반도체 웨이퍼의 건조 장치

    公开(公告)号:KR1019970077266A

    公开(公告)日:1997-12-12

    申请号:KR1019960015554

    申请日:1996-05-11

    Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼의 건조 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 건조 장치는 축을 중심으로 원심 회전 가능한 건조 장치 본체와, 상기 본체를 밀봉하기 위한 커버와, 상기 본체 내에 회전 가능하게 설치되고, 증기를 발생시키는 증기 발생 장치와, 상기 증기 발생 장치로부터 공급되는 증기를 상기 본체 내에 분사할 수 있도록 상기 증기 발생 장치의 일단에서 방사 방향으로 설치된 복수의 분사 노즐과, 상기 본체 내에 설치되고 건조될 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 지지대를 포함한다. 본 발명에 의하면, IPA 증기를 이용한 웨이퍼 건조공정에서 웨이퍼가 고정 상태로 있지 않고 원심 회전되므로 반응성 파티클의 발생을 방지할 수 있다.

    반도체 기판의 세정액 및 이를 이용한 세정 방법
    44.
    发明公开
    반도체 기판의 세정액 및 이를 이용한 세정 방법 无效
    半导体基板的清洗液及使用其的清洗方法

    公开(公告)号:KR1019970077238A

    公开(公告)日:1997-12-12

    申请号:KR1019960015557

    申请日:1996-05-11

    Abstract: 본 발명은 반도체 기판의 세정액 및 이를 이용한 세정 방법에 관한 것으로, 본 발명에 의한 세정액은 10∼99.9중량%의 질산과, 0.1∼25중량%의 플루오르화 붕소산과, 잔량의 에탄올을 포함한다. 본 발명에 의한 세정방법에 의해 상기 세정액을 이용하면 금속층이 노출된 반도체 기판을 효과적으로 세정할 수 있다.

    웨이퍼 세정 장치
    46.
    发明公开

    公开(公告)号:KR1019970052674A

    公开(公告)日:1997-07-29

    申请号:KR1019950059311

    申请日:1995-12-27

    Abstract: 본 발명은 하나의 프로세서조에서 세정용액인 화확용액으로 웨이퍼를 세정하고 그리고 웨이퍼에 부착된 파티클 및 아직 묻어 있는 화확용액을 초순수로 제거하는 웨이퍼세정장치에 관한 것으로서, 화확세정액의 공급라인(31)이 설치되어 그 화학용액으로 웨이퍼를 세정하는 프로세서챔버(30)의 상부양측에 설치되어 있는 초순수분사용 샤워노즐(36)과; 상기 프로세서챔버(30)내에 초순수를 공급하는 초순수공급라인(34)을 구비하여, 상기 화학세정액으로 웨이퍼를 세정한 다음 상기 샤워노즐(36)및 상기 초순수공급라인(36)에서 분사되는 초순수로 그 웨이퍼를 세척한다.
    상술한 웨이퍼세정장치에 의하면, 세정 및 세척정에 웨이퍼가 공기중에 노출되지 않아 웨이퍼에 파티클등의 오염원이 부착되지 않고 또한 그 프로세서조가 컴팩트하게 구현되어서 설비의 점유면적을 줄일수 있다.

    호스트 상에서 단축키를 이용한 화상형성장치의 드라이버 호출장치 및 방법
    47.
    发明授权
    호스트 상에서 단축키를 이용한 화상형성장치의 드라이버 호출장치 및 방법 失效
    在主机上使用快捷方式呼叫图像形成装置的驱动程序的装置和方法

    公开(公告)号:KR100750123B1

    公开(公告)日:2007-08-21

    申请号:KR1020050052534

    申请日:2005-06-17

    Inventor: 한유림 조용준

    CPC classification number: G06F3/023

    Abstract: 호스트 상에서 단축키를 이용한 화상형성장치의 드라이버 호출장치 및 방법이 개시된다. 그 방법은, 하나 이상의 화상형성장치들과 연결된 호스트가 상기 화상형성장치들의 드라이버를 호출하는 방법에 있어서, 단축키 조작을 인식하는 단계; 및 상기 화상형성장치들에 대한 미리 설치되어 있는 드라이버들 중 상기 인식된 단축키 조작의 결과에 상응하는 드라이버를 호출하는 단계를 포함함을 특징으로 한다. 그러므로, 본 발명에 의하면 사용자는 복수 번 번거로이 키 조작하지 않아도 화상형성장치의 드라이버를 사용자의 의도된 모습이 반영된 상태로 호출할 수 있다.

    인쇄옵션 설정방법 및 장치
    48.
    发明授权
    인쇄옵션 설정방법 및 장치 失效
    设置打印选项的方法和设备

    公开(公告)号:KR100748620B1

    公开(公告)日:2007-08-13

    申请号:KR1020050052652

    申请日:2005-06-17

    Inventor: 조용준

    CPC classification number: G06F3/1284 G06F3/1205 G06F3/1253

    Abstract: 인쇄옵션 설정방법 및 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 소정 문서의 인쇄옵션을 설정하는 인쇄옵션 설정장치의 인쇄옵션 설정방법은, 문서의 인쇄를 요청하는 단계, 인쇄가 요청된 문서에 대응되어, 문서를 이전에 인쇄할 때 설정된 인쇄옵션인 제1설정정보가 존재하는지를 판단하는 단계, 및 제1설정정보가 존재하면, 제1설정정보를 이용하여 문서를 인쇄하는 단계를 포함한다. 따라서, 사용자가 별도의 조작을 수행하거나 동일한 인쇄옵션 설정정보를 재입력하는 번거로움 없이도 동일한 문서를 재인쇄할 때 이전에 사용한 설정정보에 따라 인쇄할 수 있다.

    호스트 상에서 단축키를 이용한 화상형성장치의 드라이버 호출장치 및 방법
    49.
    发明公开
    호스트 상에서 단축키를 이용한 화상형성장치의 드라이버 호출장치 및 방법 失效
    使用短裤呼叫外周驱动器的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020060132275A

    公开(公告)日:2006-12-21

    申请号:KR1020050052534

    申请日:2005-06-17

    Inventor: 한유림 조용준

    CPC classification number: G06F3/023

    Abstract: A device and a method for calling a driver using a shortcut key are provided to call the driver of peripherals excluding a default peripheral among the peripherals connected to a host by operating a shortcut key. A shortcut key recognizer(243) recognizes a shortcut key operation. A driver caller(245) calls the driver corresponding to a recognition result among the previously stored drivers. A shortcut key information searcher(244) searches shortcut key information corresponding to the recognition result among previously stored shortcut key information. A shortcut key information storing part(242) stores the shortcut key information by using the recognition result as an address. A shortcut key information generator(234) generates the shortcut key information for each recognition result.

    Abstract translation: 提供了使用快捷键来调用驱动程序的设备和方法,以通过操作快捷键来呼叫外部设备的驱动程序,其不包括连接到主机的外围设备中的默认外围设备。 快捷键识别器(243)识别快捷键操作。 驱动程序调用者(245)在先前存储的驱动程序中调用与识别结果对应的驱动程序。 快捷键信息搜索器(244)搜索与先前存储的快捷键信息中的识别结果相对应的快捷键信息。 快捷键信息存储部(242)通过使用识别结果作为地址存储快捷键信息。 快捷键信息生成器(234)生成每个识别结果的快捷键信息。

    소프트웨어 설치 시스템 및 방법과, 소프트웨어 설치용프로그램이 저장된 저장매체
    50.
    发明公开

    公开(公告)号:KR1020060109804A

    公开(公告)日:2006-10-23

    申请号:KR1020050068104

    申请日:2005-07-26

    Inventor: 조용준 최인성

    CPC classification number: G06F8/61 G06F3/048 G06F3/14

    Abstract: A system and a method for installing software, and a recording medium storing a software installation program are provided to enable a user to easily check previous setting and easily change the setting when an application program or a driver is installed. The software installation program(1) has an installer(10) installing software(2) for driving a device connected to a user terminal(3) or performing a specific function according to the user setting, a main UI(User Interface) controlling module(13) controlling a main UI for displaying the setting of the software to the user terminal, and a sub UI controlling module(17) controlling a sub UI for displaying the selected setting. The user terminal stores the setting selected by the user through the main and sub UI. Information for the connected device is displayed to at least one of the main and sub UI. The sub UI controlling module generates a basic information section displaying unique information of the software to the sub UI and an installation information section displaying the setting information selected through the main UI.

    Abstract translation: 提供一种用于安装软件的系统和方法,以及存储软件安装程序的记录介质,以便用户能够容易地检查以前的设置,并且当安装应用程序或驱动程序时容易地改变设置。 软件安装程序(1)具有安装程序(10),用于驱动连接到用户终端(3)的设备或根据用户设置执行特定功能的软件(2),主UI(用户界面)控制模块 (13)控制用于向用户终端显示软件的设置的主UI,以及控制用于显示所选设置的子UI的子UI控制模块(17)。 用户终端存储用户通过主UI和子UI选择的设置。 连接设备的信息显示在主UI和辅助UI中的至少一个上。 子UI控制模块生成向子UI显示软件的唯一信息的基本信息部分和显示通过主UI选择的设置信息的安装信息部分。

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