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公开(公告)号：CN107786182A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710740128.5
申请日：2017-08-25
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02015 , H01L41/047 , H03H3/02 , H03H9/02062 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/173 , H03H9/542 , H03H9/545 , H03H9/547 , H03H9/562 , H03H9/568 , H03H9/605 , H03H2003/021 , H03H9/02047 , H03H9/0514 , H03H9/172
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为 或更小。
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公开(公告)号：CN111049488B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910614244.1
申请日：2019-07-09
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；腔，形成在所述基板中；第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；谐振部，通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；附加层，设置在布置于位于所述谐振部的外侧的布线区域中的所述第一电极的一个表面上；以及布线电极，连接至布置在所述布线区域中的所述第一电极。所述第一电极与所述附加层和所述布线电极形成接触界面表面。
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公开(公告)号：CN116366020A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202211657436.9
申请日：2022-12-22
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器和滤波器，所述体声波谐振器包括：基板；频率控制层，根据所述频率控制层的厚度改变所述体声波谐振器的谐振频率或反谐振频率；压电层，设置在所述频率控制层和所述基板之间；第一电极，设置在所述压电层和所述基板之间；第二电极，设置在所述压电层和所述频率控制层之间；金属层，连接到所述第一电极或所述第二电极；以及保护层，设置在所述第二电极和所述频率控制层之间，其中，所述频率控制层覆盖比所述保护层的面积大的面积。
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公开(公告)号：CN114268295A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202110835700.2
申请日：2021-07-23
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；设置在所述基板上的第一电极；腔，所述腔设置在所述基板和所述第一电极之间；压电层，覆盖所述第一电极的至少一部分；第二电极，覆盖所述压电层的至少一部分；插入层，设置在所述第一电极与所述压电层之间；以及下框架，设置在所述腔中。所述下框架的至少一部分与所述插入层叠置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108631748B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201711315132.3
申请日：2017-12-12
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器。所述声波谐振器包括：谐振部，设置在基板上并且通过腔与所述基板分开，所述谐振部包括顺序地堆叠的膜层、第一电极、压电层和第二电极。满足ΔMg为位于所述腔上方的所述膜层的最大厚度和最小厚度之差。
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公开(公告)号：CN108540103B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201810018188.0
申请日：2018-01-09
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及制造声波谐振器的方法，所述声波谐振器包括：中央部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上；延伸部，从所述中央部向外延伸；及插入层，在所述延伸部中设置在所述压电层下方，其中，所述压电层包括压电部和弯曲部，所述压电部设置在所述中央部中，所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述插入层的形状从所述压电部倾斜地延伸。
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公开(公告)号：CN108964631B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN201711444086.7
申请日：2017-12-27
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/15
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板、下电极连接构件、下电极、压电层、上电极、上电极连接构件和介电层，其中，所述下电极、所述压电层和所述上电极嵌入在所述介电层中。所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部。延伸部从所述下电极或所述上电极延伸以从所述谐振部向外突出。所述延伸部、所述上电极连接构件的部分以及所述介电层的部分构成电容器部，其中，所述上电极连接构件的所述部分设置在所述延伸部之上，所述介电层的所述部分设置在所述延伸部和所述上电极连接构件的设置在所述延伸部之上的所述部分之间。
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公开(公告)号：CN113746447A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202111060953.3
申请日：2017-08-25
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。
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公开(公告)号：CN107786182B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201710740128.5
申请日：2017-08-25
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。
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