Integrierte optoelektronische Vorrichtung und System mit Wellenleiter und Herstellungsverfahren derselben

    公开(公告)号:DE102014119717B4

    公开(公告)日:2018-06-28

    申请号:DE102014119717

    申请日:2014-12-30

    Abstract: Integrierte optoelektronische Vorrichtung (1), die durch eine erste Oberfläche (S) und durch eine zweite Oberfläche (S) begrenzt ist und Folgendes aufweist:- einen Körper (2) aus Halbleitermaterial, in dessen Innerem zumindest eine erste optoelektronische Komponente gebildet ist aus: einem Detektor (160) und einem Emitter (130); und- einen optischen Pfad (OP), bei dem es sich zumindest teilweise um einen geführten Typ handelt und der sich zwischen der ersten Oberfläche (S) und der zweiten Oberfläche (S) erstreckt, wobei der optische Pfad (OP) den Körper (2) durchläuft;wobei die erste optoelektronische Komponente durch den optischen Pfad(OP) mit einem ersten Bereich eines freien Raums und einem zweiten Bereich eines freien Raums optisch gekoppelt ist, die über bzw. unter der ersten und der zweiten Oberfläche (S, S) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1)weiterhin eine obere Region (4) aufweist, die oben auf dem Körper (2) angeordnet istund die erste Oberfläche (S) bildet, wobei der Körper (2) von der zweiten Oberfläche (S) und von einer Hauptfläche begrenzt ist, wobei die Hauptfläche zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche (S, S) angeordnet ist; und wobei der optische Pfad (OP) durch einen ersten Begrenzungsbereich und einen zweiten Begrenzungsbereich gebildet ist, wobei sich der erste Begrenzungsbereich ausgehend von der ersten Oberfläche (S) innerhalb der oberen Region (4) erstreckt und sich der zweite Begrenzungsbereich ausgehend von der zweiten Oberfläche (S) innerhalb des Körpers (2) erstreckt; und wobei der erste Begrenzungsbereich seitlich von einem ersten seitlichen Bereich umgeben ist, der einen Brechungsindex aufweist, der niedriger ist als der Brechungsindex des ersten Begrenzungsbereichs, so dass der erste Begrenzungsbereich und der erste seitliche Bereich einen ersten Kopplungs-Wellenleiter (22) bilden; und wobei der zweite Begrenzungsbereich seitlich von einem zweiten seitlichen Bereich umgeben ist, der einen Brechungsindex aufweist, der niedriger ist als der Brechungsindex des zweiten Begrenzungsbereichs, so dass der zweite Begrenzungsbereich und der zweite seitliche Bereich einen zweiten Kopplungs-Wellenleiter (24) bilden.

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