測定装置及び測定方法
    41.
    发明申请
    測定装置及び測定方法 审中-公开
    测量装置和测量方法

    公开(公告)号:WO2013084621A1

    公开(公告)日:2013-06-13

    申请号:PCT/JP2012/077876

    申请日:2012-10-29

    Inventor: 玉田 作哉

    Abstract: 【課題】時間分解測定法により分子振動の緩和時間を高感度で測定することが可能な測定装置及び測定方法を提案すること。 【解決手段】 本開示に係る測定装置は、測定サンプルの所定の分子振動を励起するポンプ光及びストークス光と、所定の参照周波数により強度変調され、前記ポンプ光又は前記ストークス光と同一の波長を有するプローブ光と、に用いられるパルスレーザ光を射出する光源部と、前記光源部により生成された前記プローブ光を時間遅延させた上で、前記ポンプ光、前記ストークス光、及び、時間遅延後の前記プローブ光を前記測定サンプルへと導光するパルス制御部と、前記測定サンプルを透過した透過光又は前記測定サンプルからの反射光を検出する検出部と、を備え、前記測定サンプルの時間分解誘導ラマン利得分光測定又は時間分解誘導ラマン損失分光測定により、前記測定サンプルにおける前記分子振動の緩和時間を測定する。

    Abstract translation: [问题]提供一种使用时间分辨测量实现分子振动的松弛时间的高灵敏度测量的测量装置和测量方法。 该测量装置具有:用于发射用于泵浦光的脉冲激光的光源单元和用于激发测量样本中的预定分子振动的斯托克斯光以及具有相同波长的探针光 泵浦光或斯托克斯光,探测光的强度被预定的参考频率调制; 脉冲控制单元,用于对由光源单元产生的探测光产生时间延迟,并随后将泵浦光,斯托克斯光和时间延迟的探测光引导到测量样本; 以及检测单元,用于检测通过测量样本透射的透射光或来自测量样本的反射光。 测量样品中分子振动的弛豫时间通过测量样品的时间分辨激发拉曼增益光谱或时间分辨激发拉曼损耗光谱测量。

    DYNAMIC ILLUMINATION IN OPTICAL INSPECTION SYSTEMS
    42.
    发明申请
    DYNAMIC ILLUMINATION IN OPTICAL INSPECTION SYSTEMS 审中-公开
    光学检测系统的动态照明

    公开(公告)号:WO2009156981A1

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:PCT/IL2009/000572

    申请日:2009-06-09

    Abstract: An optical inspection system or tool can be configured to inspect objects using dynamic illumination where one or more characteristics of the illumination is/are adjusted to meet the inspection needs of different areas. For example, the illumination intensity may be increased or decreased as the tool inspects areas of memory and periphery features in a wafer die. In some embodiments, the adjustment can be based on data obtained during a pre-inspection setup sequence in which images taken based on illumination with varying characteristics are evaluated for suitability in the remainder of the inspection process.

    Abstract translation: 光学检查系统或工具可以被配置为使用动态照明来检查物体,其中调整照明的一个或多个特征以满足不同区域的检查需要。 例如,当工具检查晶片管芯中的存储器区域和外围特征时,可以增加或减小照明强度。 在一些实施例中,调整可以基于在预检查设置顺序期间获得的数据,其中基于具有变化特性的照明拍摄的图像被评估为在检查过程的其余部分中的适用性。

    저 잡음, 높은 안정성, 심 자외선, 연속파 레이저
    43.
    发明公开
    저 잡음, 높은 안정성, 심 자외선, 연속파 레이저 审中-实审
    低噪音,高稳定性,深层紫外线,连续波激光

    公开(公告)号:KR1020160055843A

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:KR1020167009096

    申请日:2014-09-08

    Abstract: 심자외선(DUV) 연속파(CW) 광을발생시키기위한레이저는제2 고조파생성기및 제4 고조파생성기를포함한다. 제4 고조파생성기는복수의미러뿐만아니라제1 및 2 비선형광학(NLO) 크리스탈을포함한다. 제1 NLO 크리스탈은제4 고조파파장을가진광을생성하고, 복수의미러와연관되어동작하도록배치된다. 제2 NLO 크리스탈은제2 고조파파장을갖는광이제1 및 2 NLO 크리스탈모두를통과하도록제1 NLO 크리스탈과연관되어동작하도록배치된다. 특히, 제2 NLO 크리스탈의제2 광학축은제1 NLO 크리스탈의제1 광학축에대해대략 90도로제2 NLO 크리스탈내에서광의전파방향에대해회전된다. 제2 NLO 크리스탈은파장변환을제공하지않는다.

    Abstract translation: 用于产生深紫外(DUV)连续波(CW)光的激光器包括二次谐波发生器和四次谐波发生器。 第四谐波发生器包括多个反射镜以及第一和第二非线性光学(NLO)晶体。 第一NLO晶体产生具有第四谐波波长的光,并且与多个反射镜成为可操作的关系。 将第二NLO晶体置于与第一NLO晶体的操作关系中,使得具有二次谐波波长的光通过第一和第二NLO晶体。 值得注意的是,第二NLO晶体的第二光轴相对于第一NLO晶体的第一光轴围绕第二NLO晶体内的光的传播方向大约90度旋转。 第二个NLO晶体不提供波长转换。

    한 옥타브의 음향 광학 변류기
    44.
    发明公开
    한 옥타브의 음향 광학 변류기 审中-实审
    ACOUSTO-OPTIC DEFLECTORS OVER ONE OCTAVE

    公开(公告)号:KR1020130106362A

    公开(公告)日:2013-09-27

    申请号:KR1020137006444

    申请日:2011-08-30

    CPC classification number: G02F1/33 G02F1/113 G01N2201/067 G02F1/0072 G02F3/022

    Abstract: 상기 기술된 기술은 한 옥타브의 확장된 주파수 범위를 적용하여 음향 광학 변류기를 구동하고자 하며 이에 따라 대역폭을 단 한 옥타브 미만으로 제한하는 고안 경험 규칙에 반하게 된다. 확장된 주파수 범위와 매우 잘 시간 측정된 빔 블랭킹의 조합은 빔 블랭킹에 의해 소모된 일명 처프 신호의 비례를 감소시킨다. 이는 스윕 신호의 작동하는 효능적인 부분을 증가시킨다.

    물체의 칼로리 측정방법 및 물체의 칼로리 측정장치
    45.
    发明公开
    물체의 칼로리 측정방법 및 물체의 칼로리 측정장치 有权
    测量目标物体的方法和测量物体的测量装置

    公开(公告)号:KR1020060122941A

    公开(公告)日:2006-11-30

    申请号:KR1020067017691

    申请日:2005-03-10

    Abstract: Near-IR rays are used to be able to measure calorie, thereby measuring the calorie of an object easily and in a short time by a non-destructive method. A calorie measuring device comprising an object holding unit (1) having a table (2) on which to mount an object (M) to be examined, a light source unit (20) irradiating the object (M) on the table (2) with a near-IR-region ray, a light reception unit (30) receiving a reflection light or transmitted light from the object (M), and a control unit (40) calculating the calorie of the object (M) based on the absorbance of light received by the reception unit (30), wherein the control unit (40) computes the calorie of the object (M) from a regression expression calculated by a quadratic differential spectrum multiple regression analysis at the absorbance of a near-IR ray applied in advance to and reflected off or passed through a calorie-known sample object (M) and from the absorbance of light received by the reception unit (30).

    Abstract translation: 近红外光线被用于能够测量卡路里,从而通过非破坏性方法在短时间内容易地测量物体的热量。 一种卡路里测量装置,包括:具有用于安装待检查物体(M)的台(2)的物体保持单元(1),在所述台(2)上照射所述物体(M)的光源单元(20) 具有近红外区域射线,接收来自物体(M)的反射光或透射光的光接收单元(30),以及基于吸光度计算物体(M)的热量的控制单元(40) 由所述接收部(30)接收的光,其中,所述控制部(40)根据通过二次微分光谱多项回归分析计算出的回归表达式计算所述物体(M)的热量 预先通过卡路里知道的样品物体(M)和从接收单元(30)接收的光的吸光度反射或反射。

    GAS CAP FOR OPTICAL SENSOR
    46.
    发明申请
    GAS CAP FOR OPTICAL SENSOR 审中-公开
    光传感器盖

    公开(公告)号:WO2017027266A1

    公开(公告)日:2017-02-16

    申请号:PCT/US2016/045194

    申请日:2016-08-02

    Abstract: A cap for a gas sensor module is described herein. The cap can include at least one wall forming a cavity having a first portion and a second portion. The cap can also include an inlet tube coupling feature disposed in the at least one wall, where the first location is adjacent to the first portion of the cavity. The cap can further include an outlet tube coupling feature disposed in the at least one wall, where the second location is adjacent to the second portion of the cavity. The cap can also include a distribution channel coupling feature disposed in the at least one wall, where the third location is adjacent to the first portion of the cavity. The cap can further include a receiving channel coupling feature disposed in the at least one wall, where the fourth location is adjacent to the second portion of the cavity.

    Abstract translation: 本文描述了用于气体传感器模块的盖。 盖可以包括形成具有第一部分和第二部分的空腔的至少一个壁。 盖还可以包括设置在至少一个壁中的入口管联接特征,其中第一位置与空腔的第一部分相邻。 帽可进一步包括设置在至少一个壁中的出口管连接件,其中第二位置与腔的第二部分相邻。 帽还可以包括设置在至少一个壁中的分配通道联接特征,其中第三位置与空腔的第一部分相邻。 帽可以进一步包括设置在至少一个壁中的接收通道联接特征,其中第四位置邻近空腔的第二部分。

    検査装置
    47.
    发明申请
    検査装置 审中-公开
    检查设备

    公开(公告)号:WO2016121756A1

    公开(公告)日:2016-08-04

    申请号:PCT/JP2016/052180

    申请日:2016-01-26

    Abstract:  本発明は、高精度な異物検出が可能な検査装置を提供するものであって、検査装置を、光源と、この光源からの光が入射され、この光の位相を少なくとも2状態に変化させる電気光学素子と、制御部と、を有し、制御部は、電気光学素子へ入力する印加電圧を変化させることで得られた電気光学素子の強度変調特性を使用し、電気光学素子自体が有する位相変動を補正するように構成した。

    Abstract translation: 本发明提供一种可以高精度地检测异物的检查装置,该检查装置包括:光源; 来自光源的光照射的电光元件,并且将光的相位改变为至少两个状态; 和控制单元。 控制单元被设计为使用通过改变输入到电光元件的施加电压产生的电光元件的强度调制特性,以便校正电光元件本身的相位波动。

    위상잡음 보상 방법을 이용한 광혼합 방식의 연속파 테라헤르츠 발생 및 검출 장치
    49.
    发明申请
    위상잡음 보상 방법을 이용한 광혼합 방식의 연속파 테라헤르츠 발생 및 검출 장치 审中-公开
    使用相位噪声补偿方法生成和检测照相混合型连续波形TERAHERTZ的装置

    公开(公告)号:WO2016053049A1

    公开(公告)日:2016-04-07

    申请号:PCT/KR2015/010442

    申请日:2015-10-02

    Inventor: 송종인 송하준

    Abstract: 본 발명의 실시예는 광혼합 기법을 이용한 연속파 테라헤르츠 발생 및 검출 장치로서, 단일 파장을 가지며 서로 다른 주파수의 연속파 레이저 광원을 출력하여 광신호를 발생시키는 제1 및 제2 광원부, 제1 광원부에서 발생한 광신호에 대해 주파수를 천이시키는 제1 광전위상변조기 및 제2 광원부에서 발생한 광신호에 대해 주파수를 천이시키는 제2 광전위상변조기, 상기 제1 광전위상변조기에 의해 주파수가 천이된 광신호와 제2 광원부에서 발생된 광신호를 받아 증폭하는 제1 광증폭기 및 상기 제2 광전위상변조기에 의해 주파수가 천이된 광신호와 제1 광원부에서 발생된 광신호를 받아 증폭하는 제2 광증폭기, 상기 제1 광증폭기에 의해 증폭된 광신호를 테라헤르츠파로 발생시키는 광전변환기, 상기 제2 광증폭기에 의해 증폭된 광신호가 들어가며, 상기 광전변환기에 의해 발생한 테라헤르츠파를 광혼합을 통해 전기적 신호로 변환하는 포토믹서, 상기 제1 및 제2 광증폭기에서 보내진 광신호를 결합하는 광검출기 및 상기 광검출기를 통해 생성된 전기 신호를 필터링하는 필터부를 포함하고, 상기 전치 증폭기를 통해 전달된 전기 신호와 상기 광검출기와 대역통과필터를 통해 전달된 전기 신호를 비교하여 동일한 주파수를 갖는 위상잡음을 제거하는 것을 특징으로 한다.

    Abstract translation: 本发明的实施例涉及一种使用光混合技术生成和检测连续波太赫兹的装置,包括:第一和第二光源单元,其输出具有单个波长和不同频率的连续波激光光源 命令产生光信号; 第一光电相位调制器,其移动由第一光源单元产生的光信号的频率; 第二光电相位调制器,其移动由第二光源单元产生的光信号的频率; 第一光放大器,其接收并放大由第一光电调制器频移的光信号和由第二光源单元产生的光信号; 第二光放大器,其接收并放大由第二光电调制器频移的光信号和由第一光源单元产生的光信号; 光电转换器,将由第一光放大器放大的光信号转换成太赫兹波; 接收由第二光放大器放大的光信号并通过光混合将由光电转换器产生的太赫兹波转换成电信号的光混合器; 耦合由第一和第二光放大器发送的光信号的光检测器; 以及滤波器单元,其对通过光电检测器产生的电信号进行滤波,其中通过前置放大器传送的电信号与通过光电检测器和带通滤波器传递的电信号进行比较,使得具有相同的相位噪声 频率被删除

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