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公开(公告)号：KR101316568B1
公开(公告)日：2013-10-15
申请号：KR1020120026046
申请日：2012-03-14
Applicant: 한국식품연구원
IPC: G01N21/35
CPC classification number: G01N21/3581 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N2201/06113 , G01N2201/1045 , G01N2201/105 , G02B3/00 , H01Q15/08
Abstract: 본 발명은 테라헤르츠파 영역의 광원을 이용하여 비파괴적인 방법으로 높은 검출 분해능을 가진 물체 검사 장치 및 이에 포함된 포커싱 렌즈를 개시한다. 본 발명에 따른 물체 검사 장치는, 테라파를 생성하여 시간에 따라 경로를 이동시키며 상기 테라파를 피검물로 공급하는 테라파 공급부; 상기 테라파 공급부와 상기 피검물 사이에 위치하여, 상기 테라파 공급부에 의해 공급되는 테라파를 포커싱하는 포커싱 렌즈; 플레이트 형태로 구성되어 중심으로부터 거리를 달리하는 상기 포커싱 렌즈를 다수 개 구비하며, 상기 테라파의 경로 이동에 따라 어느 하나의 포커싱 렌즈가 상기 테라파의 진행 경로에 위치하도록 원주 방향으로 회전하는 회전판; 및 상기 피검물에 입사된 테라파를 수집하여 검출하는 테라파 검출부를 포함한다.
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公开(公告)号：JP2018516356A
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：JP2017547985
申请日：2016-03-08
Applicant: レニショウ パブリック リミテッド カンパニー , RENISHAW PUBLIC LIMITED COMPANY
Inventor： ティモシー スミス , リチャード ジョン ブラックウェル−ホワイトヘッド
CPC classification number: G01J3/44 , G01J3/06 , G01J2003/064 , G01N21/65 , G01N2201/103 , G01N2201/1045 , G01N2201/1087 , G02B21/002
Abstract: この発明は、光プロファイル(110)を試料(102)に生じさせるための光源(101)と、少なくとも1つの光検出素子(103a)を有する光検出器(103)と、試料(102)を通って伝播するラマン散乱光を集め、このラマン散乱光を少なくとも1つの光検出素子(103a)に導くように配置された収集光学機器(104)と、試料(102)を支持するための支持体(109)とを具えた透過ラマン分光装置に関する。少なくとも1つの光検出素子(103a)が試料(102)の光プロファイル(110)の異なる場所に生ずるラマン散乱光を受け入れるように、支持体(102)および光源(101)は、試料(102)に対して光プロファイル(110)を動かすことができるように設けられている。
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53.发明专利System and method for double-sided optical inspecting thin-film disc or wafer 有权用于双面光学检测薄膜片或波长的系统和方法
公开(公告)号：JP2005214966A
公开(公告)日：2005-08-11
申请号：JP2005001750
申请日：2005-01-06
Applicant: Candela Instruments , カンデラ インスツルメンツ
Inventor： MEEKS STEVEN W
IPC: G01B11/30 , G01B11/06 , G01N21/21 , G01N21/47 , G01N21/95 , G01N21/956 , G01N21/958 , G11B5/84 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/9506 , G01B11/0616 , G01B11/0641 , G01B11/065 , G01B11/303 , G01B11/306 , G01N21/21 , G01N21/47 , G01N21/9501 , G01N21/958 , G01N2021/8427 , G01N2021/8841 , G01N2201/103 , G01N2201/104 , G01N2201/1045 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a double-sided optical inspecting system for detecting and classifying particles, pits, or scratches on a thin-film disk or on a wafer, with a single scan on the surface. SOLUTION: A pair of laser beams, projected so as to be orthogonal are used, such that one of the pair is used in the radial direction of the wafer or the thin-film disk, and the other is used in the circumferential direction. The lights, scattered from the radial direction and the circumferential direction are separated by using a dichroic mirror, together with a polarized light or different laser wavelength. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种双面光学检测系统，用于在表面上进行单次扫描来在薄膜盘或晶片上检测和分类颗粒，凹坑或划痕。
解决方案：使用投影为正交的一对激光束，使得一对激光束沿晶片或薄膜盘的径向使用，另一个用于圆周 方向。 通过使用分色镜与偏振光或不同的激光波长分离从径向和圆周方向散射的光。 版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI
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公开(公告)号：KR1020130104508A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：KR1020120026046
申请日：2012-03-14
Applicant: 한국식품연구원
IPC: G01N21/35
CPC classification number: G01N21/3581 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N2201/06113 , G01N2201/1045 , G01N2201/105 , G02B3/00 , H01Q15/08
Abstract: PURPOSE: A high-resolution object testing device using terahertz waves is provided to focus all terahertz waves supplied to a target object by positioning a focusing lens on a projecting position, thereby improving the performance of testing the target object. CONSTITUTION: A high-resolution object testing device using terahertz waves (1) includes a terahertz wave supply unit (100), a focusing lens (200), a rotary plate (300), and a terahertz wave detecting unit. The terahertz wave supply unit generates terahertz waves and moves a route of the terahertz waves according to time and supplies the terahertz waves to a target object (10). The focusing lens is arranged between the terahertz supply unit and the target object and focuses the terahertz waves supplied by the terahertz wave supply unit. The rotary plate is formed into a plate shape and includes a plurality of focusing lenses having different distances from the center. The rotary plate is rotated in the circumferential direction so that at least one focusing lens is arranged on a progressing route of the terahertz waves. The terahertz wave detecting unit detects the terahertz waves which are incident into the target object. [Reference numerals] (100) Terahertz wave supply unit
Abstract translation: 目的：提供使用太赫兹波的高分辨率物体测试装置，通过将聚焦透镜放置在投影位置来聚焦提供给目标物体的所有太赫兹波，从而提高测试目标物体的性能。 构成：使用太赫兹波（1）的高分辨率物体测试装置包括太赫兹波供应单元（100），聚焦透镜（200），旋转板（300）和太赫兹波检测单元。 太赫波提供单元产生太赫兹波，并根据时间移动太赫兹波的路线，并将太赫兹波提供给目标物体（10）。 聚焦透镜布置在太赫兹供电单元和目标物体之间，并且聚焦由太赫波供电单元提供的太赫兹波。 旋转板形成为板状，并且具有与中心不同的距离的多个聚焦透镜。 旋转板在圆周方向上旋转，使得至少一个聚焦透镜布置在太赫兹波的进行路线上。 太赫兹波检测单元检测入射到目标物体中的太赫兹波。 （附图标记）（100）太赫兹波供给单元
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公开(公告)号：EP2827128A1
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：EP12871347.6
申请日：2012-04-10
Applicant: Korea Food Research Institute
Inventor： CHUN, Hyang-Sook , CHOI, Sung-Wook , CHANG, Hyun-Joo , LEE, Na-Ri , OK, Gyeong-Sik
CPC classification number: G01N21/3581 , G01N21/8806 , G01N21/94 , G01N2201/06113 , G01N2201/1045 , G01N2201/105 , G02B3/00 , H01Q15/08
Abstract: An object inspection apparatus includes a terahertz wave supplying unit for generating a terahertz wave and moving a path of the terahertz wave according to time so that the terahertz wave is supplied to an object to be inspected, a focusing lens located between the terahertz wave supplying unit and the object to be inspected to focus the terahertz wave supplied by the terahertz wave supplying unit, a rotating plate having a plate shape and including a plurality of the focusing lenses with different distances from the center thereof, the rotating plate rotating in the circumferential direction so that one of the focusing lenses is located at a path of the terahertz wave according to the path movement of the terahertz wave, and a terahertz wave detecting unit for collecting and detecting a terahertz wave incident to the object to be inspected.
Abstract translation: 物体检查装置包括：太赫波提供单元，用于产生太赫兹波，并根据时间移动太赫兹波的路径，使得太赫兹波被提供给被检测物体;聚焦透镜，位于太赫波提供单元 和被检查物体聚焦由太赫兹波供给单元提供的太赫兹波，具有板形的旋转板，并且包括多个离其中心距离不同的聚焦透镜，旋转板沿圆周方向旋转 使得一个聚焦透镜根据太赫兹波的路径移动位于太赫兹波的路径处，并且用于收集和检测入射到待检查对象的太赫兹波的太赫兹波检测单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：EP0524348A1
公开(公告)日：1993-01-27
申请号：EP91122162.0
申请日：1991-12-23
Applicant: TENCOR INSTRUMENTS
Inventor： Malin, Cosmas, Dipl.-Ing. , Steigmeier, Edgar F., Dr. Ing. , Nesensohn, Thomas , Sawatzki, Harry L. , Auderset, Heinrich
CPC classification number: G01M11/0278 , G01N21/93 , G01N21/9501 , G01N21/9503 , G01N2021/8822 , G01N2021/8867 , G01N2021/8907 , G01N2201/1045
Abstract: Mit dieser Einrichtung lassen sich Oberflächen zerstörungsfrei und ganzflächig auf Defekte und Kontaminationen untersuchen, wobei sowohl mikroskopisch kleine punkt- oder linienförmige Defekte als auch feinste makroskopische Inhomogenitäten erfasst werden. Zu diesem Zweck ist im Strahlengang zwischen Lichtquelle (2) und Objektiv (9) ein astigmatisches Linsensystem (5) angeordnet, das ein zigarrenförmiges Zwischenbild (31) erzeugt, wobei in Abhängigkeit von dem Zwischenbild (31) der Vorschub beim Abtasten der Oberfläche (10) der auf diese Oberfläche (10) projizierten Länge des Zwischenbildes (31) entspricht. Eine im Strahlengang zwischen Linsensystem (5) und Objektiv (9) angeordnete Dunkelfeldstop-Baugruppe (18) mit einer einstellbaren Dunkelfeldumlenkung (8) , richtet den Beleuchtungsstrahl (1) nach der Umlenkung exakt zentrisch im rechten Winkel durch das Objektiv (9) auf die Oberfläche (10) . Das von der Oberfläche (10) abgestrahlte, im Objektiv (9) gesammelte Licht ist auf einen Photodetektor (19) gerichtet. Eine Auswerteelektronik (21) zerlegt die verstärkten Ausgangssignale des Photodetektors (19) in Messwerte, die von punktförmigen, linienförmigen und flächenförmigen Defekten herrühren. Die Auswerteelektronik (21) ist über eine Recheneinheit (22) mit Peripheriegeräten (23, 24, 25) verbunden, mittels welchen die Gesamtheit aller Messwerte einer Messung dargestellt werden kann.
Abstract translation: 可以使用该装置在整个区域上以非破坏性方式检查表面的缺陷和污染物，微观上小的点状或线性缺陷以及正在检测的最佳的宏观不均匀性。 为此，在光源（2）和透镜（9）之间的光束路径中布置产生雪茄状中间像（31）的像散透镜系统（5），在扫描表面（10 ）对应于所述中间图像（31）的长度的函数，投影到所述中间图像（31）的所述表面（10）上。 布置在透镜系统（5）和透镜（9）之间的光束路径中并且具有可调整的暗场偏转系统（8）的暗场子组件（18）引导照射光束（1） 通过透镜（9）以正确的角度精确地中心偏转到表面（10）上。 从表面（10）发射并收集在透镜（9）中的光被引导到光电检测器（19）上。 评估电子系统（21）将光电检测器（19）的放大的输出信号分解成来自扁平，线性和平面缺陷的测量值。 评估电子系统（21）经由计算机单元（22）连接到外围设备（23,24,25），通过它们可以表示测量的所有测量值的总和。
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57.发明授权
公开(公告)号：EP0249799B1
公开(公告)日：1992-01-22
申请号：EP87107992.7
申请日：1987-06-03
Applicant: Battelle-Institut e.V.
Inventor： Schmalfuss, Harald, Dr. , Sinsel, Friedel , Bolz, Reinhold
CPC classification number: G01M11/0278 , G01N21/88 , G01N21/8851 , G01N21/958 , G01N2021/4719 , G01N2021/9511 , G01N2201/06113 , G01N2201/065 , G01N2201/1045
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公开(公告)号：EP0146005B1
公开(公告)日：1991-08-28
申请号：EP84114161.7
申请日：1984-11-23
Applicant: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
Inventor： Ogawa, Shigeru c/o Patent Division , Yamaji, Hiroshi c/o Patent Division , Kano, Masaaki c/o Patent Division
IPC: G01N21/88
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/94 , G01N2201/065 , G01N2201/1045
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59.发明公开Vorrichtung zum Beleuchten von Bauteilen aus transparentem Material bei der Fehlerprüfung 失效装置，用于在错误检查由透明材料制成的部件的照明。
公开(公告)号：EP0249800A2
公开(公告)日：1987-12-23
申请号：EP87107993.5
申请日：1987-06-03
Applicant: Battelle-Institut e.V.
Inventor： Schmalfuss, Harald, Dr. , Sinsel, Friedel , Bolz, Reinhold
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N2021/9511 , G01N2201/1045
Abstract: Bei der Prüfung von Bauteilen (6) aus transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse wird zum Beleuchten eine Vorrichtung verwendet, bei der das zu prüfende Bauteil um seine Achse drehbar angeordnet ist und mittels eines bewegten Lichtstrahles punktförmig abgetastet wird.
Zur Erzeugung des abtastenden Lichtstrahles dient eine, ein paralleles Lichtbündel (19) erzeugende Lichtquelle (1), vorzugsweise ein Laser (1) und ein dieses Lichtbündel periodisch mit einer gegen die Drehzahl des Bauteils hohen Frequenz linear auslenkender Abtaster (3). In Lichtrichtung gesehen hinter dem Abtaster (3) ist eine Sammellinse (4) vorgesehen, welche als f-Theta-Linse ausgebildet ist und deren Brennpunkt im Drehpunkt (11) des Abtasters liegt. Dadurch wird die winkelmäßige Auslenkung des vom Laser gelieferten Lichtbündels durch den Abtaster hinter der Sammellinse in eine Parallelverschiebung des Lichtbündels zwischen zwei Extrempositionen umgewandelt. Zwischen der Sammellinse (4) und dem zu prüfenden Bauteil (6) ist ein verstellbarer Kippspiegel (5) zur Umlenkung des Lichtbündels auf das Bauteil vorgesehen.Abstract translation: 在部件（6）的表面缺陷和夹杂物的透明材料制成的，用于照射的装置的测试，其中待测试的组件被安装为绕其轴线旋转，并且由点移动的光束进行扫描。 用于产生扫描光束时，平行光束（19）产生光源（1），优选为激光器（1）和具有高抵抗分量频率线性掷扫描器的旋转速度该光束周期性地（3）。 观察在（3）聚光透镜（4）设置在所述取样器，其被设计为一个f-θ透镜，并以扫描仪位于所述枢转点（11）其焦点的下游的光的方向。 因此，从激光通过聚光透镜的下游的采样供给的光束的角偏转被转换成两个极端位置之间的光束的平行位移。 之间的会聚透镜（4）和成分进行测试（6）是用于偏转提供的部件上的光束的可调倾斜反射镜（5）。
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公开(公告)号：US20180045570A1
公开(公告)日：2018-02-15
申请号：US15552752
申请日：2016-03-08
Applicant: RENISHAW PLC
Inventor： Timothy SMITH , Richard John BLACKWELL-WHITEHEAD
CPC classification number: G01J3/44 , G01J3/06 , G01J2003/064 , G01N21/65 , G01N2201/103 , G01N2201/1045 , G01N2201/1087 , G02B21/002
Abstract: A transmission Raman spectroscopy apparatus has a light source for generating a light profile on a sample, a photodetector having at least one photodetector element, collection optics arranged to collect Raman scattered light transmitted through the sample and direct the Raman light onto the at least one photodetector element and a support for supporting the sample. The support and light source are arranged such that the light profile can be moved relative to the sample in order that the at least one photodetector element receives Raman scattered light generated for different locations of the light profile on the sample.
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