公开(公告)号：WO2008130975A1

公开(公告)日：2008-10-30

申请号：PCT/US2008/060436

申请日：2008-04-16

Applicant: APPLIED MATERIALS, INC. ,  YUAN, Jie ,  SUN, Jennifer Y. ,  DUAN, Renguan

Inventor： YUAN, Jie ,  SUN, Jennifer Y. ,  DUAN, Renguan

IPC: H01L21/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/54 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68757 ,  Y02P40/57 ,  Y10S156/915

Abstract: A method of fabricating doped quartz component is provided herein. In one embodiment, the doped quartz component is a yttrium doped quartz ring configured to support a substrate. In another embodiment, the doped quartz component is a yttrium and aluminum doped cover ring. In yet another embodiment, the doped quartz component is a yttrium, aluminum and nitrogen containing cover ring.

Abstract translation: 本文提供了一种制造掺杂石英组分的方法。 在一个实施例中，掺杂的石英组件是被配置为支撑衬底的掺钇的石英环。 在另一个实施例中，掺杂的石英组件是掺钇和铝的覆盖环。 在另一个实施方案中，掺杂的石英组分是含钇，铝和氮的覆盖环。

公开(公告)号：WO2006038349A1

公开(公告)日：2006-04-13

申请号：PCT/JP2005/010605

申请日：2005-06-09

Applicant: 信越石英株式会社 ,  佐藤 龍弘 ,  吉田 宜正 ,  遠藤 護

Inventor： 佐藤 龍弘 ,  吉田 宜正 ,  遠藤 護

IPC: C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/09 ,  C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/40

Abstract: 　半導体製造に用いられるプラズマ反応用治具材料として、プラズマ耐食性、特にＦ系プラズマガスに対する耐食性に優れ、シリコンウエーファにも異常を与えないで使用可能な石英ガラス及び石英ガラス治具並びにそれらの製造方法を提供する。２種類以上の金属元素を併せて０．１～２０ｗｔ％含有する石英ガラスであって、該金属元素が周期律表第３Ｂ族から選ばれた少なくとも１種類である第１の金属元素と、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、ランタノイド及びアクチノイドからなる群から選ばれた少なくとも１種類である第２の金属元素からなり、第２の金属元素の個々の最大濃度が、２．０ｗｔ％以下であるようにした。                                                                       

Abstract translation: 作为半导体制造中用于等离子体反应的夹具材料的石英玻璃，具有优异的等离子体耐腐蚀性，特别是对F系等离子体气体的耐腐蚀性，可以在不引起硅晶片异常的情况下使用; 相关石英玻璃夹具; 以及生产它们的过程。 提供总量为0.1〜20重量％的两种以上金属元素的石英玻璃，其中金属元素由选自第3B族中的至少一种的第一金属元素构成 和由选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素中的至少一种构成的第二金属元素，条件是最大浓度 的每个第二金属元素= 2.0重量％。

公开(公告)号：WO01099244A1

公开(公告)日：2001-12-27

申请号：PCT/JP2001/005312

申请日：2001-06-21

IPC: G02B6/00 ,  C03C3/06 ,  C03C13/04 ,  G02B6/036 ,  H01S3/06 ,  H01S3/067 ,  H01S3/10 ,  C03B13/04

CPC classification number: G02B6/03644 ,  C03C3/06 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03633 ,  H01S3/0672 ,  H01S3/06729

Abstract: A light amplifying optical fiber capable of restricting a reduction in amplifying efficiency and non-linearity caused by the concentration quenching of erbium ions. At least one of rare earth elements, having an ion radius at least 70% and up to 130% of that of erbium and excluding erbium, for example, Yb, is added to the core portion of an erbium-ion-added light amplifying optical fiber.

Abstract translation: 一种能够限制由铒离子浓度猝灭引起的放大效率和非线性降低的光放大光纤。 至少有一种稀土元素，其离子半径至少70％，高达铒的130％，不包括铒，例如Yb，添加到铒离子添加光放大光学芯的核心部分 纤维。

公开(公告)号：KR100689889B1

公开(公告)日：2007-03-08

申请号：KR1020057016843

申请日：2005-06-09

Applicant: 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤

Inventor： 사토,다츠히로 ,  요시다노부마사 ,  엔도마모루

IPC: C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/01 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/09 ,  C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/40

Abstract: 반도체 제조에 사용되는 플라즈마 반응용 지그 재료로서 플라즈마 내식성, 특히 불소계 플라즈마 가스에 대한 내식성이 우수하고, 실리콘 웨이퍼에도 이상을 주지 않고 사용 가능한 석영유리 및 석영유리 지그, 또한 그 제조방법을 제공한다. 2종류 이상의 금속원소를 합해서 0.1~20중량% 함유하는 석영유리로서, 상기 금속원소가 주기율표 제 3B족에서 선택된 적어도 1종류인 제 1의 금속원소와, Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, 란타노이드 및 악티노이드로 이루어진 군에서 선택된 적어도 1종류인 제 2의 금속원소로 이루어지고, 제 2의 금속원소 각각의 최대농도는 2.0중량% 이하가 되도록 했다.
플라즈마, 내식성, 석영유리, 지그, 실리콘 웨이퍼

公开(公告)号：US20150197688A1

公开(公告)日：2015-07-16

申请号：US14411332

申请日：2013-06-25

Applicant: Heraeus Quarzglas GmbH & Co., KG

Inventor： Mario Such ,  Gerhard Schoetz ,  Andreas Langner

IPC: C09K11/77 ,  C09K11/02

CPC classification number: C09K11/7706 ,  C01B33/18 ,  C03B19/066 ,  C03B2201/06 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C1/006 ,  C03C3/06 ,  C03C3/061 ,  C03C4/12 ,  C03C2201/06 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C09K11/025

Abstract: The invention relates to a method for producing a doped SiO2 slurry in which an SiO2 suspension is brought into interaction with at least one doping solution, wherein the SiO2 suspension and/or the doping solution act on one another in the form of an atomised spray, the average droplet diameter of which is in the range between 10 μm and 100 μm. The invention further relates to the use of an SiO2 slurry doped by the atomised spray method for the production of doped quartz glass, particularly for the production of laser-active quartz glass.

Abstract translation: 本发明涉及一种制备掺杂SiO 2浆料的方法，其中SiO 2悬浮液与至少一种掺杂溶液相互作用，其中SiO 2悬浮液和/或掺杂溶液以雾化喷雾的形式彼此作用， 其平均液滴直径在10μm和100μm之间的范围内。 本发明还涉及通过雾化喷雾方法掺杂的SiO 2浆料用于生产掺杂石英玻璃的用途，特别是用于生产激光活性石英玻璃。

公开(公告)号：US08363313B2

公开(公告)日：2013-01-29

申请号：US12907622

申请日：2010-10-19

Applicant: Teruno Nakaguma ,  Kentaro Ichii ,  Shoji Tanigawa

Inventor： Teruno Nakaguma ,  Kentaro Ichii ,  Shoji Tanigawa

IPC: H01S3/067 ,  C03C13/04 ,  C03C3/04 ,  G02B6/02 ,  C03C4/08

CPC classification number: H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  G02B6/03605 ,  G02B6/03633 ,  G02B6/03638 ,  G02B6/03644 ,  G02B6/03661 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1691 ,  H01S3/1693

Abstract: An ytterbium-doped optical fiber of the present invention includes: a core which contains ytterbium, aluminum, and phosphorus and does not contain germanium; and a cladding which surrounds this core. The ytterbium concentration in the core in terms of ytterbium oxide is 0.09 to 0.68 mole percent. The molar ratio between the phosphorus concentration in the core in terms of diphosphorus pentoxide and the above ytterbium concentration in terms of ytterbium oxide is 3 to 30. The molar ratio between the aluminum concentration in the core in terms of aluminum oxide and the above ytterbium concentration in terms of ytterbium oxide is 3 to 32. The molar ratio between the above aluminum concentration in terms of aluminum oxide and the above phosphorus concentration in terms of diphosphorus pentoxide is 1 to 2.5.

Abstract translation: 本发明的镱掺杂光纤包括：含有镱，铝和磷并且不含锗的芯; 以及围绕该芯的包层。 以镱氧化物计，核心中的镱浓度为0.09〜0.68摩尔％。 以氧化镱表示的核心中的磷浓度与上述镱的氧化镱浓度之间的摩尔比为3〜30。以氧化铝计的核心中的铝浓度与上述镱的浓度 氧化镱的数量为3〜32。以氧化铝计的上述铝浓度与上述磷浓度之间的摩尔比为1〜2.5。

公开(公告)号：US08156761B2

公开(公告)日：2012-04-17

申请号：US13023262

申请日：2011-02-08

Applicant: Tatsuhiro Sato

Inventor： Tatsuhiro Sato

IPC: C03B19/00 ,  C03B19/01 ,  C03B19/09 ,  C03B19/06 ,  C03C3/06 ,  C03C3/11 ,  C03C3/112

CPC classification number: C03C1/00 ,  C03B19/063 ,  C03B32/005 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/36 ,  C03C3/06 ,  C03C3/112 ,  C03C4/20 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2201/26 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2201/36

Abstract: A mixed quartz powder contains quartz powder and two or more types of doping element in an amount of from 0.1 to 20 mass %. The aforementioned doped elements include a first dope element selected from the group consisting of N, C and F, and a second dope element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, the lanthanides and the actinides. The “quartz powder” is a powder of crystalline quartz or it is a powder of glassy SiO2 particles. It is made form natural occurring quartz or it is fabricated synthetically. The “quartz powder” may be doped. The compounding ratio of the total amount (M1) of the aforementioned first elements and the total amount (M2) of the aforementioned second elements as the ratio of the number of atoms (M1)/(M2) is preferably from 0.1 to 20. Al as well as the aforementioned doped elements is preferably included in a mixed quartz powder of this invention.

Abstract translation: 混合石英粉含有0.1〜20质量％的石英粉和2种以上的掺杂元素。 上述掺杂元素包括选自N，C和F的第一掺杂元素和选自Mg，Ca，Sr，Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf的第二掺杂元素， 镧系元素和锕系元素。 “石英粉”是结晶石英粉，或是玻璃状SiO 2粉末的粉末。 它由天然石英制成，或者由合成制成。 可以掺杂“石英粉”。 上述第一元素的总量（M1）与上述第二元素的总量（M2）的配位比优选为0.1〜20。作为原子数（M1）/（M2）的比例，优选为0.1〜20。 以及上述掺杂元素优选包括在本发明的混合石英粉末中。

公开(公告)号：US20110232847A1

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：US12671903

申请日：2008-07-24

Applicant: Tatsuhiro Sato ,  Kyoichi Inaki

Inventor： Tatsuhiro Sato ,  Kyoichi Inaki

IPC: H01L21/683 ,  C23F1/08

CPC classification number: C03B19/01 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/54 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/36 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/68757 ,  Y02P40/57

Abstract: Provided is a doped quartz glass member for plasma etching, which is used in a plasma etching process and is free from any problematic fluoride accumulation during use. The quartz glass member for plasma etching is used as a jig for semiconductor production in a plasma etching process, and includes at least two or more kinds of metal elements in a total amount of 0.01 wt % or more to less than 0.1 wt %, in which the metal elements are formed of at least one kind of a first metal element selected from metal elements belonging to Group 3B of the periodic table and at least one kind of a second metal element selected from the group consisting of Mg, Ca, Sr, Ba, Sc, Y, Ti, Zr, Hf, lanthanoids, and actinoids.

Abstract translation: 提供了用于等离子体蚀刻的掺杂石英玻璃构件，其用于等离子体蚀刻工艺中，并且在使用期间没有任何有问题的氟化物积聚。 用于等离子体蚀刻的石英玻璃构件用作等离子体蚀刻工艺中的半导体制造的夹具，并且包括总量为0.01重量％以上至小于0.1重量％的至少两种以上的金属元素， 金属元素由选自属于周期表第3B族的金属元素中的至少一种第一金属元素和选自Mg，Ca，Sr等的至少一种第二金属元素形成， Ba，Sc，Y，Ti，Zr，Hf，镧系元素和锕系元素。

公开(公告)号：US07637126B2

公开(公告)日：2009-12-29

申请号：US10582117

申请日：2004-11-30

Applicant: Rainer Koeppler ,  Bodo Kuehn ,  Waltraud Werdecker ,  Ulrich Kirst ,  Walter Lehmann

Inventor： Rainer Koeppler ,  Bodo Kuehn ,  Waltraud Werdecker ,  Ulrich Kirst ,  Walter Lehmann

IPC: C03B37/075

CPC classification number: C03C4/0071 ,  C03B19/06 ,  C03B19/063 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1005 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/108 ,  C03B19/1095 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/34 ,  C03C1/026 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/22 ,  C03C2203/30 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52

Abstract: The invention relates to a method for the economic production of a blank for a component made from laser-active quartz glass in any form or dimension. The method comprises the following method steps: a) preparation of a dispersion with a solids content of at least 40 wt. %, comprising SiO2 nanopowder and doping agents, including a cation of the rare earth metals and transition metals in a fluid, b) granulation by agitation of the dispersion, with removal of moisture to form a doped SiO2 granulate of spherical porous granular particles with a moisture content of less than 35 wt. % and a density of at least 0.95 g/cm3, c) drying and purification of the SiO2 granulate, by heating to a temperature of at least 1000° C. to form doped porous SiO2 grains with an OH content of less than 10 ppm and d) sintering or fusing the doped SiO2 grains in a reducing atmosphere to give the blank made from doped quartz glass.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于经济地生产用于由任何形式或尺寸的激光 - 活性石英玻璃制成的部件的坯料的方法。 该方法包括以下方法步骤：a）制备固体含量为至少40wt。 ％，包括SiO 2纳米粉末和掺杂剂，其包括流体中的稀土金属和过渡金属的阳离子，b）通过搅拌分散体制粒，除去水分以形成掺杂的SiO 2颗粒的球形多孔颗粒，其具有 含水量小于35wt。 ％和密度至少为0.95g / cm 3，c）通过加热到至少1000℃的温度来干燥和纯化SiO 2颗粒，以形成OH含量低于10ppm的掺杂多孔SiO 2颗粒，以及 d）在还原气氛中烧结或熔融掺杂的SiO 2晶粒，得到由掺杂的石英玻璃制成的坯料。

公开(公告)号：US07440672B2

公开(公告)日：2008-10-21

申请号：US10514102

申请日：2003-05-13

Applicant: Young-beom Seo ,  Jae-hong Lim ,  Dae-weon Kim

Inventor： Young-beom Seo ,  Jae-hong Lim ,  Dae-weon Kim

IPC: G02B6/00 ,  H01S3/00 ,  H04B10/12

CPC classification number: C03C13/045 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/36 ,  H01S3/06754

Abstract: The present invention relates to an optical fiber for an optical amplifier and a method for manufacturing the same, which can be applied to an optical transmission system in the S-band area (4130 nm-1530 nm). According to the present invention, silica is used as a base material and the optical fiber for an optical amplifier contains Tm3+ ions and metal ions in a first core layer formed on an inner surface of a second core layer using the MCVD (Modified Chemical Vapor Deposition) method and a solution doping method whereby the practicability and productivity of the optical fiber are remarkably improved.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于光放大器的光纤及其制造方法，其可应用于S波段区域（4130nm-1530nm）中的光传输系统。 根据本发明，使用二氧化硅作为基材，光放大用光纤在使用MCVD（改性化学气相沉积）的第二芯层的内表面上形成的第一芯层中含有Tm3 +离子和金属离子 ）方法和溶液掺杂方法，从而显着提高了光纤的实用性和生产率。