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公开(公告)号：KR1020030023145A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：KR1020010056159
申请日：2001-09-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: B81B7/04
CPC classification number: B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00822 , B01J2219/00853 , B01J2219/00873 , G01N27/403
Abstract: PURPOSE: A microelectrode, a microelectrode array, and a method for manufacturing microelectrode are provided to improve thermal isolation between a microheater and a substrate and reduce power consumption in a solution. CONSTITUTION: A substrate(1001) has trenches in predetermined depth. A support film(1010) is formed on the substrate to form cavities in the trenches. A sealing film(1013) is formed on the support film to seal the cavities. A plurality of microheaters(1015) is formed of resistant substances generating heat on the sealing film. An insulating film(1017) is formed on the whole structure including the microheaters. A plurality of wires is formed on the insulating film and is connected with the microheaters through contact holes(1016). An electrode is formed on the insulating film and is indirectly heated by the microheaters. A protective film is formed on the whole structure including the electrode and the wires and is patterned to expose parts of the electrode and the wires.
Abstract translation: 目的：提供微电极，微电极阵列和微电极的制造方法，以改善微加热器和衬底之间的热隔离并降低溶液中的功率消耗。 构成：衬底（1001）具有预定深度的沟槽。 在衬底上形成支撑膜（1010）以在沟槽中形成空腔。 在支撑膜上形成密封膜（1013）以密封空腔。 多个微流体（1015）由在密封膜上产生热的抗性物质形成。 在包括微型加热器的整个结构上形成绝缘膜（1017）。 多个导线形成在绝缘膜上，并通过接触孔（1016）与微流体连接。 在绝缘膜上形成电极，并被微细加热器间接加热。 在包括电极和电线的整个结构上形成保护膜，并且被图案化以暴露电极和电线的部分。
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公开(公告)号：KR100360774B1
公开(公告)日：2002-11-13
申请号：KR1019990062430
申请日：1999-12-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N33/483
CPC classification number: C12Q1/002
Abstract: 본발명은전기화학적측정방법을이용한바이오센서(biosensor)인효소전극센서(enzyme electrode sensor) 및그 제조방법에관한것으로특히, 전극의외부에전기화학적으로중합된비전도성고분자막가운데효소가고정되며형성된내부막과, 상기내부막위에전기화학적으로중합된비전도성고분자막이고착되어형성되는중간막과상기중간막위에폴리우레탄,셀룰로우즈아세테이트,나피온,테플론,켈에프중어느하나로형성된외부막을포함하는효소전극센서와이 효소전극센서를제조하는방법을제공하여유기방해물질의간섭이억제되어센서의감응선택성이향상되며, 포도당센서에서가장문제가되는아세트아미노펜의간섭이효과적으로억제된다.
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43.发明授权바이오 칩을 위한 플라스틱 구조체, 그를 이용한 미소가열기, 미소 반응기, 미소 반응기 어레이 및 마이크로어레이 有权用于生物芯片，微制造热装置，微制造反应堆，微制造反应堆阵列和使用其的微阵列的塑料微制造结构
公开(公告)号：KR100535817B1
公开(公告)日：2005-12-12
申请号：KR1020030097066
申请日：2003-12-26
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L23/02
CPC classification number: B01J19/0093 , B01J2219/00495 , B01J2219/00605 , B01J2219/0061 , B01J2219/00619 , B01J2219/00621 , B01J2219/00635 , B01J2219/00637 , B01J2219/00659 , B01J2219/00783 , B01J2219/00804 , B01J2219/00833 , B01J2219/00853 , B01J2219/00858 , B01J2219/00873 , B01J2219/00961 , B01L3/502707 , B01L3/50851 , B01L2200/12 , B01L2200/147 , B01L2300/0819 , B01L2300/12 , B01L2300/1827 , B33Y80/00 , C40B60/14
Abstract: 본 발명은 바이오 칩에 적용이 가능한 플라스틱 미세 구조체, 그를 이용한 미소 가열기, 미소 반응기, 미소 반응기 어레이 및 마이크로 어레이에 관한 것이다. 포토 리소그래피 공정이 가능한 정도의 표면 편평도를 가지며 일부 혹은 전체에서 열적 고립이 가능하고 열적 질량이 적은 얇은 두께의 절연성 플라스틱으로 가열영역을 제공하기 위한 플라스틱 구조체를 제작한다. 플라스틱 구조체의 가열영역 위에 가열수단, 온도 감지를 위한 온도센서, 전극 및 전극패드를 형성하여 미소 가열기를 구성한다. 본 발명에 따르면 저비용으로 용이하게 소자를 제작할 수 있고, 가열영역이 플라스틱 박막으로 형성됨으로써 저전력으로도 균일한 온도 제어가 가능해지며, 여러가지 시료들을 빠르게 열처리하여 반응 및 분석할 수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种塑料微制造结构，微制造热装置，微制造反应器，微制造反应器阵列和使用其的微阵列，其可以应用于生物芯片，并且本发明可以制造塑料微制造结构以提供 通过绝缘塑料的加热区域，其具有薄的厚度，足够的平坦度，以允许执行光刻工艺，其一些或总面积的热隔离和小的热质量，以及在 形成塑料微加工结构，加热器，用于感测温度的温度传感器，电极和电极焊盘，从而制造微制造加热装置，从而可以以低成本容易地制造元件，并且加热区域由 塑料薄层，使得即使在低功率下也能进行均匀的温度控制，并且各种样品可以在fa处进行热处理 速度获得反应和分析。
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公开(公告)号：KR100509254B1
公开(公告)日：2005-08-23
申请号：KR1020030032527
申请日：2003-05-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: B01J19/00
CPC classification number: G05D7/0186 , Y10T137/2076 , Y10T137/2224
Abstract: 본 발명은 미세 유체의 이송 시간을 제어할 수 있는 미세 유체 소자에 관한 것으로, 모세관 현상을 이용한 미세 유체 소자에 있어서, 상부 기판과 하부 기판의 사이에 위치한 유체 이송용 유로; 상기 유로를 통하여 이송된 유체가 일시적으로 정지되는 유체정지면; 및 상기 유체 정지면과 연속선상에 있는 유동지연턱을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체의 이송 시간을 제어할 수 있는 미세 유체 소자를 제공한다. 본 발명에 따른 미세 유체 소자는 간편한 방법으로 미세 유체의 이송 시간을 제어할 수 있어 매우 유용하다.
Abstract translation: 提供了一种微流体装置，其可以通过使用毛细管现象来控制微流体的流动时间。 微流体装置包括：用于流动流体的流动通道，流动通道形成在顶部基板和底部基板之间，或者在顶部基板，底部基板和中间基板之间; 用于暂停流道中的流体流动的阻流表面; 以及用于延迟在与阻流表面连续的线中形成的流动的隆起。 本研究的微流体装置可以以简单的方式控制流动时间。
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公开(公告)号：KR1020050066058A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030097259
申请日：2003-12-26
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N27/126
Abstract: 본 발명의 센서 구조체는 우물 구조를 갖는 멤브레인 중앙에 가열기 및 온도 센서를 구비하여 낮은 소비전력으로 빠르게 온도제어가 가능하도록 하고, 피분석물 분석은 가열기 상에 구현된 한 쌍의 감지 전극과 감지막을 이용하여 두개 이상의 기판 온도에서 측정한 전도도 변화를 이용한다. 상기 센서 감지막은 전도성 입자와 비전도성 유기물 혼합체로 구성가능하다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050065896A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030097056
申请日：2003-12-26
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: B81B1/00
CPC classification number: B01L3/502707 , B01J2219/00286 , B01J2219/00389 , B01J2219/00495 , B01J2219/00783 , B01J2219/00822 , B01J2219/00831 , B01J2219/00833 , B01J2219/00869 , B01J2219/00873 , B01L7/00 , B01L2300/1827 , C40B60/14 , H05B3/26 , H05B2203/003 , H05B2203/013 , H05B2203/017
Abstract: 본 발명은 미소유체 가열 시스템에 관한 것으로, 챔버, 유로 및 밸브를 제공하는 미소유체제어소자 및 이와 접촉되어 챔버의 내부를 가열시키는 모체로 구성된다. 상기 미소유체제어소자는 챔버, 유로 및 밸브가 형성된 상부기판과, 상부기판에 접합된 박막 형태의 하부기판으로 구성되고, 상기 모체는 가열수단이 형성된 멤브레인과 멤브레인을 지지하는 구조체로 구성된다. 상기 가열수단이 챔버 부분의 하부기판과 국부적으로 접촉되어 챔버의 내부를 가열시키기 때문에 열전달 효율이 극대화되며, 어레이 형태의 챔버를 갖는 구조의 경우 각 챔버의 온도를 독립적으로 제어할 수 있다.
Abstract translation: 提供了一种微流体加热系统，其包括用于提供腔室，流路和阀门的微流控制元件和用于加热与微流控制元件接触的腔室内部的主体， 其中所述微流体控制元件由用于提供所述室，所述流路和所述阀的上基板以及与所述上基板接合的薄膜的下基板构成，所述主体由膜构成，所述膜包括加热装置 并且形成吸入孔，并且用于支撑膜的支撑构件，并且加热装置部分地与室的下基板接触以加热室的内部，使得热传递效率变得最大，并且每个室的温度可以 在配置有排列成阵列的腔室的情况下，可独立控制。
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公开(公告)号：KR100482285B1
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：KR1020020066611
申请日：2002-10-30
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N33/483
CPC classification number: G01N27/27 , B33Y70/00 , B33Y80/00 , G01N27/3271 , Y10T29/49002
Abstract: 본 발명은 바이오 센서 제조공정에 적용될 유로형 전기 화학 시스템에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 단순한 구조의 유로를 이용하여 기판 상에 형성된 전극 어레이에 내부막 또는 효소막 등을 형성하는 공정을 일괄적으로 처리할 수 있도록 하는 유로형 다중 전기화학 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 기준전극과 보조전극을 포함하는 다수의 전극부가 일정한 간격으로 형성되어 있는 전기 회로 기판; 유체 주입구와 유체 출구 및 다수의 유체 저장소를 포함하며, 상기 유체 저장소들은 상기 전기 회로 기판내의 전극부와 동일한 간격으로 형성되어 있고, 각 유체 저장소는 유체 통로로 상호 연결되어 있는 유로 기판; 및 전극부, 전극패드 및 전극 배선을 하나의 단위로 하는 다수의 단위 센서가 상기 전기 회로 기판의 전극부와 동일한 간격으로 배열되어 있으며, 각 전극패드는 전압 전류 인가가 일괄적으로 이루어질 수 있도록 연결되어 있는 센서 기판을 포함하여 이루어진 유로형 다중 전기 화학 시스템 및 그의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 유로형 다중 전기화학 시스템은 종래의 방법에서 문제점으로 지적되었던, 전해질의 낭비, 단백질에 의한 오염, 센서의 재현성 저하 등의 문제를 효과적으로 방지할 수 있다.
Abstract translation: 流体型多电化学系统。 该系统包括具有以规则间隔形成的多个电极部分的电路基板。 电极部分各自包括参考电极和辅助电极。 还提供了具有流体喷射部分，流体喷射部分和多个流体存储器的流体型基底。 流体存储器以与基板的电极部分相同的规则间隔形成，并通过流体通道相互连接。 该系统还包括具有多个单元传感器的传感器基板，该单元传感器以与基板的电极部分相同的规则间隔形成。 每个单元传感器具有电极部分，用于同时提供电源电压的电极焊盘和电极布线。
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公开(公告)号：KR1020050025383A
公开(公告)日：2005-03-14
申请号：KR1020030062413
申请日：2003-09-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/416
CPC classification number: G01N27/128
Abstract: A sensor and a method for manufacturing the same are provided to minimize a size of the sensor and to allow the sensor to have a superior endurance against a temperature. A sensor includes a semiconductor substrate(320) having a well(310). A side wall of the well is insulated. A bottom of the well(310) is a membrane(330) such as an insulation layer. A sensor material(340) is positioned in the well(310). An electrical characteristic of the sensor material(340) is changed according to physical quantity to be detected. A heating device(360) is positioned at the membrane(330) in order to uniformly maintain the temperature of the sensor material(340). An electrode(350) measures the electrical characteristic of the sensor material(340) by contacting with the sensor material(340). An insulation layer is formed between the semiconductor substrate(320) and the electrode(350).
Abstract translation: 提供传感器及其制造方法以使传感器的尺寸最小化，并允许传感器具有优于耐温度的耐久性。 传感器包括具有阱（310）的半导体衬底（320）。 井的侧壁是绝缘的。 孔（310）的底部是诸如绝缘层的膜（330）。 传感器材料（340）位于井（310）中。 传感器材料（340）的电特性根据要检测的物理量而改变。 加热装置（360）位于膜（330）处，以便均匀地保持传感器材料（340）的温度。 电极（350）通过与传感器材料（340）接触来测量传感器材料（340）的电特性。 在半导体衬底（320）和电极（350）之间形成绝缘层。
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公开(公告)号：KR100472058B1
公开(公告)日：2005-03-11
申请号：KR1020020067683
申请日：2002-11-02
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: B01F5/06
Abstract: 본 발명은 미소 유체 혼합을 위한 미소 유체제어 소자에 관한 것으로, 상부 기판 및 하부 기판이 결합되어 미소 유체를 이송 및 혼합하는 미소 유체제어 소자에 있어서, 제1 유체를 이송하는 제1 유로, 제2 유체를 이송하는 제2 유로, 제1 유로 및 제2 유로의 말단과 연결되고, 내부를 가열하기 위한 열선을 포함하는 반응 챔버 및 반응 챔버의 말단에 연결되어 제1 유체 및 제2 유체가 더 이상 이동하지 못하도록 정지시키는 유동정지부를 포함하고, 제1 유로 및 제2 유로를 통해 이송된 제1 유체 및 제2 유체가 상기 반응 챔버에서 만나 층을 이루면, 열선을 이용하여 제1 유체 및 제2 유체를 가열 또는 냉각함으로써 밀도차를 유발시켜 중력에 의해 제1 유체 및 제2 유체를 혼합하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 펌프를 사용하지 않고 모세관 현상만으로 유체를 이송, 정지 시키고 혼합 시킬 수 있고, 유로의 형상에 따른 유체 압력강하를 최소화하여 모세관 현상만으로도 유체의 이송가능하며, 추가적인 펌프 없이 유로의 형상, 재질, 부피에 따라 유체의 혼합비율을 결정할 수 있고, 제작 과정을 단순화 할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100475312B1
公开(公告)日：2005-03-10
申请号：KR1020020078444
申请日：2002-12-10
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: C12Q1/68
CPC classification number: B82Y30/00 , C12Q1/6837 , C12Q2565/525 , C12Q2537/1373 , C12Q2563/113 , C12Q2565/607
Abstract: 본 발명은 DNA 감지체 및 이를 이용한 DNA 감지방법을 제공한다. 본 발명의 DNA 감지체는 서로 상보적이고 타겟 DNA의 염기서열에 대해서도 각각 상보적이지만, 타겟 DNA에 대한 상보성과 둘 사이의 상보성의 정도에 차이가 있는 프로브 DNA와 시그널링 DNA의 하이브리다이제이션을 통해 형성된 이중가닥이 전극에 고정되어 있으며 시그널링 DNA는 전기화학적으로 활성인 화합물이 결합되어 있는 것이다. 또한, 본 발명의 DNA 감지방법은 DNA 감지체에 타겟 DNA 용액을 넣어, 프로브 DNA, 시그널링 DNA 및 타겟 DNA 사이에서 하이브리드를 이루기 위한 경쟁반응을 유도하고, 이어서 시그널링 DNA의 전기화학적 신호를 측정하여 타겟 DNA를 감지하는 것이다. 이와 같이 본 발명에 따른 DNA 감지체 및 이를 이용한 DNA 감지방법은 타겟 DNA에 직접 표지화를 하지 않으면서도 종래 감지 방법과 같은 정도의 감도를 가지며, DNA 감지 시스템의 소형화에 유리한 전기화학측정 단계에서 세척이 필요 없다는 장점을 갖는다.
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