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公开(公告)号：CN118366832A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410529394.3
申请日：2024-04-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开一种用于大口径光学元件高洁净离子束刻蚀的装置及方法，属于光学元件加工领域，装置部分包括条形离子源、同质离子束阑、同质保护罩和扫描运动平台。条形离子源用于产生离子束流，同质离子束阑和同质保护罩用于截取所需形状的离子束斑，保护真空腔室内其他部组件免受离子溅射、产生溅射污染；离子束阑和保护罩的材质与光学元件保持一致，可进一步避免产生杂质污染。本装置和方法可用于高功率激光装置中大口径光学元件的高洁净离子刻蚀，避免常规刻蚀引入金属等溅射污染的问题。
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公开(公告)号：CN117751285A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202280038017.9
申请日：2022-09-05
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N23/2251 , H01L21/66 , H01J37/143 , H01J37/09
Abstract: 本公开提供一种检验系统及一种杂散场减轻的方法。所述系统包含电子束柱阵列、第一永久磁铁阵列及多个屏蔽板。所述电子束柱阵列各自包含经配置以朝向载物台发射电子的电子源。所述第一永久磁铁阵列经配置以将来自每一电子源的所述电子会聚成电子束阵列。所述第一永久磁铁阵列布置在所述电子束柱阵列的第一端处。所述多个屏蔽板在所述第一永久磁铁阵列下游在电子发射的方向上跨越所述阵列电子束柱延伸。所述电子束阵列穿过所述多个屏蔽板中的每一者中的多个孔隙，这减少在所述电子束阵列的径向方向上的杂散磁场。
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公开(公告)号：CN116274166A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310200868.5
申请日：2023-03-03
Applicant: 首钢智新迁安电磁材料有限公司
Abstract: 本发明公开了一种阳极光阑的清洁方法和扫描电镜，清洁方法通过关闭扫描电镜的镜内灯丝，泄真空并取出样品，再控制扫描电镜进行抽真空，使扫描电镜的样品室和电子枪室分别达到对应的预设真空度，进一步开启扫描电镜的镜筒烘烤功能，间接控制阳极光阑升温，可以促进附着在阳极光阑上的碳基污染物进行挥发，对样品室和电子枪室继续抽真空，能够将挥发出的碳基污染物抽排出扫描电镜，当镜筒烘烤功能的开启时间达到预设时长时，阳极光阑的碳沉积堵塞的问题已得到了清洁处理，即关闭镜筒烘烤功能。该清洁方法具有方法简单、成本低廉的优势，扫描电镜的使用用户可自行进行操作，有效解决了碳基物污染引起的阳极光阑碳沉积堵塞问题。
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公开(公告)号：CN116264145A
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202111630663.8
申请日：2021-12-28
Applicant: 灿美工程股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种利用带电粒子的样品处理装置，更加详细地，涉及一种为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品进行照射的路径上形成孔隙从而可提高带电粒子向样品传递的效率，并且在孔隙周围设置两个以上的散射防止孔从而提高样品周围的局部的真空度，为了更有效地保持局部真空而形成利用惰性气体的空气幕的利用带电粒子的样品处理装置。
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公开(公告)号：CN116261767A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202180063369.5
申请日：2021-09-15
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: H01J37/09
Abstract: 提出一种用以使用粒子束(112)来分析和/或处理样品(200)的装置(100)，包含样品台(120)，用于保持样品(200)；提供单元(110)，用于提供粒子束(112)，提供单元(110)包含：开口(114)，用于将粒子束(112)引导至样品(200)上的处理位置(202)；以及屏蔽元件(116)，用于屏蔽由累积在样品(200)上的电荷(Q)所产生的电场(E)；其中屏蔽元件(116)覆盖开口(114)、以片状形式实施、并包含导电材料；其中屏蔽元件(116)包含凸起部分(117)，此部分相对于样品台(120)为凸起；以及其中凸起部分(117)具有供粒子束(112)穿过到样品(200)的通孔(118)。
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公开(公告)号：CN116230476A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202111627844.5
申请日：2021-12-28
Applicant: 灿美工程股份有限公司
IPC: H01J37/09
Abstract: 本发明涉及一种利用带电粒子的样品处理装置，更加详细地，涉及一种为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品进行照射的路径上形成孔隙从而可提高带电粒子向样品传递的效率，并且将形成孔隙的孔隙模块以导电性材料构成并在孔隙与样品之间形成电场，通过此调整带电粒子的路径可提高加工及观察的精密度，并且通过多节孔隙板可提高利用带电粒子的加工及观察的精密度。
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公开(公告)号：CN115732295A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211047168.9
申请日：2022-08-29
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/141 , H01J37/26 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及一种粒子束柱，该粒子束柱被配置为生成例如电子或离子的带电粒子的粒子束，并且将粒子束引导到样品上。粒子束柱包括多孔径光阑和偏转系统，该偏转系统用于选择性地引导粒子束通过设置在多孔径光阑中的多个孔径之一。孔径具有不同的大小，以便将粒子束的电流强度限制为不同的值。粒子束柱还包括用于改变在第一光阑的上游的粒子束的发散角的透镜。透镜可以包括磁透镜，该磁透镜包括具有多个部分的磁芯，这些部分彼此电绝缘并且可以在操作期间具有明显不同的电位。磁芯的一些部分可以在操作期间具有与第一光阑相同的电位。
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公开(公告)号：CN114975050B
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202210566572.0
申请日：2022-05-23
Applicant: 清华大学
IPC: H01J37/295 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/21
Abstract: 本公开涉及一种基于多弯消色散的超快电子衍射系统，包括：电子源，用于产生第一电子束；第一聚焦组件，用于捕获所述第一电子束，并使所述第一电子束聚焦，获得第二电子束；多弯消色散组件，用于使第二电子束中具有不同能量的电子按照不同运动路径运动，并在压缩束长后获得第三电子束，第三电子束的脉宽在预设位置处最小。根据本公开的实施例的基于多弯消色散的超快电子衍射系统，可针对宽能谱电子源的特性，使用与电子源性能匹配的多弯消色散组件，从而对电子束的束长进行压缩，获得能量高，能散低，时间分辨率高的电子束，以满足超快电子衍射的应用研究需求。
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公开(公告)号：CN115513020A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211479032.5
申请日：2022-11-24
Applicant: 北京中科科仪股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法，所述工装包括：调节支撑筒，所述调节支撑筒的底端定位设置在检测装置支架上并与检测装置支架同轴心设置；所述调节支撑筒的周向外侧壁上由上至下间隔开设有若干组调节孔，每一组调节孔分别与一光阑片同平面设置；图像拍摄机构，可拆卸设置在调节支撑筒上方，用于对光阑片及检测装置支架的图像进行拍摄；显示机构，用于接收图像拍摄机构拍摄的图像信息，并建立坐标系，通过光阑片的图像在坐标系中的位置来判断对光阑片所需调节的方向；若干调节组件，分别设置在各调节孔内部。本发明能够用于精密装配，使用方便，能够提供微米级检测精度，可以精确调节，能极大地提高装配精度。
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公开(公告)号：CN114930487A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202080092203.1
申请日：2020-12-23
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： M·J-J·维兰德
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J37/153 , H01J37/04 , H01J37/317
Abstract: 一种带电粒子评估工具，包括：物镜，被配置为将多个带电粒子束投射到样品上，该物镜具有面向样品的表面，该面向样品的表面对多个束孔径进行限定，带电粒子束中的相应带电粒子束通过束孔径朝向样品被发射；以及多个捕获电极，与束孔径中的相应束孔径相邻并且被配置为捕获从样品发射的带电粒子。
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