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公开(公告)号：CN105070628A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510409913.3
申请日：2015-07-13
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
IPC: H01J41/06
Abstract: 本发明公开了一种对称式碳纳米管阴极电离规，采用室温下可以实现电子场发射的碳纳米管阵列作为阴极，克服了高温热阴极对热敏感、光敏感和强磁场系统的干扰，同时基于场发射机理，降低了功耗需求。在衬底双面生长碳纳米管阵列阴极，并采用对称双电极设置，在不改变电路复杂性的前提下，有效延长了电子运动轨迹长度，有利于提高此类电离规的灵敏度；另外，在门极4与收集极6之间增加电压更高的阳极5，使得电子在门极4与收集极6之间震荡，也延长了电子运动路径，进一步提高了电离规的灵敏度。
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公开(公告)号：CN103325653A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310262699.4
申请日：2013-06-27
Applicant: 成都国光电气股份有限公司
Abstract: 一种磁铁型冷阴极真空电离规管及包含所述磁铁型冷阴极真空电离规管的真空测量系统，一种磁铁型冷阴极真空电离规管，其特征在于，所述磁铁型冷阴极真空电离规管包括电极、磁系统；所述一个电极是所述磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳，所述金属外壳围成的内部空间与金属外壳外部被测空间相连通，另一个电极为呈棒状结构的电极，所述呈棒状结构电极置于所述金属外壳围成的内部空间中；所述磁系统为多个同性磁极相邻的方式置于磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳表面的磁铁，所述磁系统能提供与棒状结构的电极的轴向一致的磁场。所述的磁铁型冷阴极电离真空规管及包含所述磁铁型冷阴极真空电离规管的真空测量系统，能够提高测量精度和测量范围。
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公开(公告)号：CN101960278B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200980106807.0
申请日：2009-02-25
Applicant: 因菲康有限公司
CPC classification number: G01N33/0009 , G01L21/34 , H01J41/20
Abstract: 氦传感器具有：壳体(10)，该壳体包围检测室(11)。壳体的一侧用对于氦气可选择性透过的壁(12)封闭。在检测室(11)中存在离子吸气泵，其带有阳极(14)、阴极(15)和磁场(16)。根据本发明，阴极(15)或者阴极腿部(15a)由铍构成。铍具有小的原子量，由此更好地将同样重量轻的氦离子结合进阴极材料中。
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公开(公告)号：CN102087949A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN201010618202.4
申请日：2010-12-31
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J41/06
CPC classification number: H01J41/06 , G01L21/34 , H01J2201/30469
Abstract: 本发明提供一种真空规管，其包括：一冷阴极，其包括一阴极发射单元和与所述阴极发射单元相对设置的一栅极；一屏蔽极，其包括一收容空间和两个端部，该屏蔽极的一端与所述冷阴极相对设置；一阳极环，该阳极环设置于所述屏蔽极的收容空间内；一收集极，其与所述屏蔽极的另一端相对设置；所述阴极发射单元包括至少一电子发射体，该所述电子发射体包括一碳纳米管管状结构，所述碳纳米管管状结构具有一中空的线状轴心，所述碳纳米管管状结构为多个碳纳米管围绕该中空的线状轴心组成，所述碳纳米管管状结构沿所述线状轴心的一端延伸出多个电子发射尖端。本发明提供的真空规管具有良好的灵敏度。
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公开(公告)号：CN101858812A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010144421.3
申请日：2010-04-09
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
Abstract: 冷阴极电离真空计、真空处理设备和放电开始辅助电极。该冷阴极电离真空计无需使设备复杂化即使在长时间使用的情况下也能在短时间内触发放电。该冷阴极电离真空计具有如下结构：棒状阳极位于具有放电空间且一端被密封的测量元件容器(阴极)的内部，并且放电开始辅助电极被安装到该阳极。放电开始辅助电极通过在放电开始辅助电极板上形成碳纳米管层而在短时间内触发放电。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN201803829U
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201020529799.0
申请日：2010-09-13
Applicant: 云梦县德邦实业有限责任公司
Abstract: 本实用新型涉及一种冷阴极电离真空计。冷阴极电离真空计，其特征在于它包括真空管、磁场发生装置、阴极、阳极、第一电缆、第二电缆、高压发生器、第三电缆、控制电路、第四电缆、第五电缆、直流电源、第六电缆，真空管的外围设有磁场发生装置，真空管内设有阴极和阳极，阴极成U型，阳极成棒状，阳极的下部插入阴极内，真空管的上端部设有真空检测口；阳极由第一电缆与高压发生器的正极输出端相连接，阴极由第二电缆与高压发生器的负极输出端相连接；高压发生器的负极输入端由第三电缆与控制电路的电源的输出端相连接，高压发生器的正极输入端由第六电缆与直流电源的正极输出端相连接。本实用新型具有结构简单、成本较低的特点。
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公开(公告)号：JP2008533657A
公开(公告)日：2008-08-21
申请号：JP2008500171
申请日：2006-03-02
Inventor： ヴェツィッヒ ダニエル , ゲルダウ ルードルフ
IPC: H01J41/06
Abstract: 本発明は、テストガス入口（１８）を有する気密のケーシング（１２）を備え、該ケーシング（１２）に陽極（１４）および陰極（１６，１７）を備えかつ冷陰極放電の点弧のための、該陰極に配向されている放射源（２０）を備えている冷陰極圧力センサ（１０）に関する。 ケーシング（１２）は少なくとも部分的にガラスから形成されている。 放射源（２０）はケーシング（１２）の外部に配置されておりかつケーシングのガラスを通って陰極（１６，１７）を放射する。 放射源（２０）は実質的に、３５０ｎｍより長くかつ１４００ｎｍより短い波長の放射を放射する。
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公开(公告)号：JPH0799034A
公开(公告)日：1995-04-11
申请号：JP26310893
申请日：1993-09-28
Applicant: UNIV KOBE
Inventor： KANEMOCHI TORU , HONGO SHOZO
Abstract: PURPOSE:To provide an ionization gauge which can measure all the pressure from an ultra high vacuum area to a hyper vacuum area simply and highly accurately, by reducing the noise current such as an X-ray current or the secondary ion current extensively. CONSTITUTION:Electron guns 8 provided at one end of a cylindrical grid 6, and to inject electrons (e ) accelerated beforehand in the grid 6; an ion collecting electrode 10 provided at the center at the other end of the grid 6, and to collect the positive ions (+) generated by the electrons (e ) flying in the grid 6; and electron collecting electrodes 12 provided at the other end of the grid 6, and to collect the incident electrons (e ) from the other end of the grid 6, after contributing to generate the ions; are provided. And the electron collecting electrodes 12 are extended in a doughnut form around the ion collecting electrode 10, and the electron collecting electrodes 12 and the ion collecting electrode 10 are separated each other by shield members 14.
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