-
-
公开(公告)号：KR101918260B1
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：KR1020170092291
申请日：2017-07-20
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단 , 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L51/52 , H01L29/786 , H01L51/56 , H01L51/00
Abstract: 본발명의한 실시예에따른전자소자는기판, 기판위에형성되어있으며, 복수의고분자사슬을포함하는제1 부분과제2 부분을가지는전도성고분자층, 제1 부분의전도성고분자층의표면으로부터돌출된돌출부를포함하는양각패턴, 전도성고분자층및 상기양각패턴을밀봉하는봉지부재를포함하고, 봉지부재는광전환물질을포함하는투명한고분자물질로이루어진다.
-
公开(公告)号：KR101769550B1
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：KR1020150155727
申请日：2015-11-06
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23K26/08 , B23K26/06 , B23K26/046 , B23K26/04 , B23K26/70
Abstract: 본발명은공정속도를향상시키고, 및오차를감소시킬수 있는 3차원레이저조사장치를제공한다. 본발명의일 측면에따른 3차원레이저조사장치는제1 지령주기로이동이제어되는스테이지, 상기제1 지령주기보다더 짧은제2 지령주기로제어되어레이저빔을이동시키는스캐너, 상기제1 지령주기로상기스테이지의이동을제어하는제1 제어부, 상기스테이지의이동오차를측정하는오차측정부, 상기제2 지령주기로상기스캐너를제어하는제2 제어부, 및상기스테이지의이동오차를보상하도록상기스캐너의레이저조사경로를수정하는보상제어부를포함한다.
-
公开(公告)号：KR1020170067981A
公开(公告)日：2017-06-19
申请号：KR1020150174615
申请日：2015-12-09
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은전자빔주사기가설치되는챔버본체와, 상기챔버본체의일측에형성되는연통홀과, 상기연통홀의외부공간으로공기를유입시킬수 있도록상기챔버본체에서연장형성되는공기유입관과, 상기연통홀과공기유입관에연통되게형성되며상기공기유입관으로유입된공기를배출시키는공기배출관과, 상기공기유입관에공기를공급하여상기공기배출관으로공기가배출되도록하여상기챔버본체내 압력을감소시킴으로써저진공상태를구현하는송풍기를포함하는전자빔주사용진공챔버및 이를구비하는전자빔주사시스템을개시한다.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160150559A
公开(公告)日：2016-12-30
申请号：KR1020150088743
申请日：2015-06-22
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
IPC: H01L51/00 , H01L21/027 , H01L21/02 , G03F7/20
Abstract: 본발명의한 실시예에따른양각패턴의형성방법은고분자막을준비하는단계, 고분자막에레이저빔을조사하여고분자막의표면으로부터돌출되는패턴을형성하는단계를포함하고, 레이저빔의에너지밀도는레이저빔에의해서고분자막이삭막되는삭막임계점미만으로조사하여패턴을형성할수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020160058359A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：KR1020140159160
申请日：2014-11-14
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0275
Abstract: 본발명의실시예에따른박막패턴의형성방법은고분자막을준비하는단계, 고분자막에레이저빔을조사하여고분자막의표면으로부터돌출되는패턴을형성하는단계를포함하고, 레이저빔의파워는레이저빔에의해서고분자막이삭막되는삭막임계점미만으로조사하여패턴을형성한다.
Abstract translation: 提供了形成能够在没有复杂的光刻工艺和压印处理的情况下减少处理时间和制造成本的薄膜图案的方法。 根据本发明的实施方案的形成薄膜图案的方法包括：制备聚合物膜的步骤; 以及通过向聚合物膜发射激光而形成从聚合物膜的表面突出的图案的步骤。 激光束的功率比通过激光束切割聚合物膜的膜切割临界点小。
-
公开(公告)号：KR101528344B1
公开(公告)日：2015-06-12
申请号：KR1020130118068
申请日：2013-10-02
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 레이저를이용한접합장치및 이를이용한다중부재의접합방법이개시된다. 다중부재의접합방법은, 표면이서로맞닿도록상호적층된복수의부재를포함하는다중부재를스테이지위에배치하는단계와, 레이저광원으로부터극초단펄스레이저빔을발진하는단계와, 초점가변형렌즈와집속렌즈로구성된렌즈조립체를이용하여다중부재의계면주위에서다중부재의두께방향을따라레이저빔의초점을일정주기로움직이는단계와, 다중부재내에서비선형흡수현상에의해용접부를형성하는단계를포함한다.
-
公开(公告)号：KR101421094B1
公开(公告)日：2014-07-18
申请号：KR1020130149087
申请日：2013-12-03
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01J37/28
Abstract: The present invention relates to a coil of a scanning electron microscope. The coil of a scanning electron microscope according to one embodiment of the present invention includes a first coil (110), a second coil (120), and a third coil (130). According to the embodiment of the present invention, the first coil (110), the second coil (120), and the third coil (130) face each other. According to the embodiment of the present invention, the first coil (110) and the second coil (120) are vertically arranged.
Abstract translation: 本发明涉及扫描电子显微镜的线圈。 根据本发明的一个实施例的扫描电子显微镜的线圈包括第一线圈（110），第二线圈（120）和第三线圈（130）。 根据本发明的实施例，第一线圈（110），第二线圈（120）和第三线圈（130）彼此面对。 根据本发明的实施例，第一线圈（110）和第二线圈（120）垂直布置。
-
公开(公告)号：KR101421090B1
公开(公告)日：2014-07-18
申请号：KR1020130143201
申请日：2013-11-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01J37/26
Abstract: The present invention relates to a scanning electron microscope. Especially, the present invention relates to a scanning electron microscope with a detachable vacuum chamber unit which allows a vacuum chamber to be detachably installed and moves and emits light according to the need even when the size of a specimen, which is an object to be emitted, is big, thereby improving use convenience compared to an existing scanning electron microscope.
Abstract translation: 本发明涉及扫描电子显微镜。 特别地，本发明涉及一种具有可拆卸真空室单元的扫描电子显微镜，其允许真空室可拆卸地安装，并且根据需要移动和发光，即使当作为待发射物体的样本的尺寸 ，与现有的扫描电子显微镜相比，提高使用便利性。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
49
records
(took 0.027 seconds)
