Abstract:
A radio frequency MEMS switch is provided to prevent an actuator from sticking to a substrate by generating an electrostatic force between a fixing portion and the actuator. A radio frequency MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) switch includes a substrate, a first signal line(320a) and a second signal line(330) spaced apart from each other and deposited on an upper surface of the substrate, an actuator(320) positioned above the first signal line and the second signal line, and a fixing portion(340) positioned above the actuator. The fixing portion makes the actuator in contact with the first signal line and the second signal line when a predetermined driving voltage is applied.
Abstract:
A gate valve of a semiconductor manufacturing apparatus is provided to prevent the generation of defects at the gate valve by opening/closing a connection portion between a process chamber and a vacuum pump using movable members installed in grooves. A gate valve of a semiconductor manufacturing apparatus includes an opening/closing member, a cam shaft, and a support unit. The opening/closing member(140) is used for opening/closing a connection portion between a process chamber and a vacuum pump. The cam shaft(120) is used for transmitting a driving force to the opening/closing member. The support unit(130) includes a plate(130a) with a plurality of grooves and movable members(130b) for supporting a side of the cam shaft in the grooves.
Abstract:
본 발명은 무선으로 전파되는 안내 데이터를 수신하는 휴대단말기와 방법, 그리고 무선으로 안내 데이터를 제공하는 안내 데이터 제공 시스템에 관한 것이다. 블루투스 등과 같은 근거리 무선통신을 이용하여 안내 정보를 제공함으로써 필요한 안내 정보를 쉽게 얻을 수 있다. 안내 데이터 제공 시스템은 안내 데이터를 저장하고, 상기 저장한 안내 데이터를 무선으로 전파하는 안내 서버 및 상기 안내 서버에서 무선으로 전파되는 안내 데이터를 수신하여 상기 수신한 안내 데이터가 미리 설정한 조건 데이터에 따라 필요한 데이터이면 사용자에게 제공하는 휴대단말기를 포함함을 특징으로 한다. 블루투스, 안내, 휴대단말기, 무선
Abstract:
개시된 MEMS 스위치는 그 상면에 신호 라인이 형성된 하부기판; 하부 기판의 상면에 소정의 간격을 두고 설치되며, 그 하면에 멤브레인층이 형성되고, 그 내부에 캐비티가 형성된 상부기판; 캐비티의 내부로 하여 멤브레인 층의 상면에 설치된 바이메탈층; 멤브레인층의 하면에 설치된 발열층; 발열층의 하면에 형성되며, 신호라인과 접촉 또는 이탈되는 컨택 부재;를 포함한다.
Abstract:
본 발명에 의한 MEMS 소자 패키지는, MEMS 활성소자가 상면에 형성되어 있는 소자용 기판; MEMS 활성소자가 위치하는 공간 및 MEMS 활성소자의 전기적 경로를 제공하는 것으로, MEMS 활성소자의 양측에 배치되며, 제 1 패드 및 제 2 패드가 일정간격을 두고 대향된 구조의 내부전극패드; 내부전극패드의 외곽에 배치되는 실링패드; 실링패드를 통하여 소자용 기판과 결합되며, 내부전극패드의 간격이 위치하는 부분에 비아홀이 형성된 덮개용 기판; 일단이 내부전극패드와 접촉하도록 비아홀의 내측면에 형성된 연결부재; 및 연결부재의 타단과 접촉하도록 덮개용 기판의 상면에 형성된 외부전극패드;를 포함한다. MEMS, 소자, 패키지, 웨이퍼, 기판, 비아홀, Au, 전극, 실링
Abstract:
본 발명은 웹 서버 기능과 SMS 송수신이 가능한 전화 시스템을 갖추고 외부 인터넷에서 웹 서버로 접속하여 사용자별 단문 메시지를 관리하고, 공중전화망 또는 이동통신망과 연결된 가입자에게 단문 메시지를 전송하는 복합 단말을 이용한 단문메시지 관리 시스템 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따른 복합 단말을 이용한 단문메시지 관리 방법은, 복합 단말이 착/발신하는 단문메시지에 대한 개별 사용자 각각의 데이터베이스를 복합 단말에 구축하는 단계와 개별 사용자가 인터넷을 통해 상기 복합 단말 제공 웹 서버에 접속하여 사용자별 단문 메시지 관리를 수행하는 단계를 포함한다.
Abstract:
A filter using an air gap type film bulk acoustic resonator is provided. The present filter includes a substrate on which a first port, a second port, and a ground port are formed to be connected to an external terminal; at least one first film bulk acoustic resonator serially connecting the first port to the second port on the substrate; at least one second film bulk acoustic resonator parallel connected to an interconnection node formed between the first port and the second port; and at least one inductor serially connecting the second film bulk acoustic resonator to the ground port. The inductor included in the filter is fabricated with the first and second film bulk acoustic resonators as one body. Accordingly, a small-sized filter may be fabricated through a simplified process.
Abstract:
휴대단말기의 전화번호를 접속주소로 이용하며 휴대단말기를 통해 사용할 수 있는 모바일페이지(mobilepage)를 구축할 수 있는 모바일페이지 서비스 제공 시스템이 개시된다. 모바일페이지는 휴대단말기 뿐만 아니라 인터넷웹페이지(internet web page)를 통해서도 사용할 수 있다. 모바일페이지 서비스 제공 시스템은 모바일페이지를 저장, 관리 및 모바일페이지의 데이터를 송수신하는 모바일페이지서버와, 패킷 서비스망을 통하여 모바일페이지서버에 접속 및 모바일페이지의 데이터를 송수신하는 휴대단말기로 구성된다.
Abstract:
A power-saving apparatus and a method of a mobile communication terminal are provided to designate a kind of power-saving mode through an interface with a user, and to set power-saving mode entering conditions and power-saving mode items of the designated kind of the power-saving mode, thereby performing a power-saving control function corresponding to the preset power-saving mode items according to the preset conditions. A battery capacity measurer(24) measures a battery capacity of a mobile communication terminal. A user input unit(14) designates a kind of power-saving mode, and sets a power-saving mode battery entering capacity and power-saving mode items corresponding to the designated kind of the power-saving mode. A memory(20) stores the set power-saving mode entering battery capacity and the power-saving mode items. A controller(10) performs a power-saving control function corresponding to the set items if the measured battery capacity reaches the set power-saving mode battery capacity.