公开(公告)号：CN102765871A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201210228494.X

申请日：2012-04-11

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  上田哲司 ,  江崎正信

IPC: C03B20/00

CPC classification number: G03F1/24 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/64 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C4/08 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/42 ,  G03F1/50

Abstract: 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及制造方法。在掺杂二氧化钛的石英玻璃的EUV反射表面上，在将反射表面的中心处的原点(O)连接到双折射测量点(A)的直线与测量点(A)处的双折射快轴之间的角度(θ)具有大于45度的平均值。由于双折射的快轴是以同心的方式分布，因此得到具有高平整度的掺杂二氧化钛的石英玻璃衬底，该衬底适用于EUV光刻中。

公开(公告)号：CN102583974A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201110372600.7

申请日：2011-09-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  关泽修 ,  柳泽直树

IPC: C03B20/00 ,  G03F1/22

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/64 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/42

Abstract: 本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃：通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气，使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛精细颗粒，在旋转靶上沉积二氧化硅-二氧化钛精细颗粒，及同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。缩回靶以保证锭生长前沿距离燃烧器喷嘴至少250mm。

公开(公告)号：CN101959818A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980107137.4

申请日：2009-02-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1461 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其在使用高EUV能量的光辐照时的线性热膨胀系数基本为零，适合作为EUVL用曝光工具的光学部件。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的卤素含量为100ppm以上；假想温度为1100℃以下；在20至100℃范围内的平均线性热膨胀系数为30ppb/℃以下；线性热膨胀系数为0±5ppb/℃时的温度宽度ΔT为5℃以上；线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于30至150℃的范围内。

公开(公告)号：CN101460416A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200780001434.1

申请日：2007-08-23

Applicant: 东洋玻璃株式会社

Inventor： 一濑智美 ,  阿知波彻 ,  泽藤浩一

IPC: C03B37/016 ,  C03B8/02 ,  G02B3/00

CPC classification number: G02B3/0087 ,  C03B19/12 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2203/26 ,  C03C1/006 ,  Y02P40/57

Abstract: 一种GRIN透镜的制作方法，包括以下步骤：用以硅的醇盐、掺杂剂的醇盐及铝的醇盐为主要成分的醇溶液制作湿凝胶的步骤；通过固液萃取从所述湿凝胶外周面使掺杂剂及铝溶出而赋予梯度折射率的步骤；使所述湿凝胶干燥来制作干凝胶的步骤；对所述干凝胶进行焙烧而形成母材的步骤；对所述母材进行拔丝的步骤。在固液萃取的步骤中，大部分的铝从湿凝胶溶出，干凝胶的气孔率变大，能防止焙烧时的裂纹和拔丝时的气泡。采用本发明，能在利用溶胶－凝胶法的GRIN透镜的制作中防止拔丝时的气泡，并使拔丝操作易于进行而提高成品率。

公开(公告)号：CN101318768A

公开(公告)日：2008-12-10

申请号：CN200810098674.4

申请日：2008-06-06

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/078 ,  G03F7/00

CPC classification number: C03B19/1423 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明为用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在纳米压印光刻法中，在波长365nm具有最高为10％的内部透射率分布的掺杂二氧化钛的石英玻璃适合作为纳米压印模具使用。

公开(公告)号：CN100437173C

公开(公告)日：2008-11-26

申请号：CN200410083764.8

申请日：2004-10-19

Applicant: 奥普托内斯特公司 ,  光州科学技术院

Inventor： 韩元泽 ,  金伦贤 ,  安泰政

IPC: G02B6/134 ,  G02B6/13

CPC classification number: C03B37/01838 ,  C03B37/01433 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/42 ,  C03C13/046 ,  C03C25/601

Abstract: 本发明公开了一种制造掺杂还原的金属离子和/或稀土离子的光学纤维或光学设备的方法，包括步骤：在用于制造光学纤维或光学设备的基材中形成部分烧结细结构；在所选时间内将细结构浸入包含还原剂以及金属离子和稀土离子的掺杂溶液；干燥其中金属离子和/或稀有离子已被浸入的细结构；和加热该细结构使得细结构被烧结。

公开(公告)号：CN1356277A

公开(公告)日：2002-07-03

申请号：CN01133545.9

申请日：2001-10-10

Applicant: 长飞光纤光缆有限公司

Inventor： 童维军 ,  王铁军 ,  曹宇青 ,  谢康

IPC: C03B37/01 ,  C03B20/00 ,  C03B37/018 ,  C03B37/027 ,  C03C13/04 ,  G02B6/10

CPC classification number: C03B37/01211 ,  C03B37/01291 ,  C03B2201/42

Abstract: 本发明公开了一种采用掺钛外包层制造高强度抗疲劳光波导纤维的工艺,它由以下步骤组成:1)采用溶胶－凝胶法合成掺钛石英微粉;2)将掺钛石英微粉制成掺钛石英玻璃管;3)采用等离子体化学气相沉积工艺制备芯棒;4)采用套管法合成光纤预制棒;5)将光纤预制棒采用套管法拉丝工艺进行拉丝,即得高强度抗疲劳光波导纤维。它解决了现有工艺掺钛过程和制棒过程在同一设备上进行,需对原设备进行较大改进,投资大,而且钛的沉积效率较低的问题。采用本发明可以增加光纤的抗拉强度和抗疲劳性能。

公开(公告)号：CN105271649B

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201510427428.9

申请日：2015-07-20

Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司

Inventor： 马尔特·斯威林 ,  马丁·特罗姆尔 ,  斯特芬·兹瓦格

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03B19/066 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B23/045 ,  C03B23/095 ,  C03B23/099 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01453 ,  C03B37/0146 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/36 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/46

Abstract: 本发明涉及生产掺杂石英玻璃的方法。此外，本发明涉及根据所述方法能够获得的石英玻璃及其在光学领域中的应用，例如用作光学组件。

公开(公告)号：CN107922235A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680048713.2

申请日：2016-08-18

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： D·L·巴特勒 ,  M·J·德内卡 ,  D·W·霍托夫 ,  D·R·鲍尔斯 ,  P·坦登

IPC: C03B19/14 ,  C03C17/02 ,  C03C23/00 ,  C03C13/04 ,  G02B6/132 ,  C03C27/10 ,  C03C17/34

CPC classification number: C03B19/1492 ,  B32B17/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01466 ,  C03B2201/02 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/42 ,  C03B2203/12 ,  C03B2207/20 ,  C03C13/045 ,  C03C17/02 ,  C03C17/3417 ,  C03C23/0025 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/08 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  G02B6/00 ,  G02B6/132

Abstract: 本文公开了分层玻璃结构和制造方法。所述方法包括使烟炱沉积在致密玻璃基材上以形成复合结构，并且烧结该复合结构以形成分层玻璃结构。致密玻璃基材可由已改性成包含平面表面的光纤预制件来得到。复合结构可包含一个或更多个烟炱层。分层玻璃结构可通过结合多个复合结构以形成堆叠、随后对该堆叠进行烧结和熔合来形成。可将分层玻璃结构进一步加热至软化，并且进行拉制以控制线性尺寸。分层玻璃结构或拉制的分层玻璃结构可配置成平面波导。

公开(公告)号：CN105189377B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201480008373.1

申请日：2014-02-07

Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司

Inventor： 海因茨·费边 ,  斯蒂芬·托马斯

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1415 ,  C03B19/14 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/34 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40

Abstract: 用于制造钛掺杂合成石英玻璃的已知方法，包括以下工序步骤：(A)提供液态SiO2原材料(105)，其包含大于60重量％的聚烷基硅氧烷D4；(B)蒸发所述液态SiO2原材料(105)，以产生气态SiO2原料气(107)；(C)蒸发液态TiO2原材料(205)，以产生气态TiO2原料气(207)；(D)分别将SiO2原料气(107)和TiO2原料气转化为SiO2颗粒和TiO2颗粒；(E)将所述SiO2颗粒和TiO2颗粒沉积在沉积表面(160)上，同时形成钛掺杂的SiO2烟灰体(200)；(F)玻璃化所述钛掺杂的SiO2烟灰体，同时形成合成石英玻璃，其中所述合成石英玻璃的TiO2浓度在5重量％至11重量％之间。根据本发明的范围，液态SiO2原材料(105)包括至少一种由聚烷基硅氧烷D3构成的额外组分，其重量分数为mD3，以及一种由聚烷基硅氧烷D5构成的额外组分，其重量分数为mD5，重量比mD3/mD5的范围在0.01至1之间，并且所提供的液态SiO2原材料(105)被蒸发，同时保持重量比mD3/mD5，并且其至少99重量％被蒸发以形成气态SiO2原料气(107)。