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公开(公告)号：CN108698891A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680082148.1
申请日：2016-12-16
Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司
CPC classification number: C03B17/04 , C03B5/06 , C03B5/163 , C03B5/167 , C03B5/18 , C03B5/26 , C03B20/00 , C03B37/01211 , C03B2201/07 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C13/045 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/32 , C03C2203/10
Abstract: 本发明涉及一种包含熔融坩埚的烘箱，所述熔融坩埚具有坩埚壁、具有出口的固体给料端、气体入口和气体出口，其中在所述熔融坩埚中，所述气体入口配置在所述固体给料端出口下方，且所述气体出口配置在与所述固体给料端出口相同高度处或高于所述固体给料端出口。本发明进一步涉及一种制造石英玻璃体的方法，其包含方法步骤i.)提供和引入选自二氧化硅颗粒和石英玻璃粉粒的散装材料到烘箱中，和提供气体，ii.)从所述散装材料制造玻璃熔体，及iii.)从至少一部分所述玻璃熔体制造石英玻璃体。本发明还涉及一种可通过此方法获得的石英玻璃体；以及一种光导、一种照明体和一种成型体，其各自可通过进一步加工所述石英玻璃体获得。
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公开(公告)号：CN108698890A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680082118.0
申请日：2016-12-16
Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司
CPC classification number: C03B19/066 , C03B5/06 , C03B17/04 , C03B19/108 , C03B20/00 , C03B37/01211 , C03B2201/04 , C03B2201/07 , C03B2201/23 , C03C1/022 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/23 , C03C2201/26 , C03C2201/32 , C03C2201/50 , C03C2203/10 , C03C2203/40 , C03C2204/04
Abstract: 本发明涉及一种制备石英玻璃体的方法，其包含方法步骤i.)提供二氧化硅粒子，ii.)在烘箱中从所述二氧化硅粒子制造玻璃熔体和iii.)从至少一部分所述玻璃熔体制造石英玻璃体，其中所述烘箱具有气体出口，气体通过所述气体出口从烘箱去除，其中气体在通过所述气体出口离开烘箱时的露点小于0℃。本发明还涉及一种可通过这种方法获得的石英玻璃体。本发明还涉及一种光导、一种照明体和一种成型体，其中的每一种都可通过进一步加工所述石英玻璃体获得。
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公开(公告)号：CN105439441A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510614780.3
申请日：2015-09-24
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C21/007 , C03C23/00 , C03C23/007 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54 , G03F1/24 , G03F1/60 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm-700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2-SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2-SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt. ppm-100wt. ppm的平均OH含量和2,500wt. ppm-10,000wt. ppm的平均氟含量。
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公开(公告)号：CN103118995B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201180045176.3
申请日：2011-08-31
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
IPC: C03B19/09
CPC classification number: C03B19/095 , C03B19/1453 , C03B19/1492 , C03B2201/23
Abstract: 本发明的基本目的是，提出一种低成本的石英玻璃坩埚制造方法，该坩埚具有透明的合成石英玻璃组成的一个内层而且其特殊之处在于较长的使用寿命。按照本发明，该目的通过一种包括下述方法步骤的方法实现：（a）通过至少固定一个由SiO2颗粒形成的颗粒层的表面来生成一个具有一个内层的透气性坩埚基底，（b）通过气相沉积在坩埚基底的内侧的至少一个部分表面上沉积一个多孔的SiO2灰料层，以及（c）借助电弧并在经真空熔融模具的壁进行作用的真空下，对多孔的SiO2灰料层和坩埚基底的至少一部分进行真空辅助烧结，同时形成石英玻璃坩埚和透明石英玻璃内层。
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公开(公告)号：CN104995557A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201480008162.8
申请日：2014-02-04
Applicant: 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B25/02 , C03B32/00 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , G02B5/0891 , G03F7/70316 , G03F7/70958
Abstract: 为了提供用于EUV-光刻中的镜面基材的由TiO2-SiO2玻璃构成的坯料，其中对于优化热膨胀系数分布和因此过零温度TZC分布的调适需求是小的，在920℃至970℃的假想温度Tf平均值下，所述TiO2-SiO2玻璃具有其过零温度TZC对于假想温度Tf的依赖性，其以微商dTzc/dTf表示小于0.3。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103913800A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201310741715.8
申请日：2013-12-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 小山田浩
IPC: G02B6/02 , G02B6/036 , C03B37/012
CPC classification number: G02B6/0283 , C03B37/01413 , C03B37/01453 , C03B2201/02 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/31 , C03B2203/22 , C03B2203/23 , C03B2203/26 , G02B6/02019 , G02B6/02214 , G02B6/0365 , G02B6/03694
Abstract: 本发明提供一种光纤及光纤用石英玻璃母材。其中的母材具备：纤芯，在石英玻璃中添加有使折射率上升的正掺杂剂；中间层，以包围所述纤芯的方式邻接于所述纤芯的半径方向外侧；沟槽层，以包围所述中间层的方式邻接于所述中间层的半径方向外侧，在石英玻璃中添加有使折射率减小的负掺杂剂；以及包层，以包围所述沟槽层的方式邻接于所述沟槽层的半径方向外侧，由石英玻璃形成；中间层在半径方向上的厚度大于沟槽层的厚度；在中间层的靠近纤芯的区域添加有较多正掺杂剂，和/或，在靠近沟槽层的区域添加有较多负掺杂剂。本发明能够提供气泡和结构不规则少的槽型折射率分布的光纤母材。
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公开(公告)号：CN101639624B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN200910158613.7
申请日：2009-07-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03B20/00
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B23/0026 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , Y10T428/31616
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法，该石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。该石英玻璃元件的制备方法包括：提供掺杂二氧化钛的石英玻璃坯锭；在空气中于700-1300℃下将该坯锭保持1-200小时以退火；以1-20℃/h的速率将该坯锭缓慢冷却至500℃；将该坯锭置于在炉子中旋转的成型坩埚中，所述炉子的温度分布具有在1700℃下至少1.5℃/cm的温度梯度；在该坩埚中热加工该掺杂二氧化钛的石英玻璃。
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公开(公告)号：CN102849929A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210297275.7
申请日：2009-07-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B23/0026 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , Y10T428/31616
Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃元件及制备方法。其中，掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有反射至多70nm波长的EUV光的表面，其中该表面中的折射率分布在该元件的中心80％区域内仅具有一个极点。该掺杂二氧化钛的石英玻璃元件具有高精度水平的表面且因此可形成为平整度和热膨胀性能得到改善的EUV光刻法光掩模衬底。
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公开(公告)号：CN101959820A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106555.1
申请日：2009-02-26
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03B19/1453 , C03B19/1415 , C03B2201/075 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/81 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用EUV光辐照时的范围内，其线性热膨胀系数基本为零，并具有极高的表面平滑度。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的TiO2含量为7.5至12质量％，线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，并且条纹应力水平的标准偏差(σ)在至少一个面内的30mm×30mm的区域内为0.03MPa以下。
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公开(公告)号：CN101959817A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106333.X
申请日：2009-02-25
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/23 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , C03C2203/54
Abstract: 本发明提供一种TiO2-SiO2玻璃，其在用作EUVL用曝光工具的光学部件时，当用高EUV能量光辐照时，所述玻璃的线性热膨胀系数基本上为零。本发明涉及含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1000℃以下，OH浓度为600ppm以上，线性温度系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，且在20至100℃温度范围内的平均线性热膨胀系数为50ppb/℃以下。
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