基板处理方法和基板处理装置

    公开(公告)号:CN106971941A

    公开(公告)日:2017-07-21

    申请号:CN201610849869.2

    申请日:2016-09-26

    Abstract: 本发明提供一种能够更切实地抑制显影的进行量由于基板上的位置的不同而产生偏差的基板处理方法和基板处理装置。基板处理方法包括:在使晶圆以第一转速旋转、使接液面与晶圆的表面相对的状态下,从喷出口向晶圆的表面供给显影液,一边使接液面与显影液接触一边使喷嘴移动,从而在晶圆的表面上形成显影液的液膜;在液膜形成在晶圆的表面上之后,在来自喷出口的显影液的供给停止了的状态下,以比第一转速低的第二转速使晶圆旋转;在以第二转速使晶圆旋转之后,以比第一转速高的第三转速使晶圆旋转;在以第三转速使晶圆旋转之后,使晶圆的转速为第二转速以下,从而在晶圆的表面上保持液膜。

    覆膜血管支架
    60.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105559944B

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201510929040.9

    申请日:2015-12-14

    Applicant: 李雷

    Inventor: 李雷

    Abstract: 本发明公开了一种覆膜血管支架,该覆膜血管支架包括模拟血管形状的第一层覆膜和套装在所述第一层覆膜的外部的支架骨架,所述支架骨架的至少部分外表面包覆有第二层覆膜;所述第一层覆膜和所述第二层覆膜相结合,使得所述支架骨架的至少部分包覆在所述第一层覆膜和所述第二层覆膜之间,其中,所述第一层覆膜和/或所述第二层覆膜为聚偏氟乙烯树脂覆膜。该覆膜支架的聚偏氟乙烯树脂覆膜降低了成本,并且具有良好的力学性能和生物性能。

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