Abstract:
PURPOSE: A method and a device for controlling printing are provided to perform printing by one general-purpose printer driver about a plurality of image forming devices, thereby improving the convenience of a user. CONSTITUTION: If a print command is received, a print control device determines performance of print job in a default image forming device. If an image forming device which set as a default image forming device is in a printable state, the printing control device generates printing data by printing language corresponding to selected image forming device(S940). The printing control device transmits the printing data through a port corresponding to the image forming device(S950).
Abstract:
본 발명은 레지스터 장치에 관한 것으로서, 특히 사용자 코어의 레지스터 모듈에서 효과적인 게이팅을 수행함으로서 전력소모를 줄이는 장치를 제공하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 장치는, 기록 활성화 신호(write_enable)와 칩선택 신호(CS)와 적어도 하나의 독출 신호(read-signal)와 레지스터의 주소 신호(ADDR)를 입력으로 하는 양방향 게이팅 구조를 가지는 상기 레지스터 모듈로서, 상기 칩선택 신호(CS)와 상기 기록 활성화 신호(write_enable)를 논리합 한 제1신호를 상기 주소 신호(ADDR)와 논리합하여 부호화된 기록 주소(coded write address)를 출력하며, 상기 칩선택 신호(CS)와 상기 기록 활성화 신호(write_enable)의 반전 신호를 논리합 한 제2신호를 상기 주소 신호(ADDR)와 논리합 하여 부호화된 읽기 주소(coded read address)를 출력하며, 상기 적어도 하나의 독출 신호(read-signal)와 상기 제2신호를 논리합하여 독출부 활성화 신호를 출력하는 양방향 게이팅부와, 상기 부호화된 기록 주소(coded write address)가 입력될 시 상기 부호화된 기록 주소(write address)를 복호하고, 상기 복호된 기록 주소(decoded write address)와 버스로부터 입력되는 데이터를 수신하여 기록 데이터들(write-signals)을 생성하여 상기 레지스터로 출력하는 기록부와, 상기 부호화된 읽기 주소(coded read address)가 입력될 시 상기 읽기 주소(read address)를 복호하고, 상기 레지스터로부터 독출 신호(read-signal)와 상기 복호된 읽기 주소(decoded read address)를 이용하여 출력 데이터를 생성하여 상기 버스로 출력하는 독출부를 포함한다. TWO-WAY GATING, LOW POWER, REGISTER MODULE
Abstract:
A method and an apparatus for canceling interference in a hybrid terminal supporting a broadcasting service and a mobile communication service, and the hybrid terminal thereof are provided to determine the activation of a broadcasting receiver, determine the presence of a broadcasting receiving burst, decrease or increase the transmission power of a mobile communication signal according to the presence of the broadcasting burst, and transmit the mobile communication signal, thereby improving the receive performance of the broadcasting receiver equipped in the hybrid terminal. A method for canceling interference in a hybrid terminal supporting a broadcasting service and a mobile communication service comprises the following steps of: checking a first signal(Digital Video Broadcasting_ON) is transmitted according as a DVB-H(HandHeld) receiver is on(701); receiving a third signal of indicating the receive quality value of a broadcasting signal measured from the DVB-H receiver when the first signal is one(705); receiving receive quality information and receive power information for the uplink power control of a GSM signal from a GSM receiver(707); checking whether a second signal(BURST_ON) of indicating the on/off timing of a DVB burst is one(709); decreasing the transmission power of the GSM receiver when the second signal is one(711); and increasing the transmission power of the GSM receiver when the second signal is zero(713).
Abstract:
PURPOSE: A method for forming an aluminum oxide film that can reduce impurities inside oxide film is provided, which is characterized in that an aluminum source consisting of DAMCl£Di-Methyl-Aluminum-Chloride (10): Al(CH3)2Cl|is introduced into a reaction chamber leading to chemical/physical adsorption before an oxygen source that is subject to undergo chemical exchange with the aluminum source is introduced into the reaction chamber to consequently form an aluminum oxide film on the surface of a semiconductor substrate. CONSTITUTION: The method for forming an aluminum oxide film using atomic layer deposition comprises the steps of chemically and physically adsorbing the aluminum source on a semiconductor substrate by infusing an aluminum source consisting of DAMCl£Di-Methyl-Aluminum-Chloride (10): Al(CH3)2Cl|into a reaction chamber; and chemically reducing the aluminum source and oxygen source by infusing an oxygen source consisting of ozone onto the chemically and physically aluminum source deposited semiconductor substrate (20), wherein the infusion of the aluminum source and oxygen source is performed at a temperature of 150 to 650 deg.C, and the method comprises the step of purging the reaction chamber with an inert gas (15) after the step of infusing the aluminum source.
Abstract:
본 발명은 반도체 소자 또는 액정표시소자용 세정용액 및 이를 이용한 세정방법에 관한 것으로서, 본 발명의 세정용액은 0.01-20부피%의 플루오르화수소, 50-99.8부피%의 이소프로필알콜 및 0.01-19.9부피%의 탈이온수를 포함한다. 본 발명에 따른 세정용액은 폴리실리콘층의 세정 및 폴리실리콘층과 절연층이 공존할 경우의 세정에 바람직하게 적용될 수 있는데, 유기 및 무기성 오염물질에 대한 세정 효과 및 세정후의 재부착 방지 효과가 우수하여 콘택홀 형성후, 확산 공정 이전 또는 사진식각 공정 이전의 세정 공정시에 바람직하게 사용될 수 있으며, 특히 세정후에도 균일한 콘택홀 프로파일을 제공함으로써 반도체 소자 또는 액정표시소자의 성능 및 수율 향상에 기여할 수 있다.
Abstract:
습식 처리조 내에 오염물이 잔류하지 않는 구조를 가지는 웨이퍼 습식 처리 장치 및 그 세정 방법에 관하여 개시한다. 웨이퍼 습식 처리 장치는 습식 처리조 내에 액체를 분사하는 공급 노즐 본체와, 상기 공급 노즐 본체를 통하여 상기 습식 처리조에 각각 서로 다른 유체를 선택적으로 공급할 수 있도록 상기 공급 노즐 본체에 연결된 제1 유입구 및 제2 유입구와, 상기 제1 유입구 및 제2 유입구에서 각각 유체의 유입을 개폐할 수 있도록 설치된 제1 제어 밸브 및 제2 제어 밸브를 포함하고, 상기 제1 제어 밸브 및 제2 제어 밸브는 이들중 어느 하나가 개방되면 다른 하나는 폐쇄되도록 구성된다. 웨이퍼 습식 처리 장치를 세정하기 위하여, 습식 처리조 내부를 알콜을 함유하는 유기 용제를 사용하여 세척한 후, 상기 습식 처리조 내부를 40 ∼ 70℃의 순수를 사용하여 세척하고, 다시 상온의 순수를 사용하여 세척한다.
Abstract:
집적 회로 장치의 상이한 두께를 가지는 게이트 산화막 구조 형성 방법을 개시한다. 본 발명은 기판 상에 제1게이트 산화막을 형성한다. 이후에, 제1게이트 산화막 상에 질화 실리콘막 패턴을 형성한다. 다음에, 질화 실리콘막 패턴을 마스크로 노출되는 제1게이트 산화막을 패터닝하여 기판을 노출시키는 제1게이트 산화막 패턴을 형성한다. 이후에, 인산을 포함하는 식각 용액을 이용하는 습식 식각 방법 등으로 질화 실리콘막 패턴을 제거한다. 다음에, 노출되는 기판 상에 제2게이트 산화막을 형성한다. 여기서, 제2게이트 산화막의 두께가 제1게이트 산화막 패턴의 두께 보다 작게 제2게이트 산화막을 형성한다.
Abstract:
본 발명은 웨이퍼 세정 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 세정 방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 세정액이 유입되는 세정액 입구를 포함하고 외기(外氣)와 차단 상태로 세정 가능한 세정 챔버와, 상기 세정 챔버를 외기와 차단시킬 수 있도록 상기 세정 챔버 상부에 개폐 가능하게 설치된 챔버 커버와, 내부에 불활성 가스 버블러가 설치되어 있고, 웨이퍼 세정액을 저장하는 세정액 저장 탱크와, 상기 세정액 저장 탱크로부터 세정액을 상기 세정액 입구를 통해 상기 세정 챔버 내로 공급하는 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 장치를 사용하여, 용존 산소가 제거된 세정액으로 불활성 분위기에서 세정을 행한다. 본 발명에 의하면, 웨이퍼의 최종 린스에 사용되는 순수 내의 용존 산소를 최소화함으로써, 세정 공정에서 웨이퍼가 역오염되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
Abstract:
본 발명에는 세정 용액이 개시되어 있다. 본 발명은 탈이온수에 플루오르화붕소수소산(HBF4)과 인산(H3PO4) 및 계면 활성제가 소정 비율로 혼합된 세정 용액을 제공한다. 본 발명은 또한 상기 세정 용액을 이용한 반도체 기판의 세정 방법을 제공한다. 본 발명에 의한 세정 용액은 유기금속성 폴리머의 제거에 탁월한 효과가 있으며, 도전막에 대한 부식성이 없고 금속오염입자가 가공된 반도체 소자에 작용하는 것을 방지할 수 있어서 세정효과가 증대된다. 그리고 상기 세정 용액을 이용한 세정방법은 세정공정 및 조건이 단순화되어 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.