一种腔体储备式阴极
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108615664A

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201810376989.4

    申请日:2018-04-25

    Abstract: 一种腔体储备式阴极,属于储备式难熔金属阴极材料领域,主要包括圆柱形空腔筒,筒上方为阴极发射主体机构,下部为加热灯丝。发射主体部分表层为由难熔金属网制备的表层发射基底,金属丝网为单层或者多层,下部为含有钡、锶元素的具有发射活性的铝酸盐、钪酸盐、钨酸盐等发射活性物质(活性盐)。活性物质与表层发射基底之间为多孔钨海绵体,用于固定活性盐。经过充分激活后的该储备式阴极试样,在900℃工作温度下,平均脉冲发射电流密度达到7A/cm2以上,平均发射斜率达到1.4以上。

    阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN105874554B

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201480071826.5

    申请日:2014-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种阴极配置(20),其包括:阴极本体,其容纳发射表面(32),用以在纵向方向(Z)中发射电子,其中,该发射表面由发射周围(35)界定;聚焦电极(40),其在横向方向中至少部分封闭该阴极本体,并且包括电子透射孔径(44),用以聚焦由该发射表面所发射的电子,其中,该孔径由孔径周围(45)界定,其中,该阴极本体以可移动的方式在与对齐位置(R0)相隔最大横向距离(d1)处被布置在该聚焦电极内部,并且其中,该孔径周围横向延伸越过该发射表面并且超越该发射周围在一重叠距离(d2),该重叠距离超过该最大横向距离。

    阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN105874554A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201480071826.5

    申请日:2014-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种阴极配置(20),其包括:阴极本体,其容纳发射表面(32),用以在纵向方向(Z)中发射电子,其中,该发射表面由发射周围(35)界定;聚焦电极(40),其在横向方向中至少部分封闭该阴极本体,并且包括电子透射孔径(44),用以聚焦由该发射表面所发射的电子,其中,该孔径由孔径周围(45)界定,其中,该阴极本体以可移动的方式在与对齐位置(R0)相隔最大横向距离(d1)处被布置在该聚焦电极内部,并且其中,该孔径周围横向延伸越过该发射表面并且超越该发射周围在一重叠距离(d2),该重叠距离超过该最大横向距离。

    钪酸盐扩散阴极
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101084565A

    公开(公告)日:2007-12-05

    申请号:CN200580043917.9

    申请日:2005-12-13

    CPC classification number: H01J1/28

    Abstract: 一种钪酸盐扩散阴极,其具有设置在阴极支座(3)上的阴极体(4)、阴极涂层(5,6),以及设置在阴极体(4)和层体系(6)之间的活化加速层体系(5),其中所述阴极涂层包括由铼或铼合金(61)的一个或多个交替层和氧化钪或钪合金(62)的一个或多个交替层组成的层体系(6),所述活化加速层体系包括由碱土金属氧化物组成的至少一个释放层(52)和活化剂层体系(51),其中所述碱土金属氧化物优选氧化钡,所述活化剂层体系(51)由抗氧化性比所述阴极体的材料大的阻隔材料和用于还原所述碱土金属氧化物的活化剂材料组成,其中所述活化剂材料优选氧化钡。

    用于阴极射线管的具有高电流密度和长寿命的阴极

    公开(公告)号:CN1374678A

    公开(公告)日:2002-10-16

    申请号:CN02106904.2

    申请日:2002-03-06

    CPC classification number: H01J1/14 H01J9/04

    Abstract: 一种具有高电流密度和长寿命并且能够没有阴极块温度的扩散性的可大批量地生产的阴极射线管阴极。该阴极包括从通过热等静压烧结至少包括镍粉末和电子发射剂粉末的混合物获得的烧结体形成的阴极块。阴极也包括其上附着阴极块的阴极块支撑构件。根据本发明,阴极块支撑构件是一个仅覆盖阴极块的底表面的底板。阴极块可以具有柱体形状,底板可以具有碟形形状,或倒置杯形状。

    电子枪
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1190246A

    公开(公告)日:1998-08-12

    申请号:CN98104280.5

    申请日:1998-01-19

    Inventor: 白石哲也

    CPC classification number: H01J3/029 H01J1/20 H01J29/04

    Abstract: 提供一种能够确实有效地改善聚焦特性的电子枪,并允许相对容易地调整其位置布局。在具有发射电子的阴极和为单向引导从该阴极发射的电子而设置电子束通孔的多个栅极的电子枪中,所述阴极的电子发射面的电子发射区构成为带状。此外,使构成所述电子发射区的带状区域的短边方向长度为在不限定电子发射区取出实际最大电流的情况下的电子发射区直径的80%以下的长度。

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