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公开(公告)号：KR101141782B1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：KR1020097024728
申请日：2008-04-14
Applicant: 가부시키가이샤 아루박
CPC classification number: G01N27/62 , G01L21/30 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 이 질량 분석 유닛은 피측정 가스의 질량 전하비별 이온 전류값을 검출하여 분압을 측정하는 질량 분석부를 구비한 질량 분석 유닛으로서, 이 질량 분석 유닛의 특정 부위의 기능을 저하시키는 특정 가스의 질량 전하비의 기록을 미리 유지하는 제어부를 더 구비하고; 상기 질량 분석부에 의해 검출된 상기 특정 가스의 질량 전하비의 이온 전류값이 소정값 이상이 된 경우에 상기 제어부가 상기 특정 부위의 기능 저하를 나타내는 경고 신호를 출력한다.
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公开(公告)号：KR100955903B1
公开(公告)日：2010-05-04
申请号：KR1020077029219
申请日：2006-05-17
Applicant: 가부시키가이샤 아루박
IPC: G01N27/62
Abstract: 챔버의 벽부에 장착되어 해당 챔버 안에 존재하는 분석 대상 가스를 분석하는 질량 분석 장치로서, 상기 챔버에 장착할 때 상기 챔버 안에 삽입되어 상기 분석 대상 가스 중의 가스 성분의 질량 전하비별 분압을 측정하는 측정부와, 상기 챔버에 장착할 때 상기 벽부의 바깥쪽에 위치하여 상기 측정부를 조작하는 조작부와, 상기 챔버에 장착할 때 상기 벽부의 바깥쪽에 위치하여 상기 측정부의 측정 결과를 표시하는 표시부를 구비하고, 상기 측정부와 상기 조작부와 상기 표시부가 서로 근접하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 질량 분석 장치.
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43.发明专利
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公开(公告)号：JPWO2008139809A1
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：JP2009514039
申请日：2008-04-14
Applicant: 株式会社アルバック
IPC: G01N27/62
CPC classification number: G01N27/62 , G01L21/30 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: この質量分析ユニットは、被測定ガスの質量電荷比ごとのイオン電流値を検出して分圧を測定する質量分析部を備えた質量分析ユニットであって、この質量分析ユニットの特定部位の機能を低下させる特定ガスの質量電荷比の記録を予め保持する制御部をさらに備え;前記質量分析部により検出された前記特定ガスの質量電荷比のイオン電流値が所定値以上となった場合に、前記制御部が、前記特定部位の機能低下を示す警告信号を出力する。
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公开(公告)号：JPWO2008129929A1
公开(公告)日：2010-07-22
申请号：JP2009510815
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社堀場エステック
Inventor： 潤次 青木 , 潤次 青木 , 北浦 宏和 , 宏和 北浦 , ブームセレク サイード , ブームセレク サイード
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 試料ガスをイオン化するイオン化部211と、前記イオン化部211からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部211を挟んで設けられ、前記イオン化部211からのイオンを検出する第1イオン検出部212及び第2イオン検出部213と、前記イオン化部211及び前記第1イオン検出部212の間に設けられ、前記イオン化部211からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部214と、前記第1イオン検出部212により得られる試料ガスの第1の全圧TP1、及び前記第2イオン検出部213により得られる試料ガスの第2の全圧TP2を用いて、前記第1イオン検出部212により得られる前記フィルタ極部214により選択された特定成分の分圧PP1を補正する演算装置3と、を備え、四重極質量分析法等を用いたガス分析計において、分解能を維持しながら、測定値が雰囲気圧力の変化に追従しなくなった領域においても補正可能にする。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2004349102A
公开(公告)日：2004-12-09
申请号：JP2003144541
申请日：2003-05-22
Applicant: Ulvac Japan Ltd , 株式会社アルバック
Inventor： TAKAGI NOZOMI , NOBORI KAZUHIKO , NAGATA YASUSHI , TADA MUNECHIKA , KAWASAKI TOMOAKI , NAKAJIMA TOYOAKI
CPC classification number: H01J41/10 , G01L21/32 , H01J49/4215
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a quadrupole type mass spectrometer carrying out measuring of pressure. SOLUTION: A pressure detecting part 40 for a pressure measuring device is installed inside a container 11 in which a quadrupole 23 is installed and the quadrupole 23 and a pressure detecting part 40 are partitioned by shielding plates 13 1 and 13 2 . When mass spectrometry is carried out by energizing a filament 22 and applying voltage to the quadrupole 23, electrons, light or heat radiation discharged from the filament 22 are shielded by the shielding plates 13 1 and 13 2 , not reaching the pressure detecting part 40 so that accurate pressure measuring is carried out. Vents 15 1 and 15 2 are provided in the shielding plates 13 1 and 13 2 , and the space between the shielding plates 13 1 and 13 2 and a bottom surface of the container 11 is evacuated. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
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公开(公告)号：TWI425208B
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW097113648
申请日：2008-04-15
Applicant: 愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
Inventor： 中島豐昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 黑川裕次郎 , KUROKAWA, YUJIROU , 由利努 , YURI, TSUTOMU , 田中領太 , TANAKA, RYOTA , 吉田修爾 , YOSHIDA, SHUJI
CPC classification number: G01N27/62 , G01L21/30 , H01J41/10 , H01J49/0027
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公开(公告)号：TW200916755A
公开(公告)日：2009-04-16
申请号：TW097112785
申请日：2008-04-09
Applicant: 堀場STEC股份有限公司 HORIBA STEC, CO., LTD.
Inventor： 青木潤次 AOKI, JUNJI , 北浦宏和 KITAURA, HIROKAZU , 賽德布姆 SAID BOUMSELLEK
IPC: G01N
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 依本發明之氣體分析器包含:離子化部211,用以離子化試樣氣體;第1離子檢測部212及第2離子檢測部213,夾著該離子化部211而設置,俾使自該離子化部211起算之距離相互不同,以檢測來自該離子化部211之離子;過濾器部214,設在該離子化部211及該第1離子檢測部212之間,選擇性地使來自該離子化部211之離子通過;運算裝置3,利用藉由該第1離子檢測部212所得之試樣氣體的第1全壓TP1及藉由該第2離子檢測部213所得之試樣氣體的第2全壓TP2,修正藉由該第1離子檢測部212所得之由該過濾器部214所選擇之特定成分的分壓PP1;且在利用四極質譜儀(Quadruple mass spectrometer)等之氣體分析器中,可維持解析度,並即使在測定値無法追隨周圍氣體壓力變化之區域亦可進行修正。
Abstract in simplified Chinese: 依本发明之气体分析器包含:离子化部211,用以离子化试样气体;第1离子检测部212及第2离子检测部213,夹着该离子化部211而设置,俾使自该离子化部211起算之距离相互不同,以检测来自该离子化部211之离子;过滤器部214,设在该离子化部211及该第1离子检测部212之间,选择性地使来自该离子化部211之离子通过;运算设备3,利用借由该第1离子检测部212所得之试样气体的第1全压TP1及借由该第2离子检测部213所得之试样气体的第2全压TP2,修正借由该第1离子检测部212所得之由该过滤器部214所选择之特定成分的分压PP1;且在利用四极质谱仪(Quadruple mass spectrometer)等之气体分析器中,可维持分辨率,并即使在测定値无法追随周围气体压力变化之区域亦可进行修正。
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公开(公告)号：TW200912301A
公开(公告)日：2009-03-16
申请号：TW097113648
申请日：2008-04-15
Applicant: 愛發科股份有限公司 ULVAC, INC.
Inventor： 中島豐昭 NAKAJIMA, TOYOAKI , 黑川裕次郎 KUROKAWA, YUJIROU , 由利努 YURI, TSUTOMU , 田中領太 TANAKA, RYOTA , 吉田修爾 YOSHIDA, SHUJI
CPC classification number: G01N27/62 , G01L21/30 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 本發明之質量分析單元係包括檢測被測定氣體之每一質荷比之離子電流値並測定分壓之質量分析部的質量分析單元,且進而包括預先保持使該質量分析單元之特定部位功能下降之特定氣體之質荷比記錄的控制部,於由上述質量分析部所檢測出之上述特定氣體之質荷比之離子電流値達到特定値以上之情形時,上述控制部輸出表示上述特定部位功能下降的警告信號。
Abstract in simplified Chinese: 本发明之质量分析单元系包括检测被测定气体之每一质荷比之离子电流値并测定分压之质量分析部的质量分析单元,且进而包括预先保持使该质量分析单元之特定部位功能下降之特定气体之质荷比记录的控制部,于由上述质量分析部所检测出之上述特定气体之质荷比之离子电流値达到特定値以上之情形时,上述控制部输出表示上述特定部位功能下降的警告信号。
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公开(公告)号：TWI442041B
公开(公告)日：2014-06-21
申请号：TW097112785
申请日：2008-04-09
Applicant: 堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
Inventor： 青木潤次 , AOKI, JUNJI , 北浦宏和 , KITAURA, HIROKAZU , 賽德布姆 , SAID BOUMSELLEK
IPC: G01N21/00
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
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