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公开(公告)号：KR100507978B1
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：KR1020030055512
申请日：2003-08-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 반도체 제조 장치의 제어 방법을 개시한다. 스테이지에 로딩되는 제 1 웨이퍼의 맵 상에 제 1 기준 위치를 설정하고 제 1 기준 위치에 대해 미리 설정된 간격을 갖는 복수개의 지표들을 웨이퍼 맵 상에 설정하여 복수개의 지표 각각의 실제 위치 값을 획득한다. 이후 스테이지에 로딩되는 제 2 웨이퍼의 맵 상에 제 1 기준 위치와 동일한 조건으로 제 2 기준 위치를 설정하고 제 1 기준 위치의 실제 위치 값과 제 2 기준 위치의 실제 위치 값 사이의 오차만큼 복수개의 지표 각각의 위치 값을 보정한다.
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公开(公告)号：KR1020050013371A
公开(公告)日：2005-02-04
申请号：KR1020030051996
申请日：2003-07-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: PURPOSE: A wafer inspection apparatus is provided to improve space efficiency and to obtain a simple structure thereof, a rapid inspection and classification of wafers. CONSTITUTION: A wafer inspection apparatus includes a sample die(10), a sample die moving unit(20), an object lens(32) and a lens driving unit(33). A wafer(1) is supported by the sample die. The sample die is moved vertically by the sample die moving unit. The wafer is observed in a position spaced apart from the surface of the wafer by the object lens. A distance between the object lens and the surface of the wafer supported by the sample die is adjusted by the lens driving unit.
Abstract translation: 目的：提供晶片检查装置，以提高空间效率并获得其简单结构，快速检查和分类晶片。 构成：晶片检查装置包括样品管芯（10），样品管芯移动单元（20），物镜（32）和透镜驱动单元（33）。 晶片（1）由样品芯片支撑。 样品模移动单元垂直移动。 在通过物镜与晶片的表面间隔开的位置观察晶片。 通过透镜驱动单元来调整物镜与由样品管芯支撑的晶片的表面之间的距离。
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公开(公告)号：KR2020000016493U
公开(公告)日：2000-09-25
申请号：KR2019990001476
申请日：1999-02-02
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 편희수
IPC: H05K3/34
Abstract: 개시된 납땜 검사 장치는, 그 내부에 소정의 공간이 마련되고, 상기 공간으로 인쇄회로기판을 출입하기 위한 개구부가 그 전면에 마련된 본체; 상기 개구부를 개폐하기 위한 도어; 상기 본체의 전면에 힌지 고정되어 납땜검사장치를 설정하기 위한 조작패널; 상기 본체 내의 공간에 마련된 인쇄회로기판을 검사하는 것과 조작패널의 조작되는 상태를 작업자에게 보여주기 위한 하나이상의 디스플레이로 구비되는 납땜 검사 장치에 있어서, 상기 본체에 가이드 수단이 마련되고, 상기 가이드 수단에 상기 도어의 양단이 슬라이딩 이동되어, 상기 도어가 본체내로 인출입됨으로써, 도어가 상기 개구부를 개폐하도록 된 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 인쇄회로기판의 납땜 된 상태를 검사하기 위한 납땜 검사 장치의 개구부를 개폐하는 도어가 슬라이딩되어 본체 내로 인출입되도록 설치되므로, 납땜 검사 장치의 설정시 그 상태를 보여주는 디스플레이가 종래와 같이 도어에 의하여 가려지지 않으므로, 작업자는 디스플레이를 보면서 조작패널을 용이하게 조작할 수 있다는 장점이 있다.
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公开(公告)号：KR2020000003632U
公开(公告)日：2000-02-25
申请号：KR2019980013884
申请日：1998-07-27
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 편희수
IPC: H05K13/02
Abstract: 이송수단에 의해 일방향으로 이송되는 인쇄회로기판을 정지시켜 주기 위한 스토퍼와, 상기 스토퍼에 의해 정지된 인쇄회로기판을 상기 이송수단의 일측으로 가압하여 일정한 위치에서 정렬시켜 주기 위한 제1정렬수단으로서, 구동원과; 상기 구동원의 출력축에 연결된 캠과; 상기 캠에 의해 캠운동하도록 설치된 캠팔로워와; 상기 인쇄회로기판의 일측면을 가압하여 상기 이송수단의 타측에 밀착시키도록 상기 캠팔로워에 의해 상기 이송수단의 일측으로 전후진하도록 설치된 복수의 푸쉬핀;을 포함하는 인쇄회로기판 위치결정장치가 개시된다.
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公开(公告)号：KR100191497B1
公开(公告)日：1999-07-01
申请号：KR1019930025912
申请日：1993-11-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01J9/42
Abstract: 본 발명은 컬러텔레비젼등에 내장되는 음극선관의 휘도를 조정하는 음극선관의 휘도 조정장치에 관한 것으로써, 특히 휘도를 조정하는 다수개의 볼륨이 배설된 피씨기판이 장착된 음극선관의 휘도를 조정하도록 공업용 로봇에 휘도 조정장치가 장착되어서 음극선관의 휘도를 자동조정할 수 있으므로 제품의 고품질화를 실현할 수 있는 것은 물론이고 생산성이 향상되고 제조코스트를 다운시킬 수 있는 음극선관의 휘도 조정장치에 관한 것이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR200139957Y1
公开(公告)日：1999-03-20
申请号：KR2019950050853
申请日：1995-12-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 편희수
IPC: H01J9/42
Abstract: 본 고안은 음극선관의 화면상태를 검사하기 위한 다수의 센서 조립체를 지지하는 장치에 관한 것이다.
본 고안에 따른 음극선관의 화면검사용 센서 조립체 지지장치는 일부 센서조립체들을 음극선관의 화면을 따라 이동할 수 있도록 지지할 수 있으므로, 각종 크기의 음극선관의 화면상태를 저렴한 비용으로 정확하게 검사할 수 있으며, 사용이 간편하다.-
公开(公告)号：KR200134038Y1
公开(公告)日：1999-03-20
申请号：KR2019940001858
申请日：1994-02-01
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 편희수
IPC: H04N9/28
Abstract: 상 사이즈를 조정하기 위해 씨알티의 표면에 밀착되는 계측센서의 위치를 텔레비전의 인치(inch) 별로 자동조절하여 위치설정을 간편히 할 수 있게 한 상 사이즈 계측장치에 관한 것으로써, 종래에 상 사이즈를 조정하기 위해 육안으로 측정하면서 수동으로 조작할때 발생되던 정밀도의 결여와 생산성의 저하 및 작업자의 피로를 방지하기 위한 것인 바, 상 사이즈를 계측하는 지그(10)에 다수의 센서 (31)(31')(31)와, 계측대상에 따라 상기 센서의 위치를 설정하기 위해 슬라이딩 시켜주는 구동수단을 설치하고, 각 센서들의 위치를 설정되게 감지센서(32)와 다수의 도그(11)를 설치함에 따라, 계측초기에 발생되는 센서의 위치설정을 간편하게 조작할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100160741B1
公开(公告)日：1998-12-15
申请号：KR1019950066912
申请日：1995-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 편희수
Abstract: 미세 피치 볼륨 조정용 구동 비트 장치가 이송된 인쇄 회로 기판 상의 볼륨 상부에 위치되며 액츄에이터에 의해 승강되는 플레이트와, 상기 플레이트에 고정되고 미세 피치 볼륨의 피치에 맞게 구멍이 가공되어 있는 한 쌍의 하우징과, 상기 한 쌍의 하우징의 구멍들 안으로 삽입되어 그 상단이 가요성 카플링들과 체결되어 소형 직류 모터들에 연결되며 이 모터들에 의해 회전되는 한 쌍의 샤프트 및 그 상단부가 상기 샤프트에 삽입되고 그 하단부가 볼륨의 홈으로 삽입되어 볼륨을 조정하는 한 쌍의 비트를 포함하여 한 공정으로 동시에 볼륨들을 조정하는 조정 택트 시간을 단축시키며 조정 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
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