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公开(公告)号:KR101836258B1
公开(公告)日:2018-03-08
申请号:KR1020160084838
申请日:2016-07-05
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: H01L29/16 , H01L29/24 , H01L21/02 , H01L29/423 , H01L29/739 , H01L29/66
CPC classification number: H01L29/7813 , H01L21/047 , H01L21/26586 , H01L29/0684 , H01L29/1608 , H01L29/45 , H01L29/4916 , H01L29/66068 , H01L29/861
Abstract: 본발명의일 실시예에따른반도체소자는 n+형탄화규소기판의제1면에위치하는 n-형층, 상기 n-형층에위치하며서로이격되어있는제1 트렌치및 제2 트렌치, 상기제1 트렌치의측면및 상기제2 트렌치의측면사이에위치하며, 상기 n-형층위에위치하는 n+형영역, 상기제1 트렌치의내부에위치하는게이트절연막, 상기제2 트렌치의내부에위치하는소스절연막, 상기게이트절연막위에위치하는게이트전극, 상기게이트전극위에위치하는산화막, 상기산화막, 상기 n+형영역, 및상기소스절연막위에위치하는소스전극, 그리고상기 n+형탄화규소기판의제2면에위치하는드레인전극을포함한다.
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公开(公告)号:KR1020170027611A
公开(公告)日:2017-03-10
申请号:KR1020150124459
申请日:2015-09-02
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: H01L29/10 , H01L21/04 , H01L29/423 , H01L29/66
CPC classification number: H01L29/66734 , H01L21/0465 , H01L21/047 , H01L29/0619 , H01L29/1608 , H01L29/41766 , H01L29/4236 , H01L29/66666 , H01L29/7828
Abstract: 본발명의일 실시예에따른반도체소자의제조방법은 n+형탄화규소기판의제1면에 n-형에피층및 n+형영역을순차적으로형성하는단계, 상기 n+형영역위에제1 마스크패턴을형성한후, 상기제1 마스크패턴을마스크로하여상기 n-형에피층및 상기 n+형영역을식각하여복수의제1 트렌치및 복수의제2 트렌치를형성하는단계, 상기복수의제1 트렌치내에제1 감광막패턴을형성한후, 상기제1 감광막패턴을마스크로하여상기제1 마스크패턴을식각하여홈을형성하는단계, 상기제1 감광막패턴을제거한후, 상기홈이형성된상기제1 마스크패턴을마스크로하여상기복수의제2 트렌치내에 p 이온을주입하여 p형영역을형성하는단계, 상기홈이형성된상기제1 마스크패턴을제거한후, 복수의제1 트렌치내에게이트절연막을형성하는단계, 상기게이트절연막위에게이트전극을형성하는단계, 상기게이트전극위에보호막을형성하는단계, 상기복수의제2 트렌치내에소스전극을형성하는단계, 그리고상기 n+형탄화규소기판의상기제1면에대해반대측인제2면에드레인전극을형성하는단계를포함한다.
Abstract translation: 一种制造半导体器件的方法包括:在n +型碳化硅衬底的第一表面上依次形成n型外延层和n +型区域; 通过在n +型区域上形成第一掩模图案之后,使用第一掩模图案作为掩模蚀刻n型外延层和n +型区域,形成多个第一沟槽和多个第二沟槽; 通过在所述多个第一沟槽中形成所述第一感光膜图案之后,使用第一感光膜图案作为掩模蚀刻所述第一掩模图案来形成沟槽; 通过在除去第一感光膜图案之后,使用具有沟槽作为掩模的第一掩模图案,在多个第二沟槽中注入p离子来形成p型区域; 在用所述槽除去所述第一掩模图案之后,在所述多个第一沟槽中形成栅极绝缘层; 在栅极绝缘层上形成栅电极; 在栅电极上形成钝化层; 在所述多个第二沟槽中形成源电极; 以及在与n +型碳化硅衬底的第一表面相反的一侧的第二表面上形成漏电极。
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公开(公告)号:KR1020170013107A
公开(公告)日:2017-02-06
申请号:KR1020150106106
申请日:2015-07-27
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: H01L29/872 , H01L29/47 , H01L29/66
CPC classification number: H01L29/66143 , H01L21/02529 , H01L21/26506 , H01L21/30604 , H01L21/76895 , H01L23/535 , H01L29/0623 , H01L29/1608 , H01L29/6606 , H01L29/872
Abstract: 쇼트키배리어다이오드및 그제조방법이개시된다. 본발명의실시예에따른쇼트키배리어다이오드는 n+형탄화규소기판; 상기 n+형탄화규소기판의일면에형성되는 n-형에피층; 상기 n-형에피층내부에형성되는복수의 p+ 영역; 상기전극영역의 n-형에피층상부에형성되는쇼트키전극; 및상기 n+형탄화규소기판의타면에형성되는오믹전극을포함하고, 상기복수의 p+ 영역은상기 n-형에피층내부에서일정각격이격되도록형성된다. 또한, 본발명의실시예에따른쇼트키배리어다이오드의제조방법은 n+형탄화규소기판의일면에 n-형에피층을형성하는단계; 상기 n-형에피층의상면에일정간격이격되도록복수의트렌치를패터닝하는단계; 상기복수의트렌치내부에제1 차단부를형성하는단계; 상기 n-형에피층상단에서일정간격이격되도록복수의제2 차단부를형성하는단계; 상기제1 차단부및 제2 차단부를마스크로하여상기 n-형에피층에 p+ 이온주입으로 p+ 영역을형성하는단계; 상기복수의제1 차단부및 제2 차단부를제거하는단계; 상기 p+ 영역을감싸도록상기 n-형에피층을성장시키는단계; 상기성장된 n-형에피층상부에쇼트키전극을형성하는단계; 및상기 n+형탄화규소기판의타면에오믹전극을형성하는단계로이루어진다.
Abstract translation: 肖特基势垒二极管包括:n +型碳化硅衬底; 在n +型碳化硅衬底的第一表面上形成的n型外延层; 形成在n型外延层内的多个p +区; 形成在电极区域的n型外延层的上部的肖特基电极; 以及形成在所述n +型碳化硅衬底的第二表面上的欧姆电极,其中所述多个p +区形成为在所述n型外延层内以预定间隔彼此间隔开。
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公开(公告)号:KR1020160071901A
公开(公告)日:2016-06-22
申请号:KR1020140179659
申请日:2014-12-12
Applicant: 현대자동차주식회사
IPC: H01L29/72
CPC classification number: H01L29/7813 , H01L29/1608 , H01L29/66068 , H01L29/66719 , H01L29/7869 , H01L29/78606 , H01L29/78696
Abstract: 본발명은반도체소자에관한것으로, 구체적으로온 저항을줄여전류의양을증가시킬수 있는반도체소자및 그제조방법에관한것이다. 이를위해, 본발명의일 실시예에따른반도체소자는 n+형탄화규소기판의일면에형성되는 n-형에피층; 상기 n-형에피층상에형성되는 n+ 영역; 상기 n-형에피층및 상기 n+ 영역을관통하는제1 및제2 트렌치; 상기제1 및제2 트렌치각각의내측에형성되는제1 및제2 게이트절연막; 상기제1 및제2 게이트절연막상에형성되는제1 및제2 게이트전극; 상기제1 및제2 트렌치중 하나의트렌치양측에형성되는 p형영역; 상기제1 및제2 게이트전극상에형성되는산화막; 상기 n+ 영역및 상기산화막상에형성되는소스전극; 및상기 n+형탄화규소기판의타면에형성되는드레인전극을포함하고, 상기제1 및제2 트렌치각각의양측에제1 및제2 채널이형성될수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种半导体器件,特别涉及能够通过降低导通电流而增加电流量的半导体器件及其制造方法。 为此,根据本发明实施例的半导体器件包括:形成在n +型碳化硅衬底的一侧上的n型外延层; 形成在n型外延层上的n +区; 穿过n型外延层和n +区的第一和第二沟槽; 分别形成在第一和第二沟槽内的第一和第二绝缘膜; 形成在第一和第二栅极绝缘膜上的第一和第二栅电极; 形成在所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜之一的两侧的p型区域; 形成在第一和第二栅电极上的氧化膜; 在n +区域上形成的源电极和氧化物膜; 以及形成在n +型碳化硅衬底的另一侧上的漏电极。 可以在第一和第二沟槽中的每一个的两侧上形成第一和第二通道。
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公开(公告)号:KR1020110059030A
公开(公告)日:2011-06-02
申请号:KR1020090115627
申请日:2009-11-27
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor: 박정희
IPC: H01M8/04
Abstract: PURPOSE: An air blower control device of a fuel cell system is provided to improve a cold start performance of a fuel cell by drying a motor with only minimum power while increasing the inflow air temperature of an inhale line of a fuel cell with rest power. CONSTITUTION: An air blower control device of a fuel cell system comprises: a cold starting sensor part(30) for sensing the temperature of a fuel cell stack; a cold starting determination part(32) for determining a cold start by receiving sensing signals; and a current control part(34) which controls a motor for an air blower by cold start signals of the cold starting determination part.
Abstract translation: 目的:提供一种燃料电池系统的鼓风机控制装置,用于通过在仅具有最小功率的情况下干燥电动机来提高燃料电池的冷启动性能,同时增加具有静止电力的燃料电池的吸入管线的流入空气温度。 构成:燃料电池系统的鼓风机控制装置包括:用于感测燃料电池堆的温度的冷启动传感器部分(30); 用于通过接收感测信号来确定冷启动的冷启动确定部分(32); 以及电流控制部(34),其通过冷启动判定部的冷启动信号来控制鼓风机的电动机。
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公开(公告)号:KR1020090017719A
公开(公告)日:2009-02-19
申请号:KR1020070082070
申请日:2007-08-16
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor: 박정희
IPC: H01M8/04
CPC classification number: H01M8/0491 , H01M8/04559 , H01M8/0488 , H01M8/04947 , Y02E60/50
Abstract: A shunt regulator for a fuel cell is provided to optimize the design of parts by reducing the number of parts through operating an over-voltage limiter to play a role of a shunt regulator and to improve the durability of high voltage parts by preventing the voltage rise of the controller shear by the restoring energy. A shunt regulator for a fuel cell comprises the first voltage sensor(15), a controller(12) and an energy exhausting unit. The first voltage sensor is installed at a fuel cell stack(10) and measures the voltage of a fuel cell stack. The controller controls the risen voltage to be consumed in case that the voltage measured by inputting the signal sensed from the first voltage sensor. The energy exhausting unit is connected in parallel with the fuel cell stack and consumes the energy by inputting the control signal of the controller.
Abstract translation: 提供了用于燃料电池的分流调节器,以通过操作过压限制器来减少部件的数量来优化部件的设计,以起到并联调节器的作用,并通过防止升压来提高高压部件的耐久性 的控制器通过恢复能量剪切。 用于燃料电池的分流调节器包括第一电压传感器(15),控制器(12)和能量排出单元。 第一电压传感器安装在燃料电池堆(10)处并测量燃料电池堆的电压。 在通过输入从第一电压传感器感测到的信号测量的电压的情况下,控制器控制要消耗的上升电压。 能量排出单元与燃料电池堆并联连接,通过输入控制器的控制信号消耗能量。
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公开(公告)号:KR1019980039178A
公开(公告)日:1998-08-17
申请号:KR1019960058141
申请日:1996-11-27
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor: 박정희
Abstract: 본 발명은 차량에 설치되는 콤비램프 렌즈 가공방법 및 가공지그에 관한 것으로, 콤비램프 렌즈의 형상을 가지는 모델을 가지는 사출금형을 이용하여 투명 콤비램프 렌즈를 성형하는 단계와 성형된 투명 콤비램프 렌즈를 사출금형으로부터 인출하고 분리된 투명 콤비램프 렌즈를 가공지그의 지지대 상부표면에 접층된 겔 상태의 수지재인 미끄럼 방지부재위로 놓여지게 세팅하는 단계와 가공지그의 지지대에 세팅된 투명 콤비램프 렌즈를 레이져 커팅기를 이용하여 칼라별로 분획 커팅하는 단계와 칼라별로 분획된 단위콤비램프 렌즈에 각각의 칼라필름을 부착하는 단계와 각각의 칼라작업이 완료된 단위 콤비램프 렌즈를 접착제로 접착하여 콤비램프 렌즈를 완성하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 콤비램프 렌즈 가공방법과, 정반의 상부면에 � ��출금형에 의해 성형된 투명 콤비램프 렌즈가 안정되게 얹혀질 수 있게 복수개의 지지대가 등간격을 이루며 설치되어 있고, 이 지지대의 상단부에 투명 콤비램프 렌즈가 미끄러지지 않도록 옵틱형상의 미끄럼 방지부재가 형성되어 있는 것을 특징으로하는 콤비램프 렌즈 가공지그이다.
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公开(公告)号:KR200112387Y1
公开(公告)日:1998-04-08
申请号:KR2019940022908
申请日:1994-09-06
Applicant: 현대자동차주식회사
Inventor: 박정희
IPC: B60H1/34
Abstract: 본 고안은 대형버스에 장착되는 에어콘덕트(1)의 구조를 개선한 것으로 외측판넬을 철판(3)에 FRP(5)와 겔코트(gelcoat)(4)(6)를 두텁게 상호 접착하여 외부와의 온도차이를 줄이므로 이슬의 생성을 방지하고 상기 철판(3)에 FR P(5)와 겔코트(gelcoat)(4)(6)를 두텁게 형성하여 외측판넬(2)의 강도를 증대시키므로 종래의 꺽임부를 배제하고 라운드형으로 형성하여 외관의 미를 증대시키고 덕트(1)의 내부에 개구부(7)가 형성되어 있는 격판(8)을 형성하여 찬공기가 고루 분포되도록 하므로 냉방효과를 증대시키도록 한 것이다.
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