

Applicant: 3M INNOVATIVE PROPERTIES CO

Inventor： WEAVER BILLY L ,  GOETZ DOUGLAS P ,  HAGEN KATHY L ,  HAMERLY MIKE E ,  SMITH ROBERT G ,  THEISS SILVA K

IPC: G02B26/08 ,  H01H1/00 ,  H01H61/01 ,  H01H

CPC classification number: B81B3/0024 ,  B81B2201/031 ,  H01H1/0036 ,  H01H61/01 ,  H01H2001/0068 ,  H01H2061/006 ,  H01H2061/008

Abstract: A micrometer sized, single-stage, horizontal and vertical thermal actuator capable of repeatable and rapid movement of a micrometer-sized optical device off the surface of a substrate. The horizontal and vertical thermal actuator is constructed on a surface of a substrate. At least one hot arm has a first end anchored to the surface and a free end located above the surface. A cold arm has a first end anchored to the surface and a free end. The cold arm is located above and laterally offset from the hot arm relative to the surface. The cold arm is adapted to provide controlled bending near the first end thereof. A member mechanically and electrically couples the free ends of the hot and cold arms such that the actuator exhibits horizontal and vertical displacement when current is applied to at least the hot arm.

Abstract translation: 微米尺寸的单级，水平和垂直热致动器，其能够将微米尺寸的光学器件重复并快速地移动离开衬底的表面。 水平和垂直热致动器构造在基板的表面上。 至少一个热臂具有锚固在表面上的第一端和位于表面上方的自由端。 冷臂具有锚固在表面上的第一端和自由端。 冷臂位于热臂上方并相对于表面横向偏移。 冷臂适于在其第一端附近提供受控的弯曲。 机构和电气耦合热臂和冷臂的自由端，使得致动器在至少对热臂施加电流时呈现水平和垂直位移。

公开(公告)号：WO0199098A2

公开(公告)日：2001-12-27

申请号：PCT/US0119399

申请日：2001-06-18

Applicant: UNIV BRIGHAM YOUNG ,  HOWELL LARRY ,  LYON SCOTT

Inventor： HOWELL LARRY ,  LYON SCOTT

IPC: B81B3/00 ,  F03G7/06 ,  H01H1/00 ,  H01H61/00 ,  H02N10/00 ,  G11B

CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/051 ,  F03G7/06 ,  H01H61/00 ,  H01H2061/006 ,  H02N10/00

Abstract: A microactuator (10) providing an output force and displacement in response to an increase in thermal energy is disposed. The microactuator (10) may have a substantially straight expansion member (20, 22) with a first and a second end. The first end may be coupled to a base (12, 16) and a second end may be coupled to a shuttle (24). The expansion member is capable of elongating in a elongation direction. Elongation of the expansion member may urge the shuttle to translate in an output direction substantially different than the elongation direction. In certain embodiments, multiple expansion members are arrayed along one side of the shuttle to drive the shuttle against a surface. Alternatively, expansion members may be disposed on both sides of the shuttle to provide balanced output force. If desired, multiple microactuators may be linked together to multiply the output displacement and/or output force.

Abstract translation: 设置提供输出力和响应于热能增加的位移的微致动器（10）。 微致动器（10）可以具有带有第一和第二端的基本直的膨胀构件（20,22）。 第一端可以联接到基座（12,16），并且第二端可以联接到梭子（24）。 膨胀构件能够在伸长方向上伸长。 膨胀构件的伸长可以促使梭在基本上不同于伸长方向的输出方向上平移。 在某些实施例中，多个膨胀构件沿梭子的一侧排列以驱动穿梭件抵靠表面。 或者，扩展构件可以设置在梭子的两侧以提供平衡的输出力。 如果需要，多个微致动器可以连接在一起以乘以输出位移和/或输出力。

公开(公告)号：WO2013079596A1

公开(公告)日：2013-06-06

申请号：PCT/EP2012/073968

申请日：2012-11-29

Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

Inventor： CASSET, Fabrice

IPC: B81B3/00 ,  F03G7/06 ,  H01L41/113 ,  H02N10/00 ,  H02N2/00 ,  H03H9/15 ,  F24J3/00 ,  H03H9/24

CPC classification number: F24V99/00 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0081 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2201/031 ,  B81B2201/032 ,  F03G7/06 ,  H01L41/1136 ,  H02N2/18

Abstract: Ce dispositif de génération d'une seconde variation ΔΤ 2 de température à partir d'une première variation ΔΤ 1 de température d'utilisation, comporte: - une couche (30) en matériau élastocalorique dont la température interne est apte à varier de ΔΤ 2 en réponse à une variation donnée Δσ d'une contrainte mécanique appliquée sur cette couche en matériau élastocalorique, la variation donnée Δσ étant induite par la première variation ΔΤ 1 de température - un élément suspendu (24) en contact mécanique avec la couche en matériau élastocalorique de manière à appliquer sur cette couche une contrainte mécanique qui varie en réponse à la variation ΔΤ 1 de température d'utilisation, cet élément suspendu (24) étant agencé de manière à faire varier de Δσ la contrainte mécanique appliquée sur la couche en matériau élastocalorique en réponse à la variation ΔΤ 1 de température pour générer ainsi la seconde variation ΔΤ 2 de température.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于从第一使用温度变化DeltaTau1产生第二温度变化DeltaTau2的装置，包括弹性体材料层（30），其内部温度响应于给定的变化Δtau2而变化 施加到所述弹性体材料层上的机械应力，由第一温度变化DeltaTau1引起的给定变化量Deltasigma和与弹性体材料层机械接触的悬浮元件（24），以将所述机械应力施加到所述层上， 根据使用温度变化DeltaTau1而变化。 所述悬挂元件（24）被设置成响应于温度变化DeltaTau1而引起施加到弹性体材料层上的机械应力从Deltasigma的变化，从而产生第二温度变化DeltaTau2。

公开(公告)号：WO2009005683A8

公开(公告)日：2010-01-28

申请号：PCT/US2008007944

申请日：2008-06-26

Applicant: LUCENT TECHNOLOGIES INC ,  GASPARYAN ARMAN ,  GATES JOHN VANATTA ,  SIMON MARIA ELINA

Inventor： GASPARYAN ARMAN ,  GATES JOHN VANATTA ,  SIMON MARIA ELINA

IPC: H01H37/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/014 ,  B81B2201/031 ,  H01H37/00 ,  H01H2001/0047 ,  H01H2037/008 ,  H01H2061/006 ,  H01H2061/008

Abstract: The present invention provides a bi-directional microelectromechanical element, a microelectromechanical switch including the bi-directional element, and a method to reduce mechanical creep in the bi-directional element. In one embodiment, the bi-directional microelectromechanical element includes a cold beam having a free end and a first end connected to a cold beam anchor. The cold beam anchor is attached to a substrate. A first beam pair is coupled to the cold beam by a free end tether and is configured to elongate when heated thereby to a greater temperature than a temperature of the cold beam. A second beam pair is located on an opposing side of the cold beam from the first beam pair and is coupled to the first beam pair and the cold beam by the free end tether. The second beam pair is configured to elongate when heated thereby to the greater temperature.

Abstract translation: 本发明提供一种双向微电子机械元件，包括双向元件的微机电开关，以及减少双向元件中机械蠕变的方法。 在一个实施例中，双向微机电元件包括​​具有自由端的冷梁和连接到冷束锚的第一端。 冷梁锚附接到基板。 第一束对通过自由端系绳连接到冷束，并且被构造成在被加热时延伸到比冷束的温度更大的温度。 第二光束对位于与第一光束对的冷光束的相对侧上，并且通过自由端系绳耦合到第一光束对和冷光束。 第二束对被配置成在被加热时延长到更高的温度。

公开(公告)号：WO2007077397A2

公开(公告)日：2007-07-12

申请号：PCT/FR2007/000013

申请日：2007-01-05

Applicant: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  LUCAT, Claude ,  MENIL, Francis ,  DEBEDA-HICKEL, Hélène ,  GINET, Patrick

Inventor： LUCAT, Claude ,  MENIL, Francis ,  DEBEDA-HICKEL, Hélène ,  GINET, Patrick

IPC: B81C5/00

CPC classification number: B81C99/0095 ,  B81B2201/0271 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0118 ,  H01L41/107 ,  H01L41/27 ,  H01L41/29 ,  H01L41/314 ,  Y10T29/42 ,  Y10T428/24917 ,  Y10T428/24926

Abstract: L'invention concerne la préparation de microcomposants multicouches qui comprend une ou plusieurs couches, chacune constituée par un matériau M choisi parmi les métaux, les alliages métalliques, les verres, les céramiques et les vitrocéramiques. Le procédé consiste à déposer sur un substrat une ou plusieurs couches d'une encre P, et une ou plusieurs couches d'une encre M, chaque couche étant déposée selon un motif prédéterminé, chaque couche d'encre étant au moins partiellement consolidée avant dépôt de la couche suivante ; effectuer une consolidation totale des couches M partiellement consolidées après leur dépôt ; éliminer totalement ou partiellement le matériau de chacune des couches P. Une encre P est constituée par une résine thermodurcissable contenant une charge minérale ou par un mélange comprenant un matériau minéral et un liant organique. Une encre M est constituée par un matériau minéral précurseur du matériau M et un liant organique. Les encres sont déposées par coulage ou par extrusion.

Abstract translation:

本发明涉及在PRé多层微部件修复，其包括每一个或多个层通过从M E速率中选择的垫é廖中号构成éE，合金M E talliques，所述 眼镜，C＆eacute;陶瓷和vitrocé陶瓷。 d＆oacute的过程; 由...组成 衬底墨水P的一个或多个层，和油墨M的一个或多个层上Dé休息，根据每一层é对于DE POSée的PRé图案;DéTERMINé;，每一层 油墨EDép＆OCIRC之前至少部分地合并éé;下一层的吨; 执行层的完全合并部分合并的M＆eacute; ES的apr＆egrave; S及去P＆OCIRC;吨; É消除完全或部分各层P.有P油墨é构成éA Ré含有填料的热固性正弦分钟é罗音或通过M E兰格包括垫é廖分钟éRAL和的垫é廖内 有机粘合剂。 一种油墨M通过一垫构成E E E廖分钟éRAL PRé光标垫é廖M和有机粘合剂。 该油墨被去POS＆eacute;通过流延或挤出 ES。