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公开(公告)号：KR100998645B1
公开(公告)日：2010-12-06
申请号：KR1020080019699
申请日：2008-03-03
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G01N27/4145 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은 바이오 센서 소자 및 제조 방법에 관한 것이다. 즉, 본 발명은 FET 바이오센서 소자의 게이트를 생체 적합성이 탁월한 다이아몬드 박막을 사용하여 제조함으로써 센서의 수명, 반복성 및 안정성을 크게 개선시킴과 동시에, 채널 영역에 다이아몬드를 도입했던 기존의 다이아몬드 기반의 바이오 센서(Bio-sensor)와 달리 다이아몬드를 채널 영역에서 배제한 FET(Field Effect Transistor)구조를 구현하여 센서의 민감도 개선과 더불어, 실리콘(Si) 전자회로와 동시 집적이 가능하도록 한다.
바이오, 센서, 다이아몬드, 분자, DNA, 바이러스-
公开(公告)号：KR100998349B1
公开(公告)日：2010-12-03
申请号：KR1020080102175
申请日：2008-10-17
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/31
Abstract: 본 발명은 다이아몬드와 금속의 밀착력 향상에 관한 것으로 보다 구체적으로는 고온, 산화 분위기에서 버퍼층의 소재 및 구조를 디자인하여 다이아몬드와 금속의 접합력을 유지하는 방법에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명은 다이아몬드층, 금속 전극층, 및 다이아몬드층과 금속 전극층 사이에 위치하는 버퍼층을 포함하는 소자에 있어서, 상기 버퍼층이 (i) 금속 질화물층(Me-N) 및 (ii) 실리콘 질화물층(Si-N), 금속-실리콘-질화물층(Me-Si-N), 보론 질화물층(BN) 및 금속-보론 질화물층(Me-BN)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 층을 나노두께로 반복적층한 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자를 제공한다.
나노 다층막, 확산 방지 막, 다이아몬드, 금속 전극, 밀착력, metallization-
公开(公告)号：KR100889372B1
公开(公告)日：2009-03-19
申请号：KR1020070051602
申请日：2007-05-28
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 열적 안정성이 우수한 경질 다층 박막에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 TiAlN 막층과 BN 막층으로 이루어진 박막 단위체가 하나 이상 적층된 다층구조를 이루고 있으며, TiAlN 막층과 BN 막층 각각의 두께 조절과 더불어 박막 단위체의 두께 조절에 의해 고온에서의 열적 안정성을 도모하여 상온 내지 900℃의 고온 조건에서도 고 경도화에 의한 내마모성을 향상시키므로, 절삭공구 및 미세 정밀부품의 표면 피복용 재료로 사용되어서는 표면강도를 향상시키는 효과가 기대되는 경질 다층 박막에 관한 것이다.
경질 다층 박막, TiAlN, BN, 금속질화물, 경도, 열 안정성-
公开(公告)号：KR1020080104607A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：KR1020070051602
申请日：2007-05-28
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: A TiAlN / BN multilayer hard thin film is provided to improve the hardness and thermal stability at the same time. A hard multi-layered thin film with a superior thermal stability by using the unbalanced magnetron sputtering apparatus in which two targets are faced. One target of the apparatus is made of the TiAl alloy controlling the aluminum content, the other one is BN. The content of the aluminum within the TiAl target characterizes to do to 50 atomic percentage.
Abstract translation: 提供TiAlN / BN多层硬质薄膜，以同时提高硬度和热稳定性。 一种硬质多层薄膜，通过使用两个目标物体的不平衡磁控溅射装置，具有优异的热稳定性。 该设备的一个目标是由控制铝含量的TiAl合金制成，另一个是BN。 TiAl靶内铝的含量为50原子百分比。
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公开(公告)号：KR102224624B1
公开(公告)日：2021-03-08
申请号：KR1020190023352
申请日：2019-02-27
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/0725 , H01L31/05 , H01L31/032 , H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 본발명의일 관점에따르면, 서로다른밴드갭을갖는 2개이상의광흡수층이적층된다중접합태양전지를제공한다. 상기다중접합태양전지는제 1 광흡수층을구비하는제 1 셀; 및상기제 1 셀상에전기적으로직렬연결된제 2 셀;을포함하고, 상기제 2 셀은상기제 1 광흡수층보다상대적으로밴드갭이더 큰제 2 광흡수층및 상기제 2 광흡수층을관통하는복수개의홈부를포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102214451B1
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：KR1020190029960
申请日：2019-03-15
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/068 , H01L31/0224 , H01L31/036 , H01L21/02
Abstract: 본발명의일 실시예는, 순서대로적층된후면전극층, 패시베이션유전체층및 실리콘웨이퍼층을포함하는태양전지셀의후면전계영역을형성하는방법에있어서, a) 레이저를이용하여상기후면전극층및 상기패시베이션유전체층의일부를제거하는단계, b) 상기 a) 단계에따라상기후면전극층및 상기패시베이션유전체층이제거된영역에소정의금속물질을공급하는단계, 그리고, c) 상기 b) 단계에따라공급된소정의금속물질, 상기후면전극층및 상기실리콘웨이퍼층이전기적으로접합하도록소성공정을수행하여후면전계영역을형성하는단계를포함하는태양전지셀의후면전계영역형성방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR101924538B1
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：KR1020170118058
申请日：2017-09-14
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/032 , H01L31/0224 , H01L31/18
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公开(公告)号：KR101938727B1
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：KR1020170136709
申请日：2017-10-20
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/0392 , H01L31/0445 , H01L31/0224 , H01L31/032
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公开(公告)号：KR101740964B1
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：KR1020160075788
申请日：2016-06-17
Applicant: 한국과학기술연구원 , 프리시젼다이아몬드 주식회사
Abstract: 본발명은샹크부와, 상기샹크부의하부에접합되는선단부를포함하는본딩툴로서, 상기선단부는기판과, 상기기판의하면에증착되는증착막을포함하고, 상기샹크부의하부와상기선단부사이에는금속층이개재되며, 상기샹크부의하부면과상기금속층의일면이부분적으로접합되도록하고, 상기금속층의타면과상기선단부의일면이부분적으로접합되도록, 상기금속층의양면에는각각복수의부분접합부가형성되어있는본딩툴에관한것이다.
Abstract translation: 本发明是，接合工具包括接合到下部的柄部和所述柄部的前端部之间的金属层，所述远端部分包括：基板;和包括根据所述基片上沉积一个气相沉积膜，所述柄部分底部和所述远端 插入，并且，所述柄部的下表面和金属层的，并且使得一个表面部分接合，所述金属层的前端表面的表面被部分地结合到，双方，具有多个局部结的接合在金属层的形成 它涉及到的工具。
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