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公开(公告)号：KR1020050013371A
公开(公告)日：2005-02-04
申请号：KR1020030051996
申请日：2003-07-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: PURPOSE: A wafer inspection apparatus is provided to improve space efficiency and to obtain a simple structure thereof, a rapid inspection and classification of wafers. CONSTITUTION: A wafer inspection apparatus includes a sample die(10), a sample die moving unit(20), an object lens(32) and a lens driving unit(33). A wafer(1) is supported by the sample die. The sample die is moved vertically by the sample die moving unit. The wafer is observed in a position spaced apart from the surface of the wafer by the object lens. A distance between the object lens and the surface of the wafer supported by the sample die is adjusted by the lens driving unit.
Abstract translation: 目的：提供晶片检查装置，以提高空间效率并获得其简单结构，快速检查和分类晶片。 构成：晶片检查装置包括样品管芯（10），样品管芯移动单元（20），物镜（32）和透镜驱动单元（33）。 晶片（1）由样品芯片支撑。 样品模移动单元垂直移动。 在通过物镜与晶片的表面间隔开的位置观察晶片。 通过透镜驱动单元来调整物镜与由样品管芯支撑的晶片的表面之间的距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100541733B1
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：KR1020030051996
申请日：2003-07-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은, 웨이퍼검사장치에 관한 것으로서, 웨이퍼를 지지하는 시료대와; 상기 시료대에 지지된 웨이퍼의 판면 방향으로 상기 시료대를 이송시키는 시료대이송부와; 상기 웨이퍼의 판면과 이격된 위치에서 상기 웨이퍼를 관측하는 대물렌즈와; 상기 대물렌즈와 상기 시료대에 지지된 웨이퍼의 이격거리를 조절하는 렌즈구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 구조가 간단하고 신속한 검사 및 분류가 가능할 뿐만 아니라, 정확도를 향상시키고, 부품간의 간섭을 줄여 안정적으로 동작을 구현할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160117815A
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：KR1020150045396
申请日：2015-03-31
Applicant: 삼성전자주식회사 , 삼성디스플레이 주식회사
IPC: G01N21/958 , G01N21/47
CPC classification number: G01N21/94 , G01N21/8806 , G01N21/958 , G01N2021/9513 , G01N21/47 , G01N2201/06113
Abstract: 광학검사장치가제공된다. 광학검사장치는, 피처리체가로딩되는지지부, 상기피처리체로레이저빔을조사하는광원부, 상기피처리체에조사된상기레이저빔으로부터산란된산란광을모으는집광부, 상기광원부와상기집광부를제어하고, 상기산란광을분석하여상기피처리체상의이물질여부를검출하는제어부를포함하되, 상기지지부는상면에상기피처리체가놓이고제 1 재질로이루어진제 1 지지부및 상기제 1 지지부의아래에상기제 1 재질과상이한제 2 재질로이루어진제 2 지지부를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160101317A
公开(公告)日：2016-08-25
申请号：KR1020150023587
申请日：2015-02-16
Applicant: 삼성전자주식회사 , 삼성디스플레이 주식회사
IPC: G01N21/95 , G01N21/958 , G01N21/47 , G01N21/39
CPC classification number: G01N21/958 , G01N21/47 , G01N2021/9513 , G01N2201/06113
Abstract: 대상물에라인형태의레이저빔이입사되면, 상기대상물로부터산란된레이저빔들을검출하여이물질을분석하는영상장치, 및, 대상물에라인형태의레이저빔이입사되면, 상기대상물로부터반사된페이지형태의레이저빔들을트랩하는잔류빔 덤프;를포함하는표면검사장치를나타낸다.
Abstract translation: 提供一种检查表面的装置，包括：图像装置，当具有线状的激光束投射到物体上时，通过检测从物体散射的激光束来分析异物; 并且当具有线状的激光束被投射到物体上时，剩余的光束转储器捕获从物体反射的页面形状的激光束。
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公开(公告)号：KR101878839B1
公开(公告)日：2018-08-20
申请号：KR1020110077649
申请日：2011-08-04
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G02F1/133382 , G02F1/1303 , G02F1/1341
Abstract: 엘씨디셀 내부에주입되는액정에열을빨리전달하여액정이액체상태로변하는데걸리는시간을단축시키고, 액정의확산을물리적으로촉진하여균일한액정분포를만들수 있는엘씨디셀 열처리장치및 방법을제공한다. 두장의글래스사이에액정이주입된복수의엘씨디셀을열처리하여상기복수의엘씨디셀 내부액정의분포를균일하게하는엘씨디셀 열처리장치는상기복수의엘씨디셀 내부의액정에열을전달하는매질인액체가담겨지는수조; 상기수조에상기복수의엘씨디셀을투입및 배출하는로딩장치; 상기수조에투입된상기복수의엘씨디셀 내부의액정에열을전달하기위해상기수조내부에설치되어상기수조내부의액체를가열하는열 발생기; 상기수조내부에설치되어상기복수의엘씨디셀 내부의액정에음파를전달하는음파전달기;를포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020130015588A
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：KR1020110077649
申请日：2011-08-04
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G02F1/133382 , G02F1/1303 , G02F1/1341
Abstract: PURPOSE: An LCD(Liquid Crystal Display) cell heat treatment device and a method thereof are provided to improve a removing performance for a heat treatment stain by uniformly distributing heat on liquid crystal. CONSTITUTION: Liquid is filled in a water tank(10). Heat is conducted to liquid crystal of LCD cells through the liquid. A loading unit(20) inserts the LCD cells into the water tank or discharges the LCD cells from the water tank. A heat generator(30) heats the liquid inside the water tank. A sound wave transmission unit(40) transmits a sound wave to the liquid crystal of the LCD cells.
Abstract translation: 目的：提供一种LCD（液晶显示器）电池热处理装置及其方法，通过在液晶上均匀分布热量来提高热处理污渍的去除性能。 构成：液体填充在水箱（10）中。 通过液体对LCD电池的液晶进行加热。 装载单元（20）将LCD单元插入水箱或从水箱排出LCD单元。 发热体（30）加热水箱内的液体。 声波传输单元（40）将声波发送到LCD单元的液晶。
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