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公开(公告)号:KR100269291B1
公开(公告)日:2000-10-16
申请号:KR1019970005566
申请日:1997-02-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/302
Abstract: PURPOSE: A method for cleaning a wafer is provided, which can remove a film formation solution coated on a front surface and a back surface edge part of the wafer while forming a ferroelectric using a Sol-Gel method. CONSTITUTION: According to the method, a PZT(PbZrTiO3) solution coated on a front surface edge part of the wafer(11) is removed with a DI(Deionized) water, and a PZT solution coated on a back surface edge part is removed with an IPA(IsoProphyl Alcohol). Thus, particles can be prevented which are generated during a high temperature annealing process and following processes. The method includes a step of coating a solution containing a component of a film to be formed as a dielectric film on the wafer(11), and a step of rinsing the wafer(11) coated with the solution containing a ferroelectric.
Abstract translation: 目的:提供一种用于清洁晶片的方法,其可以使用Sol-Gel方法除去涂覆在晶片的前表面和后表面边缘部分上的成膜溶液,同时形成铁电体。 构成:根据该方法,用DI(去离子水)除去涂布在晶片(11)的前表面边缘部分上的PZT(PbZrTiO 3)溶液,并且将涂覆在背面边缘部分上的PZT溶液用 IPA(异丙醇)。 因此,可以防止在高温退火工艺和后续工艺中产生的颗粒。 该方法包括在晶片(11)上涂布含有要作为电介质膜形成的膜的成分的溶液的步骤,以及对含有铁电体的溶液进行了涂覆的晶片(11)的步骤。
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公开(公告)号:KR1020170133805A
公开(公告)日:2017-12-06
申请号:KR1020160065059
申请日:2016-05-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04N21/2343 , H04N21/4402 , H04N21/4363 , H04N21/61
CPC classification number: H04N21/2343 , H04N21/4363 , H04N21/4402 , H04N21/61
Abstract: MMT 디바이스에의한 MMTP 패킷을수신하기위한방법이제공된다. 상기방법은다른디바이스로부터, MMTP 패킷의수신을개시하는단계; 상기 MMTP 패킷을수신하는중, 상기다른디바이스와의네트워크연결의변경을검출하는단계; 상기 MMTP 패킷의미디어내의재전송시점을결정하는단계; 상기다른디바이스로 MMTP 제어메시지패킷을송신하는단계; 및상기네트워크연결이변경된후, 상기 MMTP 제어메시지패킷에기초하여전송이재개되는상기 MMTP 패킷을상기다른디바이스로부터수신하는단계를포함한다.
Abstract translation: 提供了一种由MMT设备接收MMTP分组的方法。 该方法包括:发起从另一个设备接收MMTP分组; 在接收到MMTP分组的同时检测与另一个设备的网络连接的改变; 确定媒体中MMTP包的重传时间点; 向另一个设备发送MMTP控制消息分组; 并且在网络连接改变之后,接收来自另一个设备的MMTP分组,其基于MMTP控制消息分组来恢复传输。
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公开(公告)号:KR1020150097375A
公开(公告)日:2015-08-26
申请号:KR1020140164286
申请日:2014-11-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04L27/26
Abstract: 송신 장치가 개시된다. 송신 장치는 OFDM 심볼로 구성된 전송 스트림을 생성하고, 전송 스트림에 시그널링 데이터를 부가하는 스트럭쳐부 및 OFDM 심볼에 파일럿을 삽입하고, 파일럿이 삽입된 OFDM 심볼에 대응되는 스펙트럼(Spectrum)이 기 설정된 스펙트럼 마스크(Spectrum Mask) 내에 존재하도록 하는 유효 캐리어 수를 결정하며, 결정된 수의 유효 캐리어에 파일럿이 삽입된 OFDM 심볼을 매핑하여 전송하는 송신부를 포함한다. 이에 따라, 스펙트럼 마스크를 넘지 않으면서 사용가능한 유효 캐리어 수를 결정하여 사용함으로써, 데이터 전송률을 높일 수 있게 된다.
Abstract translation: 公开了发送装置。 所述发送装置包括:生成由OFDM符号形成的发送流的结构部,向发送流添加信令数据; 以及将导频插入到OFDM符号中的发送部,确定具有与具有导频插入的OFDM符号对应的频谱的有效载波的数量存在于预设的频谱掩模中,并且将具有插入在所述有效载波上的导频的OFDM映射到 确定的号码并传送相同的号码。 因此,可以通过在不超过频谱掩模的情况下确定和使用可用有效载波的数量来增加数据传输速率。
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公开(公告)号:KR1020150008595A
公开(公告)日:2015-01-23
申请号:KR1020130082726
申请日:2013-07-15
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B7/14
CPC classification number: H04B7/15557 , H04B7/15507
Abstract: 중계 장치가 개시된다. 송신 장치로부터 수신된 신호를 수신 장치로 릴레이하는 중계 장치는, 송신 장치로부터 신호를 수신하는 수신부, 수신된 신호를 신호처리하는 신호 처리부, 신호 처리된 신호를 상기 수신 장치로 전송하는 송신부 및 수신된 신호의 SNR(Signal-to-Noise Ratio)을 측정하고 측정된 SNR이 기설정된 구간 범위에 속하는 경우 AF(Amplify and Forward) 모드 및 DF(Decode and Forward) 모드가 혼합된 혼합 모드에 따라 신호를 처리하도록 신호 처리부를 제어하는 제어부를 포함한다.
Abstract translation: 公开了一种中继装置。 中继从发送装置接收到的信号的中继装置包括:接收部,接收来自发送装置的信号; 对接收到的信号执行信号处理的信号处理单元; 发送单元,其将所述信号处理信号发送到所述接收单元; 以及控制器,其测量接收信号的信噪比(SNR)并控制信号处理单元,以便根据其中放大和转发(AF)模式和解码和解码的混合模式处理信号, 当测量的SNR包括在预设的区间范围内时,前向(DF)模式是混合的。
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公开(公告)号:KR1020050033903A
公开(公告)日:2005-04-14
申请号:KR1020030069447
申请日:2003-10-07
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 배재현
IPC: H01L21/02
Abstract: A cooling water circulation apparatus of semiconductor fabrication equipment is provided to prevent a processing error in a wafer fabrication process by displaying a circulating state of cooling water of each unit. A heat exchange unit(100) supplies cooling water. A plurality of units(106,108,110) absorbs the heat from the cooling water of the heat exchange unit through a supply tube and drains the cooling water to a drain tube. A plurality of separative supply tubes(130m132,134) are branched from the supply tube. A plurality of separative drain tubes(136,138,140) are used for draining the cooling water from the units. A plurality of pressure gauges(104,118,120,122) are installed at the separative drain tubes in order to measure the pressure of the cooling water.
Abstract translation: 提供半导体制造设备的冷却水循环装置,通过显示每个单元的冷却水的循环状态来防止晶片制造过程中的处理误差。 热交换单元(100)供应冷却水。 多个单元(106,108,110)通过供应管吸收来自热交换单元的冷却水的热量,并将冷却水排出到排水管。 多个分离供给管(130m132,134)从供给管分支。 多个分离排水管(136,138,140)用于排出冷却水。 多个压力计(104,118,120,122)安装在分离排水管上,以便测量冷却水的压力。
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公开(公告)号:KR1020170037405A
公开(公告)日:2017-04-04
申请号:KR1020150136976
申请日:2015-09-25
Applicant: 삼성전자주식회사 , 연세대학교 산학협력단
Abstract: 송신장치가개시된다. LDM(Layered Division Multiplexing) 방식으로신호를전송하는송신장치는, 제1 및제2 신호를중첩코딩하여중첩코딩신호를생성하는신호처리부및, 중첩코딩신호에기설정된직교코드성분을곱하여전송하는송신부를포함한다.
Abstract translation: 发送装置启动。 用于将信号传输到LDM(分层分复用)方案,被配置为发送由一个预定的正交码分量的信号处理,并且叠加编码信号相乘的第一mitje发射机通过叠加编码的第二信号的发送装置生成的叠加编码信号 它包括。
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