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公开(公告)号:KR101331202B1
公开(公告)日:2013-11-18
申请号:KR1020110043627
申请日:2011-05-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/414 , G01N27/416
Abstract: 본 발명은 센서 지지판의 상부에 안착되는 다중 센서 및 상기 다중 센서에 접촉하여 전기적 특성을 측정하는 복수의 프로브를 포함하는 다중 센서용 프로브 스테이션에 적용되는 다중 센서 자동 측정 시스템에 관한 것으로, 프로브를 통해 검지를 위한 전압을 공급하는 전압 공급부, 전압이 인가된 개별 프로브나 개별 센서의 전류 또는 저항을 측정하는 전류 및 저항 측정부, 다중 센서로 전압을 공급할 때, 또는 다중 센서로부터 측정 신호를 수신할 때 개별 센서 또는 개별 프로브의 단자를 스위칭하는 릴레이부, 개별 센서로의 전압 공급이 끊기지 않는 상태에서 개별 센서에 대한 전류를 측정하도록, 여러 개별 센서 중에서 검지하고자 하는 센서를 선택하는 멀티플렉서부 및, 사용자의 입력을 받아들여 전압 공급부, 전류 및 전압 측정부, 릴레이부 및, 멀티플렉서부를 제어하거나, 또는 프로브 스테이션의 조절 장치를 제어하는 제어부를 구비한다.
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公开(公告)号:KR1020130057056A
公开(公告)日:2013-05-31
申请号:KR1020110122788
申请日:2011-11-23
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/333
Abstract: PURPOSE: A sensor using a carbon nanotube for measuring the concentration of an ion and a manufacturing method thereof are provided to sense a minute current change generated when a specific ion is reacted and to improve the sensitivity properties of the sensor. CONSTITUTION: A sensor using a carbon nanotube for measuring the concentration of an ion comprises positive electrode units(2a,2b), a carbon nanotube channel(3), and an ion selective membrane(5). The electrode units are stacked separately on a substrate(1). The nanotube channel connects the both electrode units. The ion selective membrane is selectively reacted with a specific ion stacked on a nanotube. The concentration of the specific ion is measured by sensing a current change in the carbon nanotube channel generated when the ion selective membrane is selectively reacted with the specific ion inside a sample solution.
Abstract translation: 目的:提供使用碳纳米管测量离子浓度的传感器及其制造方法,以感测当特定离子反应时产生的微小电流变化并提高传感器的灵敏度特性。 构成:使用碳纳米管测量离子浓度的传感器包括正极单元(2a,2b),碳纳米管通道(3)和离子选择膜(5)。 电极单元分别堆叠在基板(1)上。 纳米管通道连接两个电极单元。 离子选择膜选择性地与堆叠在纳米管上的特定离子反应。 通过感测当离子选择性膜与样品溶液中的特定离子选择性反应时产生的碳纳米管通道的电流变化来测量特定离子的浓度。
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公开(公告)号:KR1020120137773A
公开(公告)日:2012-12-24
申请号:KR1020110056820
申请日:2011-06-13
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N21/64 , G01N21/31 , G01N33/18 , G01N33/483
Abstract: PURPOSE: A sensor for measuring concentration of chlorophyll-a which is included in underwater plant plankton is provided to detect fluorescence quantity with a photo detection part comprising two photo detectors, thereby being effective in easily measuring a micro signal . CONSTITUTION: A sensor for measuring concentration of chlorophyll-a included in underwater plant plankton comprises a light emitting part, a sample part, a first sensor part, and a second sensor part. The light emitting part provides light to be absorbed in chlorophyll-a. The chlorophyll-a is included in underwater plant plankton. The light emitted from the light emitting part passes through the sample part. The first sensor part measures the quantity of light which is absorbed in chlorophyll-a by passing through the sample part. The second sensor part measures the quantity of fluorescence which is emitted from plant plankton in the sample part. [Reference numerals] (AA) Motor; (BB) Wiper; (CC) LED; (DD) PD[λ=680nm] fluorescence detector; (EE) PD[λ460nm] light absorption detector
Abstract translation: 目的:提供一种用于测量水下植物浮游生物中包含的叶绿素a浓度的传感器,以便利用包含两个光电检测器的光检测部分检测荧光量,从而有效地容易地测量微信号。 构成:用于测量水下植物浮游生物中包含的叶绿素a浓度的传感器包括发光部分,样品部分,第一传感器部分和第二传感器部分。 发光部分提供被叶绿素a吸收的光。 叶绿素a包括在水下植物浮游生物中。 从发光部发出的光通过样品部。 第一传感器部件通过通过样品部分来测量在叶绿素a中吸收的光量。 第二传感器部分测量样品中植物浮游生物发出的荧光量。 (标号)(AA)马达; (BB)雨刮器; (CC)LED; (DD)PD [λ= 680nm]荧光检测器; (EE)PD [λ460nm]光吸收检测器
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公开(公告)号:KR1020120126586A
公开(公告)日:2012-11-21
申请号:KR1020110044490
申请日:2011-05-12
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: B82Y30/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01L51/0003 , H01L51/0018 , H01L51/0048 , H01L51/0508 , H01L51/0512
Abstract: PURPOSE: A controlling method of carbon nano-tube adsorption rate and a manufacturing method of carbon nano-tube using the same are provided to uniformly obtain adsorption quantity of carbon nano-tubes. CONSTITUTION: A controlling method of carbon nano-tube adsorption rate comprises the following steps: absorbing the carbon nano-tube particles on a semiconductor structure; and removing a part of absorbed carbon nano-tube by performing oxygen plasma treatment on the carbon nano-tube particles. The first step includes the following step: dipping a substrate on which photoresist pattern is formed in a solution in which carbon nano-tubes are dispersed in dichlorobenzene. The oxygen plasma treatment is performed for 5-30 seconds. A carbon nano-tube device manufacture method comprises the following steps: forming an insulating layer(210) on the substrate(200); forming a mask pattern(220) on an insulating layer; absorbing carbon nano-tube particles which are more than the reference amount in the opened domain among the mask pattern; and removing a part of absorbed carbon nano-tubes by performing the oxygen plasma treatment on the carbon nano-tube particles.
Abstract translation: 目的:提供碳纳米管吸附率的控制方法和使用其的碳纳米管的制造方法,以均匀地获得碳纳米管的吸附量。 构成:碳纳米管吸附速率的控制方法包括以下步骤:在半导体结构上吸收碳纳米管颗粒; 并通过对碳纳米管颗粒进行氧等离子体处理来去除一部分吸收的碳纳米管。 第一步包括以下步骤:在其中将碳纳米管分散在二氯苯中的溶液中浸渍形成有光致抗蚀剂图案的基板。 氧等离子体处理进行5-30秒。 碳纳米管装置制造方法包括以下步骤:在基板(200)上形成绝缘层(210); 在绝缘层上形成掩模图案(220); 吸收比掩模图案中的开放域中的参考量大的碳纳米管粒子; 并通过对碳纳米管颗粒进行氧等离子体处理来除去一部分吸收的碳纳米管。
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公开(公告)号:KR101119009B1
公开(公告)日:2012-03-14
申请号:KR1020090019990
申请日:2009-03-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L33/12
CPC classification number: H01L33/0079
Abstract: 이온주입에 의한 분리를 이용한 발광소자 제조 방법이 개시된다. 이 방법은 기판, 기판 상에 적층된 제1 도전형의 하부 반도체층, 활성층 및 제2 도전형의 상부 반도체층, 활성층 보다 낮은 낮은 영역에 형성된 분리층을 포함하는 적층 구조체를 형성하는 단계와, 열 공정으로 분리층의 상부와 하부를 분리시키는 단계를 포함한다. 이 방법에 의해 발광소자 제조 과정에서 크랙이 발생되는 것을 방지하고, 고효율, 저비용, 대면적의 발광소자를 단가 상승없이 제조할 수 있다.
발광소자, 이온주입, 분리, 열공정, 하부 반도체층, 활성층, 상부 반도체층-
公开(公告)号:KR1020110129675A
公开(公告)日:2011-12-02
申请号:KR1020100049185
申请日:2010-05-26
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N33/487 , G01N35/08 , G01N21/45
CPC classification number: G02B26/10 , G02B2006/1215 , G02B2006/12159
Abstract: PURPOSE: A beam scanning system for detecting a bio-substance by an optical phased array is provided to continuously detect the bio-substance without sample fixation. CONSTITUTION: A bean scanning system(100) comprises: a light source forming part(110) for forming a supercontinuum light source; a voltage application unit(120) for variably forming a voltage; and an optical device(130) which changes the phase of a supercontinuum light source to form and output beams(22). The optical device comprises an incident port, a plurality of output ports, and electrodes.
Abstract translation: 目的:提供用于通过光学相控阵列检测生物物质的束扫描系统,以在不进行样品固定的情况下连续检测生物物质。 构成:豆扫描系统(100)包括:用于形成超连续光源的光源形成部分(110); 用于可变地形成电压的电压施加单元(120); 以及改变超连续光源的相位以形成和输出光束(22)的光学装置(130)。 光学装置包括入射端口,多个输出端口和电极。
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公开(公告)号:KR1020110060704A
公开(公告)日:2011-06-08
申请号:KR1020090117374
申请日:2009-11-30
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A field effect transistor sensor array and a manufacturing method thereof are provided to simultaneously measure a plurality of materials by increasing the number of gate electrodes of a field effect transistor according to the kind of materials. CONSTITUTION: An n x n sensor array is arranged on a substrate. A plurality of gate electrodes corresponds to materials. A common source electrode commonly connects n sources comprising each row of the n x n sensor array. A common drain electrode commonly connects n drains comprising each row of the n x n sensor array. A nano wire channel is formed between the common source electrode and the common drain electrode.
Abstract translation: 目的:提供场效应晶体管传感器阵列及其制造方法,以通过根据材料的种类增加场效应晶体管的栅电极的数量来同时测量多种材料。 构成:一个n x n传感器阵列布置在基片上。 多个栅电极对应于材料。 公共源电极通常连接包括n×n个传感器阵列的每一行的n个源。 公共漏电极通常连接包括n×n个传感器阵列的每行的n个漏极。 在公共源电极和公共漏电极之间形成纳米线通道。
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公开(公告)号:KR101017938B1
公开(公告)日:2011-03-04
申请号:KR1020090072426
申请日:2009-08-06
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01S3/05
CPC classification number: H01S1/06
Abstract: 본 발명은 테라헤르츠파 생성기 및 이를 이용한 고출력 테라헤르츠파 생성 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 내부가 비어있는 구체와, 상기 구체의 소정 부위가 절개되어 설치되는 포커싱렌즈 또는 상기 구체의 소정 부위가 절개된 개구를 포함하고, 상기 구체의 내면이 금속으로 코팅된 테라헤르츠파 생성기와, 상기 포커싱렌즈 또는 상기 개구로 준위가 다른 2개의 주파수를 입사시켜 다수의 에어플라즈마(air plasma)를 생성하고, 상기 다수의 에어플라즈마가 상기 구체의 금속으로 코팅된 내면과 빈공간을 이용해 계속적인 포커싱(focusing)을 해줌으로써 고출력의 테라헤르츠파를 생성하는 방법이 제시된다. 본 발명에 의하면 계속적인 에어플라즈마를 생성함으로써 하나의 에어플라즈마를 이용하여 생성되는 테라헤르츠파의 광세기가 낮게 되는 것을 극복할 수 있다.
테라헤르츠파, 펨토초, 광신호-
公开(公告)号:KR101007243B1
公开(公告)日:2011-01-13
申请号:KR1020080084549
申请日:2008-08-28
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N21/66
Abstract: 본 발명은 저전력-저면적의 범용 다중 가스 검출 회로에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 센서별 전류 바이어스 회로 구성에 의해 다중 신호 검출이 가능할 뿐만 아니라, 검출하고자 하는 회로만을 활성화시켜 최대한 전력소모를 줄일 수 있는 다중 센서 신호의 검출 및 처리가 가능한 범용 검출 회로에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 다중 가스 검출 회로는 센서의 단일 배열 및 다중 배열을 가능하게 하므로 복합 물질의 검출이 가능할 뿐만 아니라, 온도 측정 및 보상 회로부를 구비하여 센서의 온도 특성을 보상할 수 있고, 이에 가스의 존재 및 농도를 정확하게 검출할 수 있는 장점이 있게 된다.
반도체식, 가스 센서, 저전력, 저면적, 범용, 다중, 가스 검출 회로
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