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公开(公告)号：KR1020150088206A
公开(公告)日：2015-07-31
申请号：KR1020150011235
申请日：2015-01-23
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/9501 , G01J5/0007 , G01J5/025 , G01J5/026 , G01J5/047 , G01J5/0803 , G01J5/0806 , G01J5/0831 , G01J5/0896 , G01J5/10 , G01J2005/0048 , G01J2005/0051 , G01J2005/0077 , G01J2005/0081 , G01N2201/06113 , H04N5/33 , H01L22/12 , H01L22/30
Abstract: 반도체칩 표면검사장치및 방법이개시된다. 주기성을갖는연속파레이저를생성하고이를변형하여반도체칩의표면사이즈보다작은광 단면사이즈를갖는검사용레이저빔을생성한다. 다수의반도체칩의표면을국부적으로동시에조사하여가열한후, 검사용레이저빔에대응하여반도체칩으로부터방사되는열파를검출하여반도체칩의열화상이미지를생성한다. 열화상이미지를영상처리하여반도체칩의표면결함을표시하는표면이미지를수득한다. 주기성을갖는연속파레이저를다수의반도체칩 표면으로동시에국부적으로조사하여표면검사를행함으로써표면검사시간을단축하고검사정확도를높일수 있다.
Abstract translation: 公开了一种用于检查半导体芯片的表面的装置和方法。 产生并修改具有周期性的连续波激光，以产生用于检查的激光束，其具有小于半导体芯片的表面尺寸的光学部分尺寸。 光部分地并且同时地注入到多个半导体芯片的表面上，半导体芯片的表面被加热，然后检测从对应于激光束的半导体芯片发射的热波，从而产生热图像。 通过对热图像进行图像处理，获得表示半导体芯片表面的缺陷的表面图像。 具有周期性的连续波激光部分地同时地被注入到半导体芯片的表面上以进行表面检查，从而减少了表面检查时间并提高了表面检查的精度。
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52.发明授权
公开(公告)号：KR101320358B1
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：KR1020120062857
申请日：2012-06-12
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A laser phase locking thermal imaging apparatus for nondestructive inspection is provided to diagnose a structure from a distance without energy loss by using a laser with excellent straightness and coherence, and to perform a non-basis damage diagnosis. CONSTITUTION: A laser phase locking thermal imaging apparatus for nondestructive inspection includes a function generator (10), a laser diode driver (20), a continuous laser device (30), a thermal image camera (40), and a controller (50). The function generator produces a voltage signal. The laser diode driver transforms the voltage signal, which is supplied from the function generator, into current. The continuous diode driver continuously generates laser by using current which is supplied from the laser diode driver, and irradiates the structure with the laser. The thermal image camera measures the structure which is heated by the laser irradiated from the continuous laser device. The controller controls the function generator, and determines whether the structure is damaged or not by receiving the image information of the thermal image camera.
Abstract translation: 目的：提供用于非破坏性检查的激光相位锁定热成像装置，通过使用具有优异的直线度和一致性的激光器，从远距离诊断结构，无需能量损失，并执行非基础损伤诊断。 构成：用于非破坏性检查的激光相位锁定热成像装置包括功能发生器（10），激光二极管驱动器（20），连续激光装置（30），热像相机（40）和控制器（50） 。 函数发生器产生电压信号。 激光二极管驱动器将从功能发生器提供的电压信号转换为电流。 连续二极管驱动器通过使用从激光二极管驱动器提供的电流连续地产生激光，并且用激光照射结构。 热像摄像机测量由连续激光装置照射的激光加热的结构。 控制器控制功能发生器，并通过接收热像摄像机的图像信息来确定结构是否损坏。
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公开(公告)号：KR101281582B1
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：KR1020100112990
申请日：2010-11-12
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 비파괴검사용 비접촉식 영상화 방법에 관한 것으로, 구조물에 펄스 레이저를 조사하여 구조물에 유도파를 가진하는 생성부와, 구조물에서 생성된 유도파를 비접촉식으로 계측하는 계측부 및 계측부에서 계측된 데이터를 영상화하여 손상정보를 추출하고 자동으로 판별하는 영상처리부를 포함한다.
본 발명에 따른 비파괴검사용 비접촉식 영상화 방법은 센서를 부착하거나 케이블을 사용하지 않고 비접촉식으로 구조물에 대한 진단이 가능하며, 높은 영상 해상도를 통하여 구조물의 손상을 신뢰성 있게 검출할 수 있다.-
公开(公告)号：KR100977073B1
公开(公告)日：2010-08-19
申请号：KR1020080051180
申请日：2008-05-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은, 상면과 하면을 가지는 평판 구조체의 상면에 제1압전센서를 부착하고, 상기 평판 구조체의 하면 중 상지 제1압전센서의 하부에 제2압전센서를 부착하며, 상기 평판구조물의 상면 중 상기 제1압전센서로부터 일정거리 떨어진 지점에 제3압전센서를 부착하고, 상기 평판구조물의 하면 중 상기 제3압전센서의 하부에 제4압전센서를 부착하되, 상기 압전센서들이 상기 평판 구조체에 부착되는 면이 양극 또는 음극으로 통일되게 부착하는 압전센서 부착단계; 상기 압전센서들의 크기와 상기 평판 구조물의 두께를 고려하여 가진 주파수 대역을 설정하는 주파수 설정단계; 상기 주파수 설정단계에서 설정된 주파수 대역 내에서 일정크기의 주파수를 증가시켜 가면서 반복적으로 상기 제1압전소자에 전압을 가해 상기 평판 구조체를 가진 한 후 각 주파수별로 상기 제3압전소자 및 제4압전소자의 전압을 각각 측정하는 제1측정단계; 상기 주파수 설정단계에서 설정된 주파수 대역 내에서 일정크기의 주파수를 증가시켜 가면서 반복적으로 상기 제2압전소자에 전압을 가해 상기 평판 구조체를 가진 한 후 각 주파수별로 상기 제3압전소자 및 제4압전소자의 전압을 각각 측정하는 제2측정단계; 상기 각 주파수별로, 상기 제1압전소자를 이용하여 상기 평판 구조물을 가진 하여 상기 제3압전소자에서 측정된 전압데이터인 1-3측정치에서 상기 제2압전소자를 이용하여 상기 평판 구조물을 가진 하여 상기 제4압전소자에서 측정된 전압데이터인 2-4측정치를 뺀 결과를 2로 나누는 M1데이터 추출단계; 상기 각 주파수별로, 상기 제1압전소자를 이용하여 상기 평판 구조물을 가진하여 상기 제4전소자에서 측정된 전압데이터인 1-4측정치에서 상기 제2압전소자를 이용하여 상기 평판 구조물을 가진하여 상기 제3압전소자에서 측정된 전압데이터인 2-3측정치를 뺀 결과를 2로 나누는 M2데이터 추출단계; 상기 각 주파수별로, 상기 M1데이터와 상기 M2데이터를 서로 더한 결과를 2로 나누는 M3데이터 추출단계; 상기 각 주파수별로, 상기 M1데이터에서 상기 M2데이터를 뺀 결과를 2로 나누는 M3데이터 추출단계; 상기 각 주파수별로 추출된 M1데이터, M2데이터, M3데이터, M4데이터를 각각 퓨리에 트랜스폼하는 퓨리에 트랜스폼 단계; 상기 각 주파수별로 상기 M1데이터, M2데이터, M3데이터, M4데이터를 퓨리에 트랜스폼한 결과를 바탕으로 그래프를 그리고 그 그래프의 면적의 상대크기를 비교함으로써 손상 발생 여부를 추정하는 손상추정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 구조물의 손상 추정방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020100065268A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：KR1020100051690
申请日：2010-06-01
Applicant: 한국과학기술원
Inventor： 손훈
Abstract: PURPOSE: A high-speed train structure for damping resonance is provided to form a high-speed train by connecting vibration-attenuating car, which has difference length with the general passenger cars, between normal passenger cars. CONSTITUTION: A high-speed train structure for damping resonance comprises multiple general passenger cars. A load supporting wheel(100') is installed at the interaxial center of a front wheel and a rear wheel of a train wheel(100). The load supporting wheel is grounded with the rail. The load supporting wheel is grounded with the rail in an up/down manner during the motion of the train or is separated from the rail.
Abstract translation: 目的：提供一种用于阻尼共振的高速列车结构，通过连接正常乘用车之间与普通乘用车的长度不同的减振减震车形成高速列车。 构成：用于阻尼共振的高速列车结构包括多台普通乘用车。 负载支撑轮（100'）安装在轮系（100）的前轮和后轮的轴心间。 负载支撑轮用导轨接地。 负载支撑轮在列车运动期间以上/下方式与轨道接地或与轨道分离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102226094B1
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：KR1020190179187
申请日：2019-12-31
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 3D 프린팅공정중 펨토초레이저빔을이용하여프린팅대상물의적층품질을검사할수 있는방법, 장치및 이를구비하는시스템이제공된다. 본발명의일 측면에따른, 3D 프린팅공정중 펨토초레이저빔를이용하여프린팅대상물의적층품질을검사하는방법은, 프린팅대상물의상태를검사하기위해 3D 프린팅레이저소스와동축상으로배치되는펨토초레이저소스로부터레이저빔이조사되는단계, 펨토초레이저소스에서생성된레이저빔을펌프레이저빔과프로브레이저빔으로분리시키는단계, 3D 프린팅레이저소스로부터조사되는프린팅용레이저빔 또는펌프레이저빔을프린팅대상물에조사하여초음파를생성시키는단계, 초음파를계측하기위하여프린팅대상물에프로브레이저빔을조사하는단계, 프린팅대상물에의해반사된프로브레이저빔을검출하는단계및 반사된프로브레이저빔을분석하여프린트대상물의품질을검사하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR102073243B1
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：KR1020180047857
申请日：2018-04-25
Applicant: 한국조선해양 주식회사 , 한국과학기술원 , 현대중공업 주식회사
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公开(公告)号：KR101905103B1
公开(公告)日：2018-11-28
申请号：KR1020170060959
申请日：2017-05-17
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 프리캐스트콘크리트바닥판의위치를추정하는방법은차원레이저스캐너를이용하여프리캐스트콘크리트바닥판들과결합될프리캐스트거더들의형상과치수와관련된스캔데이터를획득하는단계; 상기스캔데이터에데이터전처리과정을수행하여상기스캔데이터로부터노이즈데이터를필터링하여제1 스캔데이터를추출하는단계; 상기제1 스캔데이터로부터상기프리캐스트거더들각각에형성되는전단연결재들에관련된전단연결재데이터를추출하는단계; 상기전단연결재데이터에기초하여상기전단연결재들각각의헤드와관련된헤드데이터를추출하는단계; 상기헤드데이터에기초하여상기전단연결재들각각의위치를추정하는단계; 및상기전단연결재들각각의위치와상기프리캐스트콘크리트바닥판들의형상정보를이용하여상기전단연결재들과결합될상기프리캐스트콘크리트바닥판들각각의최적위치를추정하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101877480B1
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：KR1020170158460
申请日：2017-11-24
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01B15/02 , G06T5/002 , G06T2207/10048
Abstract: 도막두께분포시각화방법및 이를위한능동형열화상장치가개시된다. 가열부가계측구조물의계측대상영역에대하여상대적인이동을하면서광빔을가하여가열한다. 계측부가, 가열부와함께, 가열되는계측대상영역을스캐닝하면서촬영하여, 계측대상영역에서열에너지가전파되는현상에관한다수의열화상이미지를생성한다. 시간-공간통합좌표변환알고리즘에따른좌표변환을수행하여동적상태의상기다수의열화상이미지들을정적상태의시간-공간통합열화상이미지로변환한다. 도막층의두께는푸리에열전도식을이용하여산출될수 있다. 변환된시간-공간통합열화상이미지에서가열전시간-공간통합열화상이미지를빼주어외부열원에의한노이즈를제거한다. 시간-공간통합열화상이미지에포함된선형의광빔의불균일한에너지분포에따른노이즈, 펩퍼노이즈등을제거한다. 시간-공간통합열화상이미지에대하여페인트의종류와색상에차이를상쇄하기위한정규화처리를수행할수 있다.
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