Abstract:
A terahertz wave generating device of high output, a manufacturing method thereof, and a near field electro spinning device are provided to increase an output of the terahertz wave by increasing a voltage applied to a photoconductive antenna based on a wide band gap material with a high breakdown voltage. A terahertz wave generating device of high output includes a semi-insulating substrate and a photoconductive antenna(120). The photoconductive antenna has an electrode pattern formed for applying the voltage to the upper part of the semi-insulating substrate and has an array shape by arranging a wide band gap material in the upper part of the electrode pattern in a row. A lens(110), the photoconductive antenna, and a power supply unit(130) are formed in the upper part of the semi-insulating substrate. A bias voltage is applied from the power supply unit to the photoconductive antenna. If a light wave of an ultraviolet range is injected by a semiconductor laser, the photoconductive antenna absorbs the light and generates the terahertz wave with high intensity.
Abstract:
An apparatus and a method for generating THz-waves by heterodyning optical and electrical waves are provided to control precisely a near-field optical fiber probe by using the near-field optical fiber probe and a nano-actuator. A test target unit generates THz-waves by using injected optical waves and electric waves. A probe is formed to scan the test target unit by using light received through an optical fiber. A driving oscillator(7) generates the electric waves and applies the electric waves to the test target device. The probe includes a lossless optical waveguide part, a tapering optical fiber part, and a probe terminal in order to connect the optical waveguide part with the optical fiber. Diameter of the probe terminal is shorter than wavelength of the light. A scanning direction of the probe crosses the direction in which the electric waves are injected.
Abstract:
A plasma enhanced CVD apparatus and a method for manufacturing nano-particles are provided to secure operational stability by generating electrons from a filament by using an additional power source. A reaction chamber has an internal space of constant volume. An upper electrode(70) and a lower electrode(80) are installed in the reaction chamber to generate plasma. A gas inlet(10) is used for inducing reaction gas to the inside of the reaction chamber. A filament(20) is installed in the reaction chamber to emit electrons. The filament is installed in the reaction chamber except for an electric field region which is caused by the upper and lower electrodes.
Abstract:
초소형 광/자기 헤드 액튜에이터를 제공한다. 본 발명은 디스크의 정보를 읽거나 디스크에 정보를 기록하기 위하여 헤드가 장착되고, 수평 방향 및 수직 방향으로 이동할 수 있는 스윙암과, 상기 스윙암을 디스크에 대하여 수평 방향(트래킹 방향)으로 이동시킬 수 있는 트래킹 액튜에이터를 포함한다. 더하여, 본 발명은 상기 스윙암의 회전 반경을 조절하고 상기 스윙암의 트래킹 방향 이동을 가이드하는 피봇 힌지와, 상기 스윙암을 디스크에 대하여 수직 방향(포커싱 방향)으로 이동시킬 수 있는 포커싱 액튜에이터를 포함한다. 상기 포커싱 액튜에이터는 상기 스윙암의 하부에 부착된 포커싱 코일과 상기 포커싱 코일의 하부에 위치하는 할바 배열 자석으로 구성된다. 이에 따라, 본 발명은 마찰이나 백래쉬가 없고 비반복 오차도 줄일 수 있고, 할바 배열 자석을 이용하여 초소형 저장 장치의 두께를 대폭적으로 줄일 수 있다.
Abstract:
본 발명은 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법에 관한 것으로, 특히 광도파로인 코아를 형성한 후, 형성된 코아의 일측면에 기판과 평행하게 입사된 광이 코아와 수직방향으로 전환되도록 그 내부에 일정크기의 결함을 갖는 광자결정을 형성함으로써, 모바일 기기등에 사용되도록 초경량, 초박형 광픽업헤드를 용이하게 구성할 수 있는 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법은, (a) 기판의 상부에 하부 클래드층을 형성하는 단계; (b) 상기 하부 클래드층의 상부에 코아를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 코아의 일측면에 나노 크기를 갖는 다수의 격자로 구성된 광자결정을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다. 광픽업헤드(Optical pick-up head), 기판, 코아(Core), 광자결정(Photonic Crystal)
Abstract:
본 발명은 광 커플링 효율(coupling efficiency)을 향상시킬 수 있는 광 도파로 격자 렌즈(Focusing waveguide grating coupler, FWGC) 및 이를 이용한 광 픽업 헤드(optical pickup head)에 관한 것으로, 평면 도파로(planar waveguide), 단일 빔 출력 도파로 격자 커플러(waveguide grating for one-beam coupling), 프레넬(Fresnel) 격자 렌즈로 구성된다. 평면 도파로를 통해 도파되는 단일 모드(single mode)가 단일 빔 출력 도파로 격자 커플러에 의해 기판 클래딩(substrate cladding) 쪽으로 커플링된다. 모드로부터 빠져 나온 빔은 모드 진행 방향의 반대쪽과 기판을 향하여 전파하다가 반사형 프레넬 렌즈에 의해 회절되어 상부 클래딩(over cladding) 밖으로 빠져 나오면서 초점으로 모인다. 기존의 광 도파로 격자 렌즈가 클래딩 쪽과 기판 쪽으로 각각 50%의 커플링 효율을 갖는 반면, 본 발명의 광 도파로 격자 렌즈는 단일 출력빔을 만들어내므로 50% 이상의 커플링 효율을 얻을 수 있다.
Abstract:
본 발명은 평면 격자렌즈에 관한 것으로, 기판 위에 형성된 클래드층 및 코어층을 포함하여 구성되며 입사되는 레이저 광을 단일모드로 유지하는 광도파로와, 코어층 상부의 일정영역에 소정 길이의 격자 간격을 갖도록 형성되는 격자렌즈를 구비하되, 광도파로로 입사된 광은 격자렌즈의 수직방향으로 초점을 형성하도록 구성한다. 본 평면 격자렌즈를 이용하면, 모바일 광디스크 용 초소형 픽업 헤드에 사용할 수 있도록 한다.
Abstract:
본 발명은 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법에 관한 것으로, 특히 광자기 매체를 성형하기 위한 평활한 기판과 그의 상부에 일정하고 규칙적인 블록 코폴리머로 형성된 나노 패턴을 마스크로 하여 광자기 기록층을 형성함으로써, 광자기 매체의 기록밀도가 향상됨과 더불어 재생신호의 품질을 더욱 향상시킬 수 있는 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법에 대한 것이다. 본 발명의 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법은, (a) 기판의 상부에 하부층을 형성하는 단계; (b) 상기 하부층의 상부에 광자기 기록층을 형성하는 단계; (c) 상기 광자기 기록층의 상부에 일정한 두께로 블록 코폴리머층을 형성하는 단계; 및 (d) 식각공정을 통하여 나노 크기를 갖는 일정하고 규칙적인 패턴을 갖도록 패턴닝된 광자기 기록층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
Abstract:
본 발명은 모바일 광 디스크용 초소형 픽업 헤드에 사용할 수 있는 마이크로 격자렌즈의 제작 방법에 관한 것으로, 전자선 묘화법으로 금형 마스터를 제작하고, 금형 마스터를 이용하여 반전 복제물인 스탬퍼를 가공한다. 그리고 상기 스탬퍼를 이용한 압착 및 이방성 식각 공정으로 실리콘 질화막 등에 격자렌즈를 가공한다. 따라서 본 발명을 적용하면 간단한 공정과 적은 비용으로 픽업 헤드의 무게와 부피를 크게 줄일 수 있으며, 대량 생산이 가능하고, 반도체 칩 크기의 격자렌즈 제작이 가능해진다.