公开(公告)号：KR100781549B1

公开(公告)日：2007-12-03

申请号：KR1020060108401

申请日：2006-11-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김영필 ,  김진범 ,  이준호 ,  원정연 ,  정인선

IPC: H01L21/336

CPC classification number: H01L29/66628 ,  H01L21/26513 ,  H01L29/66575 ,  H01L29/78

Abstract: A method for manufacturing a semiconductor integrated circuit device and a semiconductor integrated circuit device manufactured by the method are provided to increase selectivity by forming an epitaxial blocking layer on an upper of a gate. A dielectric and a conductive layer are formed on a semiconductor substrate(100). A capping layer, an epitaxial blocking layer, and a sacrificial hard mask layer are formed on the conductive layer. A photoresist pattern is formed on the sacrificial hard mask layer. The sacrificial hard mask layer, the epitaxial blocking layer, the capping layer are patterned by using the photoresist pattern as an etch mask to form a sacrificial hard mask pattern, an epitaxial blocking layer pattern(140), and a capping layer pattern(130). The conductive layer and the dielectric are patterned by using the sacrificial hard mask pattern as an etch mask to form a gate(120) and a gate dielectric(110). A spacer dielectric is conformally formed on the semiconductor substrate. The spacer dielectric is isotropic-etched to form a spacer(160). The etching process with respect to the spacer dielectric is continued until an upper surface of the epitaxial blocking layer pattern is exposed. Selective epitaxial growth is performed on the semiconductor substrate to form an epitaxial layer(170) protruded on an upper portion of the exposed semiconductor substrate. Ion implantation process is performed on the semiconductor substrate to form a protruded source/drain region(172).

Abstract translation: 提供了通过该方法制造的半导体集成电路器件和半导体集成电路器件的制造方法，以通过在栅极的上部形成外延阻挡层来提高选择性。 在半导体衬底（100）上形成电介质层和导电层。 在导电层上形成覆盖层，外延阻挡层和牺牲硬掩模层。 在牺牲硬掩模层上形成光致抗蚀剂图案。 通过使用光致抗蚀剂图案作为蚀刻掩模来图案化牺牲硬掩模层，外延阻挡层，覆盖层，以形成牺牲硬掩模图案，外延阻挡层图案（140）和覆盖层图案（130）， 。 通过使用牺牲硬掩模图案作为蚀刻掩模来形成导电层和电介质以形成栅极（120）和栅极电介质（110）。 在半导体衬底上共形形成间隔电介质。 间隔电介质被各向同性蚀刻以形成间隔物（160）。 相对于间隔电介质的蚀刻工艺继续进行，直到外延阻挡层图案的上表面露出。 在半导体衬底上进行选择性外延生长以形成突出在暴露的半导体衬底的上部的外延层（170）。 在半导体衬底上进行离子注入工艺以形成突出的源极/漏极区域（172）。

公开(公告)号：KR100588143B1

公开(公告)日：2006-06-09

申请号：KR1020050042064

申请日：2005-05-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 원정연

IPC: G03G15/00

Abstract: 본 발명은 인쇄용지에 현상제를 도포하는 현상부를 구비하는 화상형성장치에 관한 것으로서, 현상부로부터 인쇄용지를 수령하여 현상제를 인쇄용지에 정착하는 정착롤러부; 정착롤러부로부터 인쇄용지를 수령하여 소정의 반송속도패턴으로 배출 반송하는 배지롤러부; 및 정착롤러부와 배지롤러부 사이에 개재하여 정착롤러부로부터 배지롤러부로 인쇄용지를 반송하는 반송롤러, 반송롤러가 인쇄용지를 소정의 제1속도로 반송하도록 반송롤러를 반송회전방향으로 구동하는 반송롤러구동부, 및 반송롤러와 반송롤러구동부 사이에 개재하여 반송회전방향으로만 반송롤러구동부의 구동력을 반송롤러에 전달하는 일방향클러치를 구비하는 반송롤러부를 포함한다. 이에 의해 안정된 속도로 인쇄용지를 배출할 수 있다.
화상형성장치, 배지롤러, 일방향클러치, 배출속도 감속

Abstract translation: 本发明涉及一种定影辊单元的图像具有的显影单元，用于将显影剂施加到打印纸形成装置中，接收从显影单元固定的显影剂到打印纸的打印介质的; 从定影辊，用于排出在预定的传送速度传送的图案部分中的排出辊接收所述打印纸; 和定影辊，和辊单元之间，以输送辊，用于输送从定影辊的打印纸部排纸辊输送辊，在输送辊的旋转的输送方向输送打印纸以预定的第一速度驱动所述介质 仅在旋转传送方向上的输送辊驱动部，和输送辊和输送辊驱动单元之间，并包括具有用于输送辊驱动单元的驱动力传递给输送辊单向离合器传送辊。 因此，打印纸可以以稳定的速度排出。

公开(公告)号：KR1020060030578A

公开(公告)日：2006-04-11

申请号：KR1020040079409

申请日：2004-10-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 원정연

IPC: G03G15/23

CPC classification number: G03G15/231 ,  G03G2215/00586

Abstract: 본 발명은 양면 인쇄장치에 관한 것으로서, 인쇄명령에 따라 정역회전 제어되도록 화상형성 엔진부와 배지롤러의 사이에 듀플렉스롤러를 설치하고, 그 듀플렉스롤러의 구동에 따라 연동하는 가이드부재가 인쇄용지의 이송경로를 변환시켜 주도록 용지 반전유니트를 구성함으로써, 급지 안전성과 제조원가의 절감 및 인쇄효율 향상을 도모할 수 있도록 함.
양면 인쇄, 용지 반전

公开(公告)号：KR100555670B1

公开(公告)日：2006-03-03

申请号：KR1020040065112

申请日：2004-08-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 원정연

IPC: G03G15/00

CPC classification number: G03G15/6502 ,  G03G2215/00383 ,  G03G2215/00611 ,  G03G2215/00734

Abstract: 본 발명은 화상형성기의 용지규격 표시장치를 개시한 것으로서, 급지 카세트에 적재된 용지의 규격에 따라 이동 가능하게 세팅되도록 설치된 용지규제 가이드와, 그 가이드에 연결된 연동수단에 의해 회전하여 위치결정되도록 세팅되면서 일면에 구비된 용지규격 마크를 투광창으로 표시해 주는 회전휠을 포함하는 구성에 의해 급지 카세트에 세팅된 용지규격 표시기능과 감지기능을 동시에 연계하여 수행할 수 있는 화상형성기의 용지규격 표시장치 및 급지 카세트를 제공함.
화상형성장치, 프린터, 복사기, 인쇄기, 급지 카세트, 용지표시, 용지감지

公开(公告)号：KR1020050068716A

公开(公告)日：2005-07-05

申请号：KR1020030100468

申请日：2003-12-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 원정연

IPC: G03G15/00

CPC classification number: B65H5/062 ,  B65H2301/4234 ,  B65H2301/44514 ,  B65H2403/42 ,  B65H2403/732

Abstract: 화상형성기기의 용지공급장치를 제공한다. 제공된 화상형성기기의 용지공급장치는 구동부와, 구동부에 의해 회전되는 제1아이들기어와, 제1아이들기어가 회전되도록 제1아이들기어를 관통하여 설치되며 제1아이들기어를 따라 회전하는 제1아이들기어회전축과, 제1아이들기어에 의해 회전되도록 설치되되 용지이송경로의 상측과 하측 중 어느 일측에 설치되어 용지를 용지이송경로의 내측으로 이송시켜주는 용지이송부 및, 제1아이들기어에 의해 회전되도록 설치되되 용지이송부에 대응되는 용지이송경로의 다른 일측에 설치되어 용지의 중송을 방지해주는 용지중송방지부를 포함한다.