公开(公告)号：US08017536B2

公开(公告)日：2011-09-13

申请号：US12226861

申请日：2007-09-04

Applicant: Juergen Weber ,  Tatsuhiro Sato ,  Ralf Schneider ,  Achim Hofmann ,  Christian Gebauer

Inventor： Juergen Weber ,  Tatsuhiro Sato ,  Ralf Schneider ,  Achim Hofmann ,  Christian Gebauer

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C4/20 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/54

Abstract: The invention starts from a known component of quartz glass for use in semiconductor manufacture, which component at least in a near-surface region shows a co-doping of a first dopant and of a second oxidic dopant, said second dopant containing one or more rare-earth metals in a concentration of 0.1-3% by wt. each (based on the total mass of SiO2 and dopant). Starting from this, to provide a quartz glass component for use in semiconductor manufacture in an environment with etching action, which component is distinguished by both high purity and high resistance to dry etching and avoids known drawbacks caused by co-doping with aluminum oxide, it is suggested according to the invention that the first dopant should be nitrogen and that the mean content of metastable hydroxyl groups of the quartz glass is less than 30 wtppm.

Abstract translation: 本发明从用于半导体制造的石英玻璃的已知组件开始，至少在近表面区域中的该组分表现出第一掺杂剂和第二氧化物掺杂剂的共掺杂，所述第二掺杂剂含有一种或多种稀有金属 - 浓度为0.1-3重量％的矿物金属。 每个（基于SiO 2和掺杂剂的总质量）。 从此开始，为了在具有蚀刻作用的环境中提供用于半导体制造的石英玻璃组分，该组分通过高纯度和高耐干蚀刻性而被区分，并避免了与氧化铝共掺杂引起的已知缺点。 根据本发明建议第一掺杂剂应为氮，并且石英玻璃的亚稳态羟基的平均含量小于30重量ppm。

公开(公告)号：US07245424B2

公开(公告)日：2007-07-17

申请号：US11151176

申请日：2005-06-09

Applicant: Michael Dennis ,  Brian Cole

Inventor： Michael Dennis ,  Brian Cole

IPC: H01S3/00 ,  H01S3/30 ,  C03B37/075

CPC classification number: H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C3/095 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/347 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/40 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/06775 ,  H01S3/1603 ,  H01S3/161 ,  H01S3/1616 ,  H01S3/1698 ,  H01S3/17

Abstract: A device amplifies light at wavelengths in the vicinity of 1420-1530 nm, using thulium doped silica-based optical fiber. This wavelength band is of interest as it falls in the low-loss optical fiber telecommunications window, and is somewhat shorter in wavelength than the currently standard erbium doped silica fiber amplifier. The device thus extends the band of wavelengths which can be supported for long-distance telecommunications. The additional wavelength band allows the data transmission rate to be substantially increased via wavelength division multiplexing (WDM), with minimal modification to the standard equipment currently used for WDM systems. The host glass is directly compatible with standard silica-based telecommunications fiber. The invention also enables modified silicate based amplifiers and lasers on a variety of alternative transitions. Specifically, an S-band thulium doped fiber amplifier (TDFA) using a true silicate fiber host is described.

Abstract translation: 器件利用ium掺杂的二氧化硅基光纤放大1420-1530nm附近波长的光。 该波长带在低损耗光纤通信窗口中是有意义的，并且其波长比当前标准的掺铒二氧化硅光纤放大器稍短。 因此，该装置延长了可被长距离通信支持的波长带。 附加波长带允许通过波分复用（WDM）大幅增加数据传输速率，对目前用于WDM系统的标准设备进行最小修改。 主机玻璃与标准的二氧化硅电信光纤直接兼容。 本发明还使得能够在各种替代转变上改性硅酸盐基放大器和激光器。 具体来说，描述了使用真硅酸盐纤维主体的S波段ium掺杂光纤放大器（TDFA）。

公开(公告)号：US20050152824A1

公开(公告)日：2005-07-14

申请号：US11029556

申请日：2005-01-05

Applicant: Bernard Kear ,  Christopher Haines ,  George Sigel ,  Lisa Klein ,  Varadh Ranganathan

Inventor： Bernard Kear ,  Christopher Haines ,  George Sigel ,  Lisa Klein ,  Varadh Ranganathan

IPC: C01F17/00 ,  C03B19/06 ,  C03B19/10 ,  C03B19/14 ,  C03B37/018 ,  C03C1/00 ,  C03C1/02 ,  C03C4/12 ,  C09K11/77

CPC classification number: C09K11/7706 ,  C03B19/06 ,  C03B19/106 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/14 ,  C03B37/018 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C1/006 ,  C03C1/026 ,  C03C4/12 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3429 ,  C03C2201/3447 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/40 ,  C09K11/7774 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/169 ,  Y10S977/778 ,  Y10S977/811 ,  Y10S977/834

Abstract: A new class of nanostructured RE-doped SiO2-base materials that display superior fluorescence properties is provided. In particular, high gain combined with a broad and flat spectral band width is observed in material composed of a high fraction of a nano-dispersed metastable silicate phase in a glassy SiO2 matrix, produced by partial devitrification (crystallization) of several glassy Al2O3/Er2O3- and Y2O3/Er2O3-doped SiO2 compositions. Also, a highly deconvoluted spectral emission, with several prominent peaks, is observed in completely devitrified material, consisting of a uniform nano-dispersion of an equilibrium silicate phase in a crystobalite SiO2 matrix. Such enhanced fluorescence properties were observed in heat treated nanopowders prepared by vapor-phase, solgel, rapid solidification, and spray-pyrolysis methods.

Abstract translation: 提供了一类新型的具有优异荧光性能的纳米结构的RE掺杂SiO 2基体材料。 特别地，在通过部分失透反应产生的玻璃状SiO 2基体中的高分数纳米分散的亚稳态硅酸盐相组成的材料中观察到具有宽的和平坦的光谱带宽的高增益（ 几个玻璃状的Al 2 O 3 / O 2 O 3 - 和Y 2的结晶， O 3组成的二氧化硅组合物。 此外，在完全失透的材料中观察到具有几个突出的峰的高度去卷积的光谱发射，由平底硅酸盐相在均匀的SiO 2基体中的均匀的纳米分散体组成。 在通过气相，溶胶凝胶，快速凝固和喷雾热解方法制备的热处理纳米粉末中观察到这种增强的荧光性质。

公开(公告)号：US20030175003A1

公开(公告)日：2003-09-18

申请号：US10387565

申请日：2003-03-14

Applicant: ALCATEL

Inventor： Laurent Gasca ,  Alain Pastouret ,  Christine Moreau ,  Pascal Baniel ,  Christian Belouet

IPC: G02B006/16

CPC classification number: C03C14/006 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C13/04 ,  C03C13/045 ,  C03C14/004 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/1616 ,  H01S3/169

Abstract: The present invention concerns an optical guide (100) comprising an amplifier medium including: a core (10) in a main matrix of a transparent material, the main matrix containing particules (1, 2), each particule being formed of a submicronic matrix distinct from the main matrix and doped by an active metal element, an external guiding cladding (11) in contact with the core (10). The size of the particules (1, 2) is smaller than 20 nm. The present invention also concerns a method for producing this guide.

Abstract translation: 本发明涉及一种包括放大器介质的光导（100），该放大器介质包括：在透明材料的主矩阵中的芯（10），所述主矩阵包含微粒（1,2），每个微粒由亚微米矩阵形成 从主矩阵并由有源金属元件掺杂，与芯（10）接触的外部引导包层（11）。 颗粒（1,2）的尺寸小于20nm。 本发明还涉及一种用于生产该指南的方法。

公开(公告)号：US20030156818A1

公开(公告)日：2003-08-21

申请号：US10038370

申请日：2001-12-31

Inventor： Mark T. Anderson ,  Craig R. Schardt ,  James R. Onstott ,  Kenton D. Budd

IPC: G02B006/16 ,  H01S003/00

CPC classification number: C03C17/3618 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3652 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3405 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3417 ,  C03C2201/3458 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/3494 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1616 ,  H01S3/1693 ,  H01S3/1695 ,  H01S3/176

Abstract: An optical waveguide including a core having silica, Al, a non-fluorescent rare-earth ion, Ge, Er, and Tm. The non-fluorescent rare-earth ion may be La. Exemplary compositions concentrations are Er is from 15 ppm to 3000 ppm, Al is from 0.5 mol % to 12 mol %, La is less than or equal to 2 mol %, Tm is from 15 ppm to 10,000 ppm; and the Ge is less than or equal to 15 mol %. The core may further include F. An exemplary concentration of F is less than or equal to 6 anion mol %.

Abstract translation: 包括具有二氧化硅的芯，Al，非荧光稀土离子，Ge，Er和Tm的光波导。 非荧光稀土离子可以是La，示例性组合物浓度为Er为15ppm至3000ppm，Al为0.5mol％至12mol％，La为小于或等于2mol％，Tm为 15 ppm至10,000 ppm; Ge小于或等于15mol％。 芯可以进一步包括F. F的示例性浓度小于或等于6阴离子摩尔％。

公开(公告)号：WO2008130975A1

公开(公告)日：2008-10-30

申请号：PCT/US2008/060436

申请日：2008-04-16

Applicant: APPLIED MATERIALS, INC. ,  YUAN, Jie ,  SUN, Jennifer Y. ,  DUAN, Renguan

Inventor： YUAN, Jie ,  SUN, Jennifer Y. ,  DUAN, Renguan

IPC: H01L21/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/54 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68757 ,  Y02P40/57 ,  Y10S156/915

Abstract: A method of fabricating doped quartz component is provided herein. In one embodiment, the doped quartz component is a yttrium doped quartz ring configured to support a substrate. In another embodiment, the doped quartz component is a yttrium and aluminum doped cover ring. In yet another embodiment, the doped quartz component is a yttrium, aluminum and nitrogen containing cover ring.

Abstract translation: 本文提供了一种制造掺杂石英组分的方法。 在一个实施例中，掺杂的石英组件是被配置为支撑衬底的掺钇的石英环。 在另一个实施例中，掺杂的石英组件是掺钇和铝的覆盖环。 在另一个实施方案中，掺杂的石英组分是含钇，铝和氮的覆盖环。

公开(公告)号：WO2008104485A1

公开(公告)日：2008-09-04

申请号：PCT/EP2008/052045

申请日：2008-02-20

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. ,  KUEHN, Bodo ,  OCHS, Stefan ,  WEBER, Juergen

Inventor： KUEHN, Bodo ,  OCHS, Stefan ,  WEBER, Juergen

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/40 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3441 ,  C03C2201/40 ,  G03F7/70958

Abstract: To provide an optical component of quartz glass for use in a projection objective for immersion lithography at an operating wavelength below 250 nm, which component is optimized for use with linearly polarized UV laser radiation and particularly with respect to compaction and birefringence induced by anisotropic density change, it is suggested according to the invention that the quartz glass should contain hydroxyl groups in the range of from 1 wtppm to 60 wtppm and chemically bound nitrogen, and that the mean hydrogen content of the quartz glass should be in the range of 5 x 10 15 molecules/cm 3 to 1 x 10 17 molecules/cm 3 .

Abstract translation: 为了提供石英玻璃的光学部件，用于在250nm以下的工作波长下用于浸没式光刻的投影物镜，该成分被优化用于线偏振UV激光辐射，特别是关于由各向异性密度变化引起的压实和双折射 根据本发明，建议石英玻璃应含有1wt％至60wtppm的羟基和化学键合的氮，并且石英玻璃的平均氢含量应在5×10 分子/ cm 3至1×10 17分子/ cm 3以上。

公开(公告)号：WO2008031742A3

公开(公告)日：2008-05-22

申请号：PCT/EP2007059217

申请日：2007-09-04

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS ,  SHINETSU QUARTZ PROD ,  WEBER JUERGEN ,  SATO TATSUHIRO ,  SCHNEIDER RALF ,  HOFMANN ACHIM ,  GEBAUER CHRISTIAN

Inventor： WEBER JUERGEN ,  SATO TATSUHIRO ,  SCHNEIDER RALF ,  HOFMANN ACHIM ,  GEBAUER CHRISTIAN

IPC: C03C3/06 ,  C03B20/00 ,  C03C4/20

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C4/20 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/54

Abstract: The invention starts from a known component of quartz glass for use in semiconductor manufacture, which component at least in a near-surface region shows a co-doping of a first dopant and of a second oxidic dopant, said second dopant containing one or more rare-earth metals in a concentration of 0.1-3% by wt. each (based on the total mass of SiO 2 and dopant). Starting from this, to provide a quartz glass component for use in semiconductor manufacture in an environment with etching action, which component is distinguished by both high purity and high resistance to dry etching and avoids known drawbacks caused by co-doping with aluminum oxide, it is suggested according to the invention that the first dopant should be nitrogen and that the mean content of metastable hydroxyl groups of the quartz glass is less than 30 wtppm.

Abstract translation: 本发明从用于半导体制造的已知石英玻璃部件开始，该部件至少在近表面区域中显示第一掺杂剂和第二氧化掺杂剂的共掺杂，所述第二掺杂剂包含一种或多种稀有 - 浓度为0.1-3重量％的金属 - 金属。 各自（基于SiO 2和/或掺杂剂的总质量）。 从这个角度出发，为了在具有蚀刻作用的环境中提供用于半导体制造的石英玻璃部件，该部件以高纯度和高抗干法蚀刻为特征，并且避免了由于与氧化铝共掺杂导致的已知缺陷， 根据本发明建议，第一掺杂剂应该是氮，并且石英玻璃的亚稳态羟基的平均含量小于30重量ppm。

公开(公告)号：WO02028791A1

公开(公告)日：2002-04-11

申请号：PCT/US2001/030616

申请日：2001-10-02

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/095 ,  C03C13/04 ,  H01S3/067 ,  H01S3/16 ,  H01S3/17 ,  G02B6/02

CPC classification number: C03C3/095 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/347 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/40 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/1603 ,  H01S3/1698 ,  H01S3/17

Abstract: A modified silica glass composition for providing a reduction in the multiphonon quenching for a rare-earth dopant comprising: SiO2 in a host material; a rare-earth dopant; a first SiO2 modifier; and a second SiO2 modifier; such that said first modifier and said second modifier reduce multiphonon quenching of the rare-earth dopant contained therein.

Abstract translation: 一种改进的二氧化硅玻璃组合物，用于减少稀土掺杂物的多谐振子淬火，包括：主体材料中的SiO 2; 稀土掺杂剂; 第一个SiO 2改性剂; 和第二SiO 2改性剂; 使得所述第一改性剂和所述第二改性剂减少其中所含的稀土掺杂剂的多谐振猝灭。

公开(公告)号：US20140141226A1

公开(公告)日：2014-05-22

申请号：US14082673

申请日：2013-11-18

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： Dana Craig Bookbinder ,  Timothy Michael Gross

IPC: C03C3/095 ,  C03C4/18

CPC classification number: C03C3/095 ,  C03C3/068 ,  C03C21/002 ,  C03C2201/3411 ,  Y10T428/315

Abstract: Ion-exchangeable glasses having high hardness and high elastic modulus. The base cover glass formulation includes Na2O, Y2O3, Al2O3, and SiO2. The glasses may further include P2O5, B2O3, and any of the alkali, alkaline earth, and rare earth oxides, as well as other divalent metal oxides. The ion-exchangeable glasses offer higher hardness, which provides more resistance to micro-ductile scratching damage. Ion-exchange of these glasses increases their resistance to cracking caused by frictive damage and increases retained strength following formation of surface damage.

Abstract translation: 具有高硬度和高弹性模量的离子交换玻璃。 基底玻璃配方包括Na2O，Y2O3，Al2O3和SiO2。 玻璃还可以包括P 2 O 5，B 2 O 3以及任何碱金属，碱土金属和稀土氧化物，以及其它二价金属氧化物。 可离子交换的眼镜提供更高的硬度，这提供了更多的抵抗微韧性刮伤的能力。 这些玻璃的离子交换增加了其由摩擦损伤引起的抗裂性，并增加了形成表面损伤后的保留强度。