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公开(公告)号：KR1020010073962A
公开(公告)日：2001-08-03
申请号：KR1020000003182
申请日：2000-01-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B27/00
Abstract: PURPOSE: A method for detecting and stabilizing wavelength and a wavelength stabilizing optical source module by using thereof are provided to stabilize the wavelength by using the wavelength dependence of reflection and transmission efficiently with using a Fabry-Perot structure filter element in an optical route. CONSTITUTION: In the method for detecting and stabilizing wavelength and the wavelength stabilizing optical source module by using the same, a single mode optical source(10), a lens(12), a Fabry-Perot filter(11), an array optical detector(20) and optical detectors(31, 32) are included. The lens(12) controls the radiation angle of the laser beam radiated from the single mode optical source(10). The array optical detector(20) detects the beam reflected in the F-P filter(11). The optical detectors(31, 32) detect the beam, which is transmitted the F-P filter(11). Because the incident angle to the first and second Photo Detectors(PD)(21, 22) is different, the strength of the optical detection is compared.
Abstract translation: 目的：提供一种通过使用波长和波长稳定光源模块进行检测和稳定的方法，通过使用光路中的法布里 - 珀罗结构滤波器元件，有效地利用反射和透射的波长依赖性来稳定波长。 构成：在通过使用它来测量和稳定波长的波长稳定光源模块的方法中，单模光源（10），透镜（12），法布里 - 珀罗滤光器（11），阵列光检测器 （20）和光学检测器（31,32）。 透镜（12）控制从单模光源（10）辐射的激光束的辐射角。 阵列光学检测器（20）检测在F-P滤波器（11）中反射的光束。 光检测器（31,32）检测发射F-P滤波器（11）的光束。 因为与第一和第二光电探测器（PD）（21,22）的入射角不同，所以比较了光学检测的强度。
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公开(公告)号：KR1020010019755A
公开(公告)日：2001-03-15
申请号：KR1019990036332
申请日：1999-08-30
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/00
Abstract: PURPOSE: An optical source module including a wavelength stabilizer is provided to maintain the center wavelength of an optical source accurately and uniformly. CONSTITUTION: An optical source module used for an optical communication system includes a wavelength stabilizer(209) that generates optical current from an interference pattern signal varying with time and compares optical current values to uniformly maintain wavelengths. The wavelength stabilizer consists of twin photo diodes for generating optical current based on the interference pattern signal and a diffracting grating for providing the interference pattern signal varying with wavelengths to the twin photo diodes. The photo diodes and the diffracting grating are configured of one semiconductor.
Abstract translation: 目的：提供一种包括波长稳定器的光源模块，以保持光源的中心波长准确而均匀。 构成：用于光通信系统的光源模块包括波长稳定器（209），其从随时间变化的干涉图案信号产生光电流，并比较光电流值以均匀地保持波长。 波长稳定器由用于产生基于干涉图案信号的光电流的双光电二极管和用于向双光电二极管提供波长变化的干涉图案信号的衍射光栅组成。 光电二极管和衍射光栅由一个半导体构成。
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公开(公告)号：KR100248432B1
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019970071641
申请日：1997-12-22
Abstract: 본 발명은 광통신에 사용하는 광모듈 중 광소자를 실리콘 기판에 접합한 칩을 세라믹 뚜껑을 이용하여 패키징하므로 외부 습기, 충격등으로 부터 칩과 접합 솔더를 보호하는 기술이다. 일반적으로 플립칩 및 접합 솔더를 보호하는 방법으로 에폭시를 사용하여 언필 ＆ 엔켑슐레이션 공정을 이용하고 있다. 그러나 에폭시만으로 패키징 하였을때 에폭시가 광소자의 활성부분 또는 광소자와 광섬유사이에 놓이게 되면 빛의 간섭 또는 산란등을 발생시켜 정확한 신호 전달이 불가능하게 된다. 따라서 이러한 문제점을 해결하기 위하여 판상 세라믹 내부에 직사각형 홈을 형성하여 실리콘 기판을 삽입한 뒤, 세라믹 뚜껑 덮개를 만들어 실리콘 기판에 접합한 광소자 및 접합 솔더를 보호하기 위한 기술을 발명하였다.
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公开(公告)号：KR100243411B1
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：KR1019970053151
申请日：1997-10-16
IPC: H01S5/026
Abstract: 본 발명은 반도체 레이저와 광검출기가 단일칩 집적된 양방향 소자 구조에 관한 것으로서, 한 가닥의 광섬유를 사용하여 송신 및 수신 광신호를 동시에 전송하는 양방향 광통신에 있어서 별도의 광도파로 형태의 광분기 소자 없이 광송신용 반도체 레이저와 광수신용 광검출기 소자를 동일한 반도체 기판위에 수직 집적시켜 반도체 레이저의 활성영역과 광검출기 소자의 광흡수 영역이 매우 근접하도록 위치시키므로써 동일한 광섬유와의 광결합이 상기 두 가지 소자에 대해 모두 용이하게 이루어지도록 구성함으로써, 광부품 수 절감 및 광패키징 공정 간략화에 따라 양방향 광통신용 광모듈의 소형화, 제작 원가 절감 및 특성 개선의 효과를 갖는다.
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公开(公告)号：KR1019990038986A
公开(公告)日：1999-06-05
申请号：KR1019970058902
申请日：1997-11-08
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
포토 다이오드의 수광감도 측정장치 및 방법
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 요지
본 발명은 구성이 간단하면서도 포토 다이오드 수광감도 측정의 안정도 및 정확도에 신뢰성을 가질 수 있는 포토 다이오드의 수광감도 측정장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은 전원을 인가받아 발광하는 발광수단; 상기 발광수단에서 발광된 광을 받아 광밀도가 균일하게 분포되는 수광부재; 상기 수광부재상에 인가된 광에너지를 측정하는 광에너지 측정수단; 및 상기 광에너지 측정수단의 일측에 위치되어 수광부재상에 인가된 광에너지를 전류로 변환하여 측정하는 전류측정수단을 포함하는 포토 다이오드의 수광감도 측정장치를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 포토 다이오드의 수광감도를 신뢰성 있게 측정하는 것임.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990032176A
公开(公告)日：1999-05-06
申请号：KR1019970053151
申请日：1997-10-16
IPC: H01S5/026
Abstract: 본 발명은 반도체 레이저와 광검출기가 단일칩 집적된 양방향 소자 구조에 관한 것으로서, 한 가닥의 광섬유를 사용하여 송신 및 수신 광신호를 동시에 전송하는 양방향 광통신에 있어서 별도의 광도파로 형태의 광분기 소자 없이 광송신용 반도체 레이저와 광수신용 광검출기 소자를 동일한 반도체 기판위에 수직 집적시켜 반도체 레이저의 활성영역과 광검출기 소자의 광흡수 영역이 매우 근접하도록 위치시키므로써 동일한 광섬유와의 광결합이 상기 두 가지 소자에 대해 모두 용이하게 이루어지도록 구성함으로써, 광부품 수 절감 및 광패키징 공정 간략화에 따라 양방향 광통신용 광모듈의 소형화, 제작 원가 절감 및 특성 개선의 효과를 갖는다.
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公开(公告)号：KR100169837B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019950053686
申请日：1995-12-21
IPC: G02B6/42
Abstract: 본 발명은 광소자와 광섬유의 정밀 수동 정렬방법에 관한 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 발광소자와 광섬유의 정밀 수동 정렬방법은, V-홈을 이용한 광소자와 광섬유의 정밀 수동 정렬방법에 있어서, 상기한 V-홈을 제조시 광섬유가 정렬되는 V-홈 폭에 대한 정확한 측정을 위하여 수동 정렬용 기판 상에 V-홈 폭 측정용 마커를 형성하고, 광소자를 수동 정렬용 기판에 플립칩본딩시 광섬유와의 정렬정밀도를 높이기 위하여 수동 정렬용 기판 상에 플립칩본딩용 정렬부호를 형성한 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR100169833B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019950047438
申请日：1995-12-07
IPC: G02B6/42
Abstract: 본 발명은 광통신기구인 고속 광통신모듈 패키지 및 그 제작방법에 관한 것으로 실리콘 기판상의 V-홈을 이용한 수동정렬방법으로 광소자와 광섬유간에 광결합을 이룬 광결합모듈과 이를 구동하기 위한 신호를 처리하는 회로가 담긴 구동회로기판을 안전하게 실장하고, 특성 측정을 용이하게 하며, 구동회로 기판의 재질이나 두께가 광결합모듈의 규격에 제약받지 않도록 하고, 실장된 능동소자들의 냉각을 도모하는 밀봉이 가능한 패키지 장치를 제공함으로써 소자의 성능을 유지하면서도 소형의 고속 광통신 모듈의 제작을 가능하게 하기위한 것이다. 수동정렬법으로 제작된 광결합모듈의 실장에 광결합모듈받침대, 접속마운트, 광섬유고정대의 3개 부분으로 구성되어 있는 별도의 광결합모듈용 리셉터클을 사용하고, 이와 함께 광결합모듈을 구동하기 위한 회로기판을 실장하며 외부의 회로와 연결되는 연결핀을 구비하며 리셉터클을 결속할 수 있고 밀봉이 가능한 패키지를 사용하여, 이들 둘을 결속한 후 회로를 연결하고 패키지를 밀봉하도록 함을 특징으로 하는 것이다.
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公开(公告)号：KR1019990015373A
公开(公告)日：1999-03-05
申请号：KR1019970037478
申请日：1997-08-06
IPC: G02B6/00
Abstract: 본 발명은 광섬유 축에 대하여 기울어진 광도파로를 갖는 광소자를 플립칩 접합 방법으로 수동정렬용 기판 위에 정렬하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 광소자 길이의 편차에 따른 광도파로의 위치이탈을 정밀하게 교정해 주기 위한 정렬부호를 사용하며, 또한 이를 가능하게 하는 수동정렬용 기판 제작시 정렬부호를 삽입하고, V-홈을 형성함에 있어서, 별도의 포토리소그라피 공정 중에 발생하는 마스크 정렬오차를 제거하며, V-홈의 이방성 식각 후에 변화된 V-홈의 중심 위치에 대한 플립칩 접합용 정렬부호의 위치변화를 방지하기 위하여 이들을 한번의 식각 공정으로 동시에 형성함으로써, 광소자와 광섬유를 수동정렬 할 때 광결합 효율을 극대화시킬 수 있는 것이다.
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公开(公告)号：KR100142524B1
公开(公告)日：1998-07-01
申请号：KR1019940032107
申请日：1994-11-30
IPC: H01L31/00
Abstract: 본 발명은 플립칩 본딩된 광소자의 높이조절 및 열특성 향상방법에 관한 것으로서 보다 상세하게는 광소자를 플립칩 본딩 방법으로 정렬하여 광섬유와의 광결합을 이루고자 할 때에 솔더범프 열의 사이인 광소자의 도파로 아래쪽에 위치하는 실리콘 기판에 일정한 길이의 금속으로 된 금속지지대를 정렬하고자 하는 높이로 형성함으로써 이 위에 높인 광소자의 토파로가 광섬유의 중심축과 일치하도록 높이를 정확하게 제어하고 본딩후 광소자의 작동시 금속접촉에 의한 열통로를 제공하기 의한 광소자의 플립칩 본딩시 높이조절 및 열특성 향상방법에 관한 것이다.
특징적인 구성으로는 광소자와 광섬유 정렬용 실리콘 웨이퍼위에 절연물을 전면 증착하는 제 1공정과, 상기 제 1공정에서 증착된 절연물위에 포토레지스트를 도포하여 노광 공정을 통하여 패턴을 정의한 후 실리콘 질화물을 건식 식각하여 V-홈 식각용 개구를 만드는 제 2공정과, 상기 제 2공정에서의 포토레지스트를 제거한 후 실리콘 질화물을 식각 방지막으로 하여 V-홈 형성용 개구에 식각공정을 실시하여 V-홈을 형성하는 제 3공정과, 솔더 본딩을 위하여 솔더 접착이 가능한 금속층을 형성하기 위해 먼저 상기 제 3공정에서 V-홈이 형성된 기판위에 포토레지스트를 도포하고 노광 공정을 하여 패턴을 정의한 개구를 만든 후 전면에 금속층을 증착하고 리프트-오프 공정을 이용하여 금속층 패드를 남기는 제 4공정과, 전극을 가하기 위한 금속층을 실리� � 웨이퍼 전면에 얇게 증착한 후 포토레지스트를 사용하여 금속지지대 패턴을 정의하고 지지대를 형성한 후 포토레지스트를 제거하고 전극을 가하기 위한 금속층을 식각하여 금속지지대만을 남기는 제 5공정과, 상기 제 5공정에서의 실리콘 기판위에 상기 제 4공정에서의 금속막 패드형성 공정과 동일하게 후막 포토레지스트를 도포하고 노광을 하여 솔더증착을 위한 패턴을 정의한 후 실리콘 웨이퍼의 전면에 솔더를 증착하고 아세톤 용액중에서 후막 포토레지스트를 제거하여 금속층 패드위의 솔더범프를 남기는 제 6공정과, 상기 제 6공정에서 증착된 솔더의 조성 균일화를 위하여 질소 분위기의 오븐에서 리플로우(reflow)공정을 하여 용융된 솔더의 표면 장력으로 인하여 솔더의 형태가 둥글도록 하는 제 7공정과, 기판에 있는 솔더범프 패드 패턴에 � �응하는 금속층 패턴이 있는 광소자를 플립칩 본딩을 실시하는 제 8공정으로 이루어짐에 있다.
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