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公开(公告)号：KR1020030072913A
公开(公告)日：2003-09-19
申请号：KR1020020012204
申请日：2002-03-07
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 최재혁
IPC: G01L11/00
Abstract: PURPOSE: A cylinder driving system is provided to detect leakage in a solenoid valve, a speed controller and an air feeding/discharging line in an early stage by measuring pneumatic pressure of a digital gauge. CONSTITUTION: A cylinder driving system includes an air source connected to a first step of a solenoid valve(30). A second step of the solenoid valve(30) is connected to one side of a cylinder(32) through an air feeding line(34) and a third step of the solenoid valve(30) is connected to the other side of the cylinder(32) through an air discharging line(40). Digital gauges(38,42) and speed controllers(36,44) are installed on the air feeding line(34) and the air discharging line(40), respectively. The digital gauges(38,42) measure pressure of air passing through and the speed controllers(36,44) adjust an amount of air by using check balls.
Abstract translation: 目的：提供一种气缸驱动系统，用于通过测量数字量表的气压来早期检测电磁阀，速度控制器和送风/排气管路中的泄漏。 构成：气缸驱动系统包括连接到电磁阀（30）的第一级的空气源。 电磁阀30的第二阶段通过空气供给管线34连接到气缸32的一侧，并且电磁阀30的第三步骤连接到气缸的另一侧 32）通过排气管（40）。 数字量规（38,42）和速度控制器（36,44）分别安装在空气供给管线（34）和排气管线（40）上。 数字量规（38,42）测量通过的空气的压力，速度控制器（36,44）通过使用止回球来调节空气量。
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公开(公告)号：KR1019940008904B1
公开(公告)日：1994-09-28
申请号：KR1019920004088
申请日：1992-03-12
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 최재혁
Abstract: The circuit converts a high voltage into a stable lower voltage for precise measurement of the voltage. The circuit comprises a voltage controlled oscillator(10) for generating an output pulse train in proportion to high voltage and connecting the input and output simultaneously, a waveform shaping circuit for compensating the rising and falling time delay of the voltage controlled oscillator output(10), a photocoupler(40) for disconnecting the input and output, and a frequency to voltage conversion circuit(30) for converting output frequency into voltage.
Abstract translation: 该电路将高电压转换成稳定的较低电压，以精确测量电压。 电路包括用于产生与高电压成比例的输出脉冲串并同时连接输入和输出的压控振荡器（10），用于补偿压控振荡器输出（10）的上升和下降时间延迟的波形整形电路， ，用于断开输入和输出的光电耦合器（40），以及用于将输出频率转换成电压的频率 - 电压转换电路（30）。
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公开(公告)号：KR102216540B1
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：KR1020140045496
申请日：2014-04-16
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신정순 , 최재혁 , 비크만제론 , 모하매디마수디모하매드 , 네이츠크리스티안
Abstract: 광학셔터는콜레스테릭액정매트릭스와, 상기콜레스테릭액정매트릭스내에임베드된다수의액정나노포어로이루어진나노포어-콜레스테릭액정층을구비하며, 전기적제어에따라반사파장대역이이동하는제1 편광필터; 상기제1 편광필터와나란하게배치되고, 콜레스테릭액정매트릭스와, 상기콜레스테릭액정매트릭스내에임베드된다수의액정나노포어로이루어진나노포어-콜레스테릭액정층을구비하며, 전기적제어에따라반사파장대역이이동하는제2 편광필터;를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160064923A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：KR1020150010030
申请日：2015-01-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027 , H01L21/033 , G03F1/66
CPC classification number: H01L21/0274 , G03F1/66 , H01L21/0332
Abstract: 본발명은펠리클및 이를포함하는노광마스크에관한것으로서, 보다구체적으로는, 포토마스크기판의소정영역을둘러쌀수 있는펠리클프레임; 상기펠리클프레임의, 상기포토마스크기판과마주하는일면에형성된부착부재(attaching element); 및상기펠리클프레임의타면에형성된펠리클멤브레인를포함하고, 상기부착부재는상기포토마스크기판을향하는쪽의표면에음압생성이가능한 1차구조를갖는펠리클이제공된다. 본발명의기술적사상에따른펠리클을이용하면노광마스크로부터탈착한후에도잔사물이남지않아마스크패턴을손상시킬수 있는케미컬들을사용할필요가없고, 또한펠리클을재활용하는것이가능하여공정비용을감소시킬수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种防护薄膜组件及其制造方法。 更具体地说，防护薄膜组件包括：遮蔽光掩模基板的特定区域的防护薄膜框架; 形成在面对防护薄膜组件框架的光掩模基板的一个表面上的附接元件; 以及形成在防护薄膜组件框架的另一个表面上的防护薄膜组件。 连接元件具有能够朝向光掩模基板产生声压的一次结构。 根据本发明，当使用防护薄膜组件时，即使在从曝光掩模中除去防护薄膜之后，残留物也不会残留。 因此，不需要使用可能损害掩模图案的化学品，并且可以重新使用防护薄膜，从而降低加工成本。
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公开(公告)号：KR1020160057217A
公开(公告)日：2016-05-23
申请号：KR1020140158190
申请日：2014-11-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027 , G03F1/62 , H01L21/205
CPC classification number: G03F1/62 , G03F1/64 , H01L21/0274
Abstract: 기판을준비하고, 상기기판상에 CVD 공정을수행하여멤브레인을형성하고, 제1 용매내에서상기기판상으로부터상기멤브레인을분리하고, 제2 용매내에서상기분리된멤브레인을린스하고, 및제3 용매내에서상기분리된멤브레인을프레임상으로전사하는것을포함하는펠리클제조방법이설명된다.
Abstract translation: 描述了一种制造具有石墨层的防护薄膜的方法，其包括：制备基底; 通过在基板上进行CVD工艺来形成膜; 在第一溶剂中将膜与基底分离; 在第二溶剂中冲洗分离的膜; 并将分离的膜转移到第三溶剂中的框架上。 因此，可以提供用于极紫外光照相法的防护薄膜组件。
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