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公开(公告)号：KR101490359B1
公开(公告)日：2015-02-06
申请号：KR1020130056216
申请日：2013-05-20
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: 본 발명은 표면 형상 측정 장치에 관한 것으로서, 제1 방향으로 격자 패턴이 형성된 복수의 제1 격자부와, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 격자 패턴이 형성된 복수의 제2 격자부가 마련된 격자 플레이트와; 상기 복수의 제1 격자부가 기 설정된 피치 단위로 이동하도록 상기 격자 플레이트를 상기 제1 방향으로 이동시키는 제1 플레이트 이동 유닛과; 상기 복수의 제2 격자부가 기 설정된 피치 단위로 이동하도록 상기 격자 플레이트를 상기 제2 방향으로 이동시키는 제2 플레이트 이동 유닛과; 상기 각각의 제1 격자부 및 상기 각각의 제2 격자부로 광을 조사하는 복수의 광원과; 상기 각 광원으로부터 조사되어 상기 각각의 제1 격자부 및 상기 각각의 제2 격자부를 투과하여 측정 대상물로부터 반사된 격자광을 촬상하는 촬상부와; 상기 촬상부에 의해 촬상된 영상에 기초하여 상기 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 격자마다 이동유닛을 별도로 두는데 따른 제조 비용 및 제품 사이즈 증가의 문제점을 해소하면서도 검사 속도를 종래의 표면 형상 측정 장치에 비해 증가시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020150011068A
公开(公告)日：2015-01-30
申请号：KR1020130085825
申请日：2013-07-22
Applicant: (주)펨트론
IPC: G06T7/00 , G01N21/956 , G06K9/00
CPC classification number: G06T7/0004 , G06F17/30259 , G06T2207/30141
Abstract: 본 발명은 AOI 장비의 티칭 데이터 자동 생성 방법에 관한 것으로서, (a) 인쇄회로기판의 2차원 영상이 촬영되어 상기 인쇄회로기판의 전체 맵 영상이 생성되는 단계와; (b) 상기 맵 영상에서 검사 대상 영역이 설정되는 단계와; (c) 상기 인쇄회로기판의 2차원 영상 및 3차원 영상이 촬영되어 상기 인쇄회로기판의 2차원 정보 및 3차원 정보가 추출되는 단계와; (d) 상기 인쇄회로기판의 상기 2차원 정보와 상기 3차원 정보에 기초하여 상기 검사 대상 영역이 기판 영역과 부품 영역으로 구분하는 단계와; (e) 상기 부품 영역에 속한 부품에 대한 부품별 2차원 정보와 부품별 3차원 정보가 추출되는 단계와; (f) 상기 부품별 2차원 정보 및 상기 부품별 3차원 정보를 이용하여, 기 등록된 부품 티칭 라이브러리에서 유사 부품을 검색하는 단계와; (g) 상기 (f) 단계에서 유사 부품이 검색된 경우, 해당 유사 부품의 티칭 데이터를 해당 부품의 티칭 데이터로 등록하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 인쇄회로기판의 2차원 영상 및 3차원 영상에서 추출된 2차원 정보와 3차원 정보를 이용하여 부품 영역과 기판 영역이 자동으로 분리되어 제공됨으로써, 부품의 누락을 방지하고 티칭 작업에 소요되는 시간을 현저히 줄일 수 있게 된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种生成自动光学检测（AOI）装置的教学数据的方法。 该方法包括以下步骤：（a）通过拍摄印刷电路板的二维（2D）图像来生成印刷电路板的整个地图图像; （b）在地图图像中设定要检查的目标区域; （c）通过采用印刷电路板的2D和3D图像来提取印刷电路板的2D信息和三维（3D）信息; （d）基于印刷电路板的2D信息和3D信息，将目标区域划分为基板区域和分量区域; （e）提取关于属于所述组件区域的每个组件的2D和3D信息; （f）使用每个组件的2D和3D信息搜索先前注册的组件教学库中的类似组件; 以及（g）在步骤（f）中搜索相关组件时，将相关类似组件的教学数据登记为相关组件的教学数据。 因此，通过使用从印刷电路板的2D和3D图像提取的2D信息和3D信息，分量区域和基板区域彼此自动分离并提供，从而防止部件被省略并显着缩短时间 在教学工作中需要。
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公开(公告)号：KR1020140136549A
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：KR1020130056216
申请日：2013-05-20
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: The present invention relates to an apparatus for measuring a surface profile which comprises: a lattice plate equipped with a plurality of first lattice parts wherein lattice pattern is formed in a first direction, and a plurality of second lattice parts wherein lattice pattern is formed in a second direction which is perpendicular to the first direction; a first plate moving unit which moves the lattice plate in the first direction so that the multiple first lattice parts are moved by a preset pitch unit; a second plate moving unit which moves the lattice plate in the second direction so that the multiple second lattice parts are moved by a preset pitch unit; multiple light sources which radiate light to each of the first lattice parts and each of the second lattice parts; a photographing unit photographing lattice-shaped light which is reflected by an object to be measured by penetrating each of the first lattice parts and each of the second lattice parts as radiated from each light source; and a control unit measuring a surface profile of the object to be measured based on the image photographed by the photographing unit. Accordingly, problems regarding manufacture costs caused by additionally having a moving unit per lattice and increased size of a product are alleviated, and testing speed can also be increased in comparison with the existing apparatus for measuring a surface profile.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量表面轮廓的装置，其特征在于，包括：格子板，其配备有多个第一格子部分，其中在第一方向上形成格子图案;以及多个第二格子部分，其中格子图案形成在 垂直于第一方向的第二方向; 第一板移动单元，其使所述格子板沿所述第一方向移动，使得所述多个第一格子部分以预设的间距单位移动; 第二板移动单元，其使格栅板沿第二方向移动，使得多个第二格子部分以预设的间距单位移动; 多个光源向每个第一格子部分和每个第二格子部分辐射光; 拍摄单元拍摄通过穿透从每个光源照射的每个第一格子部分和每个第二格子部分被待测物体反射的格子状光; 以及控制单元，其基于由拍摄单元拍摄的图像来测量被测量物体的表面轮廓。 因此，与现有的用于测量表面轮廓的装置相比，减少了由每个格子额外具有移动单元和增加的产品尺寸引起的制造成本的问题，并且也可以提高测试速度。
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公开(公告)号：KR101361616B1
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：KR1020120037870
申请日：2012-04-12
Applicant: (주)펨트론
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 진공밸브부를 가진 전자빔 조사장치 및 진공밸브부의 제어방법에 관한 것이며, 상세하게는 단일의 밸브 구조를 통해 챔버 내부 압력이 진공압력이 되도록 챔버 내부로 제 1 또는 제 2 진공압력을 제공하는 진공밸브부를 가진 전자빔 조사장치 및 진공밸브부의 제어방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브부를 가진 전자빔 조사장치는 기초프레임에 설치된 챔버; 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버로 제 1 진공압력을 제공하는 제 1 펌프유닛과, 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버로 제 2 진공압력을 제공하는 제 2 펌프유닛이 구비된 진공발생부; 및 상기 챔버와 상기 진공발생부 사이에 연결되며, 상기 진공발생부의 제 1 진공압력 또는 제 2 진공압력을 선택적으로 상기 챔버로 제공하는 진공밸브부를 포함하고, 상기 진공밸브부는 상부가 폐쇄된 형상을 가지며 하부가 상기 제 2 펌프유닛에 연결된 구조를 가지며, 상기 제 1 펌프유닛과 연결되는 제 1 유입구와, 상기 제 1 유입구의 상부에 위치되고 상기 2 펌프유닛과 연결되는 제 2 유입구와, 상기 제 1 유입구의 하부에 위치되고 상기 챔버와 연결되는 하우징배출구가 구비된 실린더하우징; 및 상기 실린더하우징의 내부에 설치되어, 상기 실린더하우징 내부를 왕복운동하는 피스톤유닛을 구비하고, 상기 제 1 유입구, 상기 제 2 유입구, 또는 상기 하우징배출구는 상기 피스톤유닛에 의해 개폐되는 것이 바람직하다.-
公开(公告)号：KR101327356B1
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：KR1020120034693
申请日：2012-04-04
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 듀얼 레인 검사 장치에 관한 것으로, 베이스 플레이트와, 제1 방향으로 인입되는 검사 대상물이 상기 제1 방향으로 이송되도록 상기 제1 방향을 따라 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 인입부, 제1 검사부 및 제1 인출부를 갖는 제1 검사 레일부와, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 제1 검사 레일부에 대향하게 이격 배치되고, 상기 제1 방향으로 인입되는 검사 대상물이 상기 제1 방향으로 이송되도록 상기 제1 방향을 따라 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제2 검사 레일부를 포함하고; 상기 제1 인입부는 상기 제2 방향으로 상호 대향하게 이격 설치되며, 상기 제2 방향으로 상호 독립적으로 이동 가능하게 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 인입 레일 프레임 및 제2 인입 레일 프레임과, 상기 제1 인입 레일 프레임 및 상기 제2 인입 레일 프레임을 상기 제2 방향으로 각각 이동시키는 제1 인입 구동부 및 제2 인입 구동부를 포함하고; 상기 제1 검사부는 상기 베이스 플레이트에 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 설치되는 검사 플레이트와, 상기 검사 플레이트에 고정 설치되는 제1 검사 레일 프레임과, 상기 제2 방향으로 상기 제1 검사 레일 프레임에 대향하게 설치되고, 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 상기 검사 플레이트에 설치되는 제2 검사 레일 프레임과, 상기 검사 플레이트를 상기 제2 방향으로 이동시키는 제1 검사 구동부와, 상기 제2 검사 레일 프레임을 상기 제2 방향으로 이동시키는 제2 검사 구동부를 포함하며; 상기 제1 인출부는 상기 제2 방향으로 각각 독립적으로 상호 접근 및 이격 가능하게 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 인출 레일 프레임 및 제2 인출 레일 프레임과, 상기 제1 인출 레일 프레임 및 상기 제2 인출 레일 프레임을 상기 제2 방향으로 각각 이동시키는 제1 인출 구동부 및 제2 인출 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130050458A
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：KR1020110115519
申请日：2011-11-08
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01R27/26 , G01R23/02 , G01R19/165 , G06F3/041
CPC classification number: G01R27/2623 , G01R19/16504 , G01R23/02 , G06F3/0412 , G06F3/044
Abstract: PURPOSE: An apparatus for testing an electrostatic touch screen panel using a PLL(Phase Locked Loop) and a method thereof are provided to assure generality of a test equipment by testing the electrostatic touch screen panel using a PLL, and to improve robustness and test reliability as to electrical and mechanical impact and external environmental change. CONSTITUTION: A frequency signal generation part(110) generates a first frequency signal by a generic electrostatic capacity, and generates a second frequency signal by synthesized electrostatic capacity of generic electrostatic capacity and electrostatic capacity between ITO(Indium Tin Oxide) sensor electrodes of the electrostatic touch screen panel. A PLL circuit part(120) synchronizes an output frequency of a VCO(Voltage Controlled Oscillator) to a frequency of an input signal by inputting a signal generated by the frequency signal generation part as the input signal. A non-defection judgment part(130) judges non-defection of the electrostatic touch screen panel by comparing the amount of output voltage change of the VCO with amount of reference change. [Reference numerals] (110) Frequency signal generation part; (116) Frequency oscillation part; (120) PLL circuit part; (122) Phase detection part; (124) Voltage control oscillation part; (126) Divider part; (130) Non-defection judgment part; (132) A/D converter(24bit); (134) Voltage change comparison part; (136) Frequency comparison part; (140) Monitoring part
Abstract translation: 目的：提供一种使用PLL（锁相环）测试静电触摸屏面板的装置及其方法，以通过使用PLL测试静电式触摸屏面板，提高测试设备的通用性，并提高其鲁棒性和测试可靠性 关于电气和机械的影响以及外界的环境变化。 构成：频率信号产生部分（110）通过一般静电电容产生第一频率信号，并通过静电电容的ITO（氧化铟锡）传感器电极之间的通用静电电容和静电电容的合成静电电容产生第二频率信号 触摸屏面板。 PLL电路部分（120）通过输入由频率信号生成部分生成的信号作为输入信号，使VCO（压控振荡器）的输出频率与输入信号的频率同步。 无缺陷判断部（130）通过将VCO的输出电压变化量与参考变化量进行比较来判断静电式触摸屏面板的不良情况。 （附图标记）（110）频率信号生成部; （116）频率振荡部分; （120）PLL电路部分; （122）相位检测部; （124）电压控制振荡部分; （126）分隔件; （130）非违约判决部分; （132）A / D转换器（24bit）; （134）电压变化比较部; （136）频率比较部分; （140）监控部分
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公开(公告)号：KR101005179B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090004976
申请日：2009-01-21
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 광학적 간섭을 이용한 OCD 측정 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 OCD 측정 방법은 (a) 백색광을 조사하는 단계와; (b) 상기 백색광을 상호 편광 방향이 수직인 TE 편광과 TM 편광 방향에 대해 45°기울어진 방향으로 선형 편광시키는 단계와; (c) 상기 선형 편광된 백색광이 상기 측정 대상물 및 기준 미러로부터 각각 반사된 측정광과 기준광이 상호 간섭되어 간섭광이 형성되는 단계와; (d) 상기 간섭광이 상기 TE 편광 성분과 상기 TM 편광 성분으로 분리되는 단계와; (e) 상기 TE 편광 성분 및 상기 TM 편광 성분이 각각 제1 스펙트로메터 및 제2 스펙트로메터에 입력되는 단계와; (f) 상기 입력된 TE 편광 성분 및 상기 입력된 TM 편광 성분으로부터 각각 TE 스펙트럼 데이터 및 TM 스펙트럼 데이터를 추출하여 상기 TE 편광 성분 및 상기 TM 편광 성분 각각에 대한 진폭 정보 및 위상 정보를 추출하는 단계와; (g) 상기 추출된 진폭 정보 및 상기 추출된 위상 정보를 RCWA(Rigorous coupled-wave analysis) 기법에 적용하여 상기 RCWA 기법 상의 진폭 비율(Ψ) 및 위상차(Δ)를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 한 번의 촬영(Single shot)으로 SE(Spectroscopic Ellipsometer) 파라미터인 Ψ 및 Δ가 동시에 획득되도록 하여 측정 속도를 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR101005161B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090006775
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 Off-axis 방식의 디지털 홀로그래피를 이용한 복굴절 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 복굴절 측정 장치는 수직 편광 및 수평 편광 방향 각각에 대하여 45°기울어진 편광 방향을 갖는 선형 편광 빔을 생성하는 광원부와; 상기 광원부로부터의 상기 선형 편광 빔을 측정 빔 경로와 기준 빔 경로로 분할하여 출력하는 제1 빔 스플리터와; Off-axis 방식이 적용 가능하도록 상기 기준 빔 경로에 대해 기울어져 배치된 기준 미러와; 상기 제1 광 분할부로부터 출광된 상기 선형 편광 빔이 상기 기준 미러에 의해 반사되도록 상기 제1 광 분할부로부터 출광된 상기 선형 편광 빔을 상기 기준 미러 방향으로 향하게 하는 제2 빔 스플리터와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 선형 편광 빔이 상기 측정 대상물을 투과하도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 선형 편광 빔을 상기 측정 대상물 방향으로 반사시키는 반사 미러와; 상기 선형 편광 빔이 상기 기준 미러로부터 반사되어 형성된 기준빔 및 상기 선형 편광 빔이 상기 측정 대상물을 투과하여 형성된 측정빔을 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부 방향으로 분할하여 출력하기 위한 제3 빔 스플리터와; 상기 제1 촬상부와 상기 제3 빔 스플리터 사이에 배치되어 상기 측정빔 및 상기 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 간섭광 중 수직 편광 성분을 통과시켜 상기 제1 촬상부로 출력하는 수직 편광판과; 상기 제1 촬상부와 상기 제3 빔 스플리터 사이에 배치되어 상기 간섭광 중 수평 편광 성분을 통과시켜 상기 제2 촬상부로 출력하는 수평방향 선편광판; 상기 제1 촬상부에 의해 촬상된 상기 수직 편광 성분과 상기 제2 촬상부에 의해 촬상된 상기 수평 편광 성분 각각에 대해 Off-axis 방식의 디지털 홀로그래피 해석 방식이 적용되어 상기 수직 편광 성분에 대한 수직 편광 위상 정보와 상기 수평 편광 성분에 대한 수평 편광 위상 정보가 추출하고, 상기 수직 편광 위상 정보 및 상기 수평 편광 위상 정보에 기초하여 상기 측정 대상물에 대한 복굴절의 크기를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020100095775A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：KR1020090014764
申请日：2009-02-23
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A camera aligning method for aligning two cameras applied to an optical system for 3D measurement is provided to remove in-plane mis-alignment and out-of-plane misalignment occurring between two cameras with 6 degrees of freedom. CONSTITUTION: The first camera(51) photographs a hologram about a vertical polarizing element of interference light. The second camera(52) photographs a hologram about a horizontal polarizing element of the interference light. In-plane mis-alignment and out-of-plane misalignment between the first and second cameras are aligned using a correlation technique for a pair of holograms.
Abstract translation: 目的：提供一种用于对准应用于三维测量光学系统的两台摄像机的摄像机对准方法，以消除在6个自由度的两台摄像机之间发生的平面内错误对准和平面外失准。 构成：第一台相机（51）拍摄一幅关于干涉光垂直偏振元件的全息图。 第二相机（52）拍摄关于干涉光的水平偏振元件的全息图。 使用一对全息图的相关技术来对齐第一和第二相机之间的平面内错误对准和平面外的未对准。
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公开(公告)号：KR1020100085595A
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：KR1020090004976
申请日：2009-01-21
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: An optical critical dimension metrology method and an apparatus using a spectral interferometry are provided to increase measuring speed while obtaining SE parameter through one single shot. CONSTITUTION: A first spectrometer(16) and a second spectrometer(17) are arranged. A light source(10) projects the white light. A polariscope(12) polarizes the white light from the light source to a TM polarizer and a direction of 45 degrees from the TM polarizer. A beam splitter(13) makes a polarized linear white light to a measurement object. An OCD interferometer(14) forms a light interference with a measured light reflected from the target and a reference light reflected from a reference mirror.
Abstract translation: 目的：提供光学关键尺寸测量方法和使用光谱干涉测量的装置，以通过一次拍摄获得SE参数来提高测量速度。 构成：布置第一光谱仪（16）和第二光谱仪（17）。 光源（10）投射白光。 偏振器（12）将来自光源的白光偏振到TM偏振器，并且与TM偏振器成45度的方向。 分束器（13）对测量对象产生偏振线性白光。 OCD干涉仪（14）与从目标反射的测量光和从参考反射镜反射的参考光形成光干涉。
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