公开(公告)号：KR1020070066361A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：KR1020050127417

申请日：2005-12-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성우

IPC: H01L21/027

Abstract: A beam control unit and an exposure apparatus having the same are provided to control lights, whose intensities are different from each other, to be uniform without reducing the intensities of the lights by using a slit plate and a fly's eye lens array. A beam control unit(100) includes a slit plate(110) and a fly's eye lens array(120). The slit plate has a fixed size slit(112) for limiting a region through which a light is transmitted. The fly's eye lens array is integrally formed with the slit plate around the slit, and allows the intensity distribution of the light, which passes through the slit, to be uniform. The thickness of the slit plate is thicker than that of the fly's eye lens array in order to prevent the light, which passes through the fly's eye lens array, from being diffused.

Abstract translation: 光束控制单元和具有该光束控制单元的曝光设备被设置成通过使用狭缝板和蝇眼透镜阵列来降低其强度彼此不同的光而不会降低光的强度。 光束控制单元（100）包括狭缝板（110）和蝇眼透镜阵列（120）。 狭缝板具有用于限制透射光的区域的固定尺寸狭缝（112）。 蝇眼透镜阵列与狭缝周围的狭缝板一体形成，并且允许通过狭缝的光的强度分布均匀。 狭缝板的厚度比蝇眼透镜阵列的厚度更厚，以防止透过蝇眼透镜阵列的光被扩散。

公开(公告)号：KR100604881B1

公开(公告)日：2006-07-31

申请号：KR1020040053778

申请日：2004-07-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오동호 ,  김재원 ,  김명업 ,  강성우 ,  김영훈 ,  한윤식 ,  황태연

IPC: G11B21/10

CPC classification number: G11B5/4833 ,  G11B5/4826 ,  G11B5/5552 ,  G11B5/596

Abstract: 본 발명은 디스크 드라이브의 헤드 짐벌 어셈블리 및 서보 컨트롤러에 관한 것으로서, 특히 디스크 드라이브의 디스크 진동으로 인한 오프 트랙 헤드 움직임을 줄이기 위한 메커니즘과 드라이브 제어 방법 및 장치에 관한 것이다.
본 발명은 디스크 진동 범위에서 PES를 최적화시키도록 디스크 진동 주파수 범위에서 이득을 가변시키는 서보 컨트롤러를 제공하고, 또한 트랙 미스 기입(TMR)을 줄이는 개선된 헤드 짐벌 어셈블리를 제공한다. 이 헤드 짐벌 어셈블리는 최신의 헤드 짐벌 어셈블리처럼 기계적으로 간단하고, 평평한 디스크 표면 위에 평행으로 이동되는 슬라이더를 지탱하고, 디스크 진동에 의해 유도된 TMR을 줄인다. 이것은 유사한 트랙 밀도와 회전 레이트(rate)에서 알려진 다른 접근 방식보다 보다 만들기 쉽고, 보다 신뢰성이 있으며, 적은 제조비용이 든다. 개선된 헤드 짐벌 어셈블리는 디스크 표면이 평탄할 때 디스크 표면 위로 평행하게 슬라이더를 이동시키고, 디스크 표면이 굽어졌을 때 트랙을 향하여 슬라이더를 빠르게 이동시키기 위한 개선된 메커니즘을 포함한다.

公开(公告)号：KR1020060005560A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：KR1020040054401

申请日：2004-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성우 ,  현종선

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32623 ,  H01J37/32082

Abstract: 플라즈마를 이용하는 반도체 소자 제조 공정의 균일성을 효과적으로 확보할 수 있는 플라즈마를 이용하는 반도체 소자 제조 장비가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마를 이용하는 반도체 소자 제조 장비는 공정 챔버, 제 1 전극, 제 2 전극 및 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 배치되며, 수직 방향으로 이동될 수 있는 제 1 컨파인먼트 링 및 제 1 컨파인먼트 링을 둘러싸고 배치되며, 수직 방향으로 이동될 수 있는 제 2 컨파인먼트 링을 포함하는 컨파인먼트 링 어셈블리를 포함한다.
플라즈마, 균일성, 컨파인먼트(confinement) 링

公开(公告)号：KR100510528B1

公开(公告)日：2005-08-26

申请号：KR1020030030511

申请日：2003-05-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오동호 ,  강성우 ,  한윤식 ,  황태연 ,  김명업

IPC: G11B33/08

CPC classification number: G11B25/043 ,  G11B19/22

Abstract: 개시된 하드 디스크 드라이브는, 드라이브의 디스크 및 스핀들 모터에 접촉되어 로킹시킬 수 있는 로킹 액츄에이터를 가진다. 로킹 액츄에이터는 드라이브로의 전원이 끊겼을 때 디스크와 접촉되어 로킹시키는 플런저를 유발하는 형상 기억 합금 요소를 가질 수 있다. 로킹된 위치에서 액츄에이터는 특히 하드 디스크 드라이브의 선적 및 이송 중의 충격 및 진동 하중의 충격을 최소화할 수 있다. 형상 기억 합금 요소는 하드 디스크 드라이브가 전원을 공급받을 때 가열된다. 그 가열된 형상 기억 합금 요소는 디스크로부터 플런저가 떨어져서 디스크 드라이브가 동작할 수 있게 해준다.

公开(公告)号：KR100468731B1

公开(公告)日：2005-01-29

申请号：KR1020020025911

申请日：2002-05-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성우 ,  김성훈 ,  트란그레고리 ,  뉴엔빈센트 ,  트란스코트 ,  이바노프니콜라이 ,  브래그조

IPC: G11B17/02

CPC classification number: G11B33/08

Abstract: Aerodynamic forces contribute to disk and actuator vibration leading to track positioning errors in storage devices such as hard disk drives. The invention provides a variety of dampening mechanisms and a method of dampening to alleviate these problems.

Abstract translation: 气动力导致盘和致动器振动，导致存储设备（例如硬盘驱动器）中的轨道定位误差。 本发明提供了各种缓冲机构和缓解这些问题的缓冲方法。 ＆lt;图像＆GT;

公开(公告)号：KR1020050009203A

公开(公告)日：2005-01-24

申请号：KR1020040055080

申请日：2004-07-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오동호 ,  모리스프랭크아이반 ,  이행수 ,  모모볼자노빅 ,  김영훈 ,  강성우

IPC: G11B21/21

Abstract: PURPOSE: A slider for reducing an off-track motion of a head caused by a disk vibration, an HGA(Head Gimbal Assembly) and an actuator assembly comprising the slider and the HGA are provided to lower an available roll central position of a slider than slider thickness, thereby decreasing an off-track motion caused by a disk vibration. CONSTITUTION: A slider(100) has an indented surface(104) to lower a roll center of an HGA than thickness of the slider(100). The HGA configured with the slider(100) can reduce off-track displacement caused by a disk vibration. A gimbal(300) disposed on a load beam(80) is contacted with the indented surface(104), and forms a slider roll center lower than the slider thickness. The slider(100) includes a slider contact cover(102) contacted with the gimbal(300). The slider contact cover(102) is coupled with the slider(100) through the indented surface(104). An actuator assembly comprises the HGA.

Abstract translation: 目的：提供一种用于减少由磁盘振动导致的磁头偏离轨道运动的滑块，HGA（磁头万向节组件）和包括滑块和HGA的致动器组件，以降低滑块的可用滚动中心位置， 滑块厚度，从而减少由盘振动引起的偏离轨道运动。 构成：滑块（100）具有凹入表面（104），以降低HGA的滚动中心而不是滑块（100）的厚度。 配置有滑块（100）的HGA可以减少由磁盘振动引起的偏离位移。 设置在负载梁（80）上的万向架（300）与凹口表面（104）接触，形成比滑块厚度低的滑动辊中心。 滑块（100）包括与万向架（300）接触的滑块接触盖（102）。 滑块触点盖102通过凹入表面104与滑块100连接。 致动器组件包括HGA。

公开(公告)号：KR1020030088382A

公开(公告)日：2003-11-19

申请号：KR1020030030511

申请日：2003-05-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오동호 ,  강성우 ,  한윤식 ,  황태연 ,  김명업

IPC: G11B33/08

CPC classification number: G11B25/043 ,  G11B19/22

Abstract: PURPOSE: A dynamic dick locking system of a disk drive using a shape memory alloy is provided to prevent components of a disk drive, such as a spindle motor, from being damaged when the disk drive is moved. CONSTITUTION: A hard disk drive(10) includes a base plate(16), a spindle motor(1) connected to the base plate, a disk(12) connected to the spindle motor, and an actuator arm(24) installed on the base plate. The hard disk drive further includes a voice coil motor(32) connected to the actuator arm, a flexure beam(22) connected to the actuator arm, a head(20) connected with the flexure beam and the disk, and a locking actuator provided on the base plate and connected to the disk. The locking actuator includes a shape memory alloy component. The locking actuator has a plunger and a biasing spring connected with the shape memory alloy component.

Abstract translation: 目的：提供使用形状记忆合金的磁盘驱动器的动态芯片锁定系统，以防止磁盘驱动器（如主轴电机）的组件在磁盘驱动器移动时损坏。 构成：硬盘驱动器（10）包括基板（16），连接到基板的主轴电动机（1），连接到主轴电动机的盘（12）和安装在主板电机上的致动器臂（24） 底盘。 硬盘驱动器还包括连接到致动器臂的音圈电动机（32），连接到致动器臂的挠曲梁（22），与弯曲梁和盘连接的头部（20），以及提供的锁定致动器 在基板上并连接到磁盘。 锁定致动器包括形状记忆合金部件。 锁定致动器具有与形状记忆合金部件连接的柱塞和偏压弹簧。

公开(公告)号：KR1020030024215A

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：KR1020010057266

申请日：2001-09-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이영기 ,  강성우 ,  지형태

IPC: H01L21/76

Abstract: PURPOSE: A method for forming a trench isolation layer of an SOI substrate is provided to prevent the increase of leakage current by forming a trench isolation layer without a bending phenomenon of a semiconductor layer. CONSTITUTION: A substrate(130) including a base layer(110), a buried oxide layer(115), and a semiconductor layer(120) is prepared. A trench(150) is formed within the semiconductor layer(120) in order to define an active region of the semiconductor layer(120). A thermal oxidation process for the remaining semiconductor layer(120) of a bottom portion of the trench(150) is performed. A thermal oxide layer(155) is formed on an inner wall and the bottom of the trench(150) by performing the thermal process. An insulating layer is formed thereon in order to bury the trench(150) including the thermal oxide layer(155). An isolation layer(180) including the thermal oxide layer(155), a nitride layer liner pattern(165a), and an oxide layer pattern(170a) is formed within the trench(150).

Abstract translation: 目的：提供一种用于形成SOI衬底的沟槽隔离层的方法，以通过形成不具有半导体层弯曲现象的沟槽隔离层来防止漏电流的增加。 构成：制备包括基底层（110），掩埋氧化物层（115）和半导体层（120）的衬底（130）。 为了限定半导体层（120）的有源区，在半导体层（120）内形成沟槽（150）。 执行用于沟槽（150）的底部的剩余半导体层（120）的热氧化工艺。 通过进行热处理，在内壁和沟槽（150）的底部上形成热氧化物层（155）。 在其上形成绝缘层以便埋入包括热氧化物层（155）的沟槽（150）。 在沟槽（150）内形成包括热氧化物层（155），氮化物层衬垫图案（165a）和氧化物层图案（170a）的隔离层（180）。

公开(公告)号：KR1020030009124A

公开(公告)日：2003-01-29

申请号：KR1020020025911

申请日：2002-05-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성우 ,  김성훈 ,  트란그레고리 ,  뉴엔빈센트 ,  트란스코트 ,  이바노프니콜라이 ,  브래그조

IPC: G11B17/02

CPC classification number: G11B33/08

Abstract: PURPOSE: A device and a method for dampening disc vibration of a storing device are provided to improve the head positioning and reduce the fluttering of a disc rotating in a storing device. CONSTITUTION: A disc drive for dampening vibration of a storing device includes first and second discs(12), disc bases(100), an actuator providing first and second recording-reproducing head assemblies respectively connected to first and second disc surfaces of the first and second discs for communication and coupled with the disc base to pivot, spindle motors(80) stably coupled with the disc bases for rotating the discs around rotation shafts at operation rotation speeds, and a dampening mechanism(120) having a plate fixedly attached to the disc base and a first dampening surface separated from the first disc by a first gap for securing the discs with at least 175 degrees with respect to the rotation shafts and a radial width of at least 16mm with respect to the shafts.

Abstract translation: 目的：提供一种用于抑制存储装置的盘振动的装置和方法，以改善头部定位并减少在存储装置中旋转的盘的颤动。 构成：用于抑制存储装置的振动的盘驱动器包括第一和第二盘（12），盘基座（100），提供分别连接到第一和第二盘表面的第一和第二记录再现头组件的致动器，以及 第二盘，用于通信并与盘基座联接以枢转;主轴电动机（80），其与盘基座稳定地联接，用于以操作旋转速度围绕旋转轴旋转盘;以及阻尼机构（120），其具有固定地附接到 盘基座和通过第一间隙与第一盘隔开的第一阻尼表面，用于相对于旋转轴具有至少175度的角度固定盘，并且相对于轴具有至少16mm的径向宽度。

公开(公告)号：KR1020030008289A

公开(公告)日：2003-01-25

申请号：KR1020010043338

申请日：2001-07-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성우

IPC: H01L21/76

Abstract: PURPOSE: A method for forming a trench of a semiconductor device is provided to lengthen a meal free path of an etching gas and form a plurality of trenches having uniform depth by etching a semiconductor substrate under low pressure. CONSTITUTION: A stacked layer is formed on a semiconductor substrate(200) by stacking a silicon oxide layer and a hard mask layer. A photoresist pattern(208) is formed on the hard mask layer. A stacked layer pattern is formed on the semiconductor substrate(200) by patterning the stacked layer. The photoresist pattern(208) is removed. A plurality of trenches(210,212,214) are formed on a predetermined region of the semiconductor substrate(200) by etching the semiconductor substrate(200). The stacked layer and the semiconductor substrate(200) are patterned by using the photoresist pattern(208) as an etch mask. The photoresist pattern(208) is removed.

Abstract translation: 目的：提供一种用于形成半导体器件的沟槽的方法，以延长蚀刻气体的自由路径，并通过在低压下蚀刻半导体衬底形成具有均匀深度的多个沟槽。 构成：通过堆叠氧化硅层和硬掩模层，在半导体衬底（200）上形成堆叠层。 在硬掩模层上形成光致抗蚀剂图案（208）。 通过图案化层叠层，在半导体衬底（200）上形成堆叠层图案。 去除光致抗蚀剂图案（208）。 通过蚀刻半导体衬底（200），在半导体衬底（200）的预定区域上形成多个沟槽（210,212,214）。 通过使用光致抗蚀剂图案（208）作为蚀刻掩模来对堆叠层和半导体衬底（200）进行构图。 去除光致抗蚀剂图案（208）。