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公开(公告)号:KR101713119B1
公开(公告)日:2017-03-08
申请号:KR1020160046275
申请日:2016-04-15
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: A61K9/7007 , A61K9/0021 , A61K9/7023 , A61K9/703 , A61M37/0015 , A61M2037/0023
Abstract: 본발명은피부를가로질러약물의확산에의존하는경피전달기술에서연어핵산필름을적용함으로써, 피부트러블을방지하고, 약물의피부침투도를향상시킬수 있는연어핵산필름의제조방법과, 연어핵산필름을이용한약물주입장치에관한것이다. 이를위해연어핵산필름의제조방법은 100 중량부의증류수또는탈이온수에 0.5 중량부내지 5 중량부의연어핵산을파우더형태로투입하여혼합액을형성하는혼합단계와, 혼합단계를거친상기혼합액을교반하는교반단계와, 완성되는연어핵산필름의형태에대응하는성형몰드에혼합액을도포하는혼합액도포단계및 성형몰드에도포된혼합액이연어핵산필름으로변화되도록성형몰드에도포된혼합액을건조시키는건조단계를포함한다.
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公开(公告)号:KR101661677B1
公开(公告)日:2016-09-30
申请号:KR1020150089708
申请日:2015-06-24
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01J5/22
Abstract: 본기재의메타표면흡수체를포함한볼로미터형적외선센서는기판, 상기기판상에형성된적외선반사층, 상기적외선반사층으로부터이격되게위치된저항층및 상기저항층상에형성되며, 복수의개구패턴이형성된메타표면(meta surface)을포함하는적외선흡수체를포함한다.
Abstract translation: 包括根据本公开的间表面吸收体的辐照热计式红外传感器包括基板,形成在基板上的红外反射层,与红外反射层分离的电阻层和形成在电阻层上的红外线吸收体 并且包括形成开口图案的元表面。 因此,可以提高传感器的反应速度。
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公开(公告)号:KR101088359B1
公开(公告)日:2011-12-01
申请号:KR1020100026302
申请日:2010-03-24
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 나노임프린트를 이용한 패턴형성방법에 관한 것으로서, 본 발명의 제1실시형태에 의한 나노임프린트를 이용한 패턴 형성방법은, 기판상에, 금속원소에 에너지선 또는 열 중 적어도 하나에 의하여 분해가능한 유기물 리간드가 결합하여 이루어진 금속-유기물 전구체 조성물을 코팅하는 단계; 몰드를 상기 코팅된 금속-유기물 전구체 조성물상에 가압하는 단계; 가열 또는 에너지선 조사 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 상기 조성물에 패턴을 임프린팅하여, 상기 기판상에 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 금속 산화박막 패턴의 전면을 건식 식각에 의하여 에칭하는 단계를 포함하며, 상기 에칭단계에 의하여 상기 금속 산화박막 패턴 중 오목부(凹部)에 해당하는 부분의 기판이 함께 식각됨으로써, 상기 금속 산화박막 패턴의 두께 방향으로의 단면 형상에 상응하는 요철로 이루어진 패턴이 상기 기판 자체에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 광 추출 효율이 극대화된 나노 패턴을 형성할 수 있고, 금속 산화물 이외에 정밀하고 미세한 패턴 형성이 요구되는 재질로 패턴을 형성할 수 있으며, 아울러, 나노막대의 정밀한 정렬 및 밀도 조절이 용이하게 수행될 수 있다.Abstract translation: 本发明涉及一种图案形成方法,使用纳米压印,使用根据本发明的第一实施方式的纳米压印的图案形成方法被分解在基板上,由能量射线或热的金属元素中的至少一个可以 涂覆包含与其结合的有机配体的金属有机前体组合物; 将模具压在涂覆的金属有机前体组合物上; 使用加热和能量束照射中的至少一种在组合物上压印图案以在基板上形成金属氧化物薄膜图案; 并且通过干法蚀刻来蚀刻金属氧化物薄膜图案的整个表面,其中与金属氧化物薄膜图案一起蚀刻对应于凹部的金属氧化物薄膜图案的一部分, 由凹凸对应于横截面形状的薄膜图案的厚度方向的图案的特征在于,形成在基板本身。
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公开(公告)号:KR1020110107120A
公开(公告)日:2011-09-30
申请号:KR1020100026302
申请日:2010-03-24
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0274 , G03F7/0027
Abstract: 본 발명은 나노임프린트를 이용한 패턴형성방법에 관한 것으로서, 본 발명의 제1실시형태에 의한 나노임프린트를 이용한 패턴 형성방법은, 기판상에, 금속원소에 에너지선 또는 열 중 적어도 하나에 의하여 분해가능한 유기물 리간드가 결합하여 이루어진 금속-유기물 전구체 조성물을 코팅하는 단계; 몰드를 상기 코팅된 금속-유기물 전구체 조성물상에 가압하는 단계; 가열 또는 에너지선 조사 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 상기 조성물에 패턴을 임프린팅하여, 상기 기판상에 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 금속 산화박막 패턴의 전면을 건식 식각에 의하여 에칭하는 단계를 포함하며, 상기 에칭단계에 의하여 상기 금속 산화박막 패턴 중 오목부(凹部)에 해당하는 부분의 기판이 함께 식각됨으로써, 상기 금속 산화박막 패턴의 두께 방향으로의 단면 형상에 상응하는 요철로 이루어진 패턴이 상기 기판 자체에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 광 추출 효율이 극대화된 나노 패턴을 형성할 수 있고, 금속 산화물 이외에 정밀하고 미세한 패턴 형성이 요구되는 재질로 패턴을 형성할 수 있으며, 아울러, 나노막대의 정밀한 정렬 및 밀도 조절이 용이하게 수행될 수 있다.-
公开(公告)号:KR102235084B1
公开(公告)日:2021-04-01
申请号:KR1020180171113
申请日:2018-12-27
Applicant: 한국기계연구원 , 에이디엠바이오사이언스 주식회사
IPC: A61B5/15
Abstract: 본발명은정밀가공된미세니들을니들고정기판에수평으로정렬하고, 미세니들이정렬된복수개의니들고정기판을적층함으로써고세장비를가지는미세니들마스터를쉽고정밀하게제작할수 있는고세장비미세니들마스터제작방법에관한것이다.이를위하여, 본발명은제1 니들고정기판과, 상기제1 니들고정기판의하부에배치되며, 여러겹으로이격되어적층되는복수개의제2 니들고정기판과, 상기복수개의제2 니들고정기판중 가장아래쪽에위치하는제2 니들고정기판의하부에배치되는제3 니들고정기판과, 상기제1 니들고정기판과상기제2 니들고정기판의간극, 상기복수개의제2 니들고정기판들의간극및 상기제2 니들고정기판과상기제3 니들고정기판의간극사이에배치되어고정되되, 일정한간격으로정렬되는복수개의미세니들을포함하며, 상기복수개의미세니들의일부는상기제1 니들고정기판내지제3 니들고정기판으로부터같은길이로돌출되어있는것을특징으로하는고세장비미세니들마스터를제공한다.
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公开(公告)号:KR101930421B1
公开(公告)日:2018-12-19
申请号:KR1020170059454
申请日:2017-05-12
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 대면적 제작 및 롤 스탬프를 이용한 연속 공정이 가능하며, 굴절광학소자에서 구현할 수 없는 여러가지 종류의 광학기능을 구현할 수 있는 나노마이크로기반 회절광학소자 및 이의 형성방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 투명기판과, 형성하고자 하는 홀로그램 패턴에 대응되도록 상기 투명기판 상부에 형성되어 있는 기능층과, 상기 투명기판과 상기 기능층 사이에 배치되는 산화물층을 포함하며, 상기 기능층 하면은 원형 또는 모서리가 곡면을 가지는 다각형 또는 이들의 집합체 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 나노마이크로기반 회절광학소자를 제공한다.-
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公开(公告)号:KR101858945B1
公开(公告)日:2018-05-23
申请号:KR1020160117881
申请日:2016-09-13
Applicant: 한국기계연구원 , 한양대학교 산학협력단
IPC: G03F7/00 , H01L21/027 , B82Y40/00
Abstract: 고종횡비금속구조제조방법은제1 베이스기판상에씨드층을형성한다. 상기씨드층상면에상기씨드층을외부로노출하는홀(hole)을포함하도록나노마스크를형성한다. 상기씨드층으로부터상기홀을관통하여나노로드(nano rod)들을성장시킨다. 상기나노로드들사이의이격공간을금속으로채운다. 상기씨드층으로부터상기나노로드들을제거하여홀을포함하는금속구조를형성한다.
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公开(公告)号:KR101803523B1
公开(公告)日:2017-11-30
申请号:KR1020150111795
申请日:2015-08-07
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G02F1/01 , G02F1/017 , G02F1/1333
Abstract: 본발명은같은색깔을지니는양자점들을하나의집합체로형성하여간섭을최소화시킨디스플레이에사용되는양자점집합체의집합방법에관한것으로, 내측튜브와외측튜브로구성된이중튜브를제조하는단계; 콜로이드분산액에양자점이분산된양자점잉크를상기내측튜브에수용시키는단계; 상기외측튜브에계면활성제를포함하는물 수용액을수용시키는단계; 상기내측튜브및 외측튜브에압력을가하여각각수용된양자점잉크및 물을분사하여상기양자점잉크를액적으로생성하는단계; 및상기액적형태의양자점잉크를자외선영역을통과시켜경화시키는단계;를포함하여구성되어, 같은색깔을지니는양자점들을하나의집합체로형성하여간섭을최소화시킴으로서양자점들의에너지가색의간섭에의해분산되지않아에너지효율이향상되며간섭을최소화시킴으로서양자점들의색이간섭에의해발생하는깜박거림현상을감소시키는효과가있다.
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