公开(公告)号：KR1020140120961A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：KR1020130036156

申请日：2013-04-03

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 어영주 ,  조준식 ,  박주형 ,  윤경훈 ,  안세진 ,  곽지혜 ,  윤재호 ,  조아라 ,  신기식 ,  안승규 ,  유진수 ,  박상현

IPC: H01L31/0749 ,  H01L31/042 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/0749 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02614 ,  H01L31/03923 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 태양전지에 사용되는 CI(G)S의 제조 과정 중 셀렌화 공정의 효율을 높이기 위한 방법으로 더욱 구체적으로는 CI(G)S계 전구체 박막을 일정 콘테이너 혹은 챔버에 삽입하여, 상기 콘테이너 혹은 챔버 내에 셀레늄(Se)을 주입하고 온도를 올려 셀렌화하는 공정을 통해 고압력 셀렌화가 가능한 것에 관한 것으로 일정 콘테이너 혹은 챔버 내에 셀레늄(Se) 분압을 높여 고압력 셀렌화를 통해 손실되는 셀레늄(Se)을 줄일 수 있고, 셀렌화의 효율을 높이고 열처리의 시간을 단축시킬 수 있는 효과를 나타낸다.
이를 위해 상기 CI(G)S계 전구체 박막과 상기 챔버(Chamber)의 간격이 6 mm 내지 20 mm이고, 상기 챔버(Chamber)에 셀레늄(Se)을 주입하며, 셀렌화를 위한 열처리는 상기 챔버(Chamber)의 내측 일면 또는, 내측 전면에 위치하는 발열체에 의해 온도를 증가시킨다.

Abstract translation: 本发明涉及一种在太阳能电池中使用的CI（G）S系薄膜的制造工序中提高硒化工序的效率的方法，更具体地说，涉及一种可以通过以下方法实现高压硒化： 将CI（G）S基前体薄膜插入到某个容器或室中，将硒（Se）注入容器或室中，并提高温度进行硒化。 该方法可以通过增加某些容器或室内硒（Se）的分压来降低高压硒化硒（Se）的量，提高硒化效率，减少热处理时间 。 为了达到此目的，使CI（G）S系前体薄膜与室之间的间隙为6〜20mm， 硒（Se）注入室内; 并且通过使用放置在室的一个内侧或内部前部的加热单元来进行温度来进行硒化的热处理。

公开(公告)号：KR1020140120414A

公开(公告)日：2014-10-14

申请号：KR1020130035753

申请日：2013-04-02

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 어영주 ,  윤경훈 ,  안세진 ,  곽지혜 ,  윤재호 ,  조아라 ,  신기식 ,  안승규 ,  조준식 ,  유진수 ,  박상현 ,  박주형

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/0322 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/18 ,  Y02E10/541

Abstract: 본 발명은 황동광계 태양전지의 광흡수층을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 황동광계 화합물의 전구체를 포함하는 박막을 형성하는 단계; 및 상기 박막에 빛을 조사하는 단계를 포함하며, 상기 황동광계 화합물 전구체가 빛 에너지를 흡수하여 결정화가 진행되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 황동광계 광흡수층을 형성하는 과정에서 열을 가하지 않고 빛을 이용함으로써, 열에 의해서 기판이 손상되는 문제없이 황동광계 광흡수층을 형성할 수 있는 효과가 있다.
또한, 황동광계 광흡수층을 형성하는 과정에서 열을 가하지 않고 빛을 이용함으로써, 몰리브덴 후면전극이 가열되어 MoSe
2 가 형성되는 문제가 없다.
나아가, 박막에 깊이 침투하는 장파장 범위의 빛을 먼저 조사하고 얕게 침투하는 단파장 범위의 빛을 나중에 조사함으로써, 아래쪽에서부터 순차적으로 황동광계 광흡수층을 형성할 수 있는 효과가 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种形成基于黄铜矿的太阳能电池的光吸收层的方法，包括以下步骤：形成包含黄铜矿基化合物的前体的薄膜; 并用光照射薄膜，其中基于黄铜矿的化合物的前体吸收光能以使其结晶。 在本发明中，由于在不施加热量的情况下，在形成基于黄铜矿的光吸收层的过程中使用光，所以可以形成基于黄铜矿的光吸收层，而不会由于热而损坏基板。 此外，由于在不施加热量的情况下使用形成基于黄铜矿的光吸收层的光，因此不会产生后钼电极被加热以形成MoSe_2的问题。 此外，由于首先辐射具有深度渗透到薄膜的长波长范围的光，并且稍后辐射具有薄薄的薄膜的短波长范围的光，因此能够依次形成黄铜矿型光吸收层 从底部。

公开(公告)号：KR101406704B1

公开(公告)日：2014-06-12

申请号：KR1020130042782

申请日：2013-04-18

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 곽지혜 ,  윤재호 ,  안승규 ,  신기식 ,  안세진 ,  조아라 ,  윤경훈 ,  어영주 ,  조준식 ,  박상현 ,  박주형 ,  유진수 ,  최혜림

IPC: H01L31/06 ,  H01L31/042 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/0322 ,  Y02E10/541

Abstract: The present invention relates to a method of manufacturing a quality CZTSe light absorption thin film based on a simultaneous vacuum evaporation process. The method includes: (a) a step of depositing Cu, Zn, Sn, and Se onto a substrate by evaporating the same simultaneously; and (b) a step of lowering the temperature of the substrate and depositing Zn, Sn, and Se by evaporating the same simultaneously. By performing a simultaneous vacuum evaporation process and then performing an additional evaporation process while lowering the temperature of the substrate, the present invention is able to resolve the problems due to the loss of Sn accompanied in a high-temperature simultaneous vacuum evaporation process. A CZTSe light absorption thin film manufactured by the manufacturing method given in the present invention has excellent membranous property so that a CZTSe solar cell manufactured using the same is able to have improved photoelectric conversion efficiency.

Abstract translation: 本发明涉及一种基于同时真空蒸镀工艺制造质量好的CZTSe光吸收薄膜的方法。 该方法包括：（a）通过同时蒸发将Cu，Zn，Sn和Se沉积到衬底上的步骤; 和（b）降低衬底温度并同时蒸发Zn，Sn和Se的步骤。 通过同时进行真空蒸发处理，然后在降低基板的温度的同时进行额外的蒸发处理，本发明能够解决由于伴随着高温同时真空蒸发处理而引起的Sn的损失的问题。 通过本发明的制造方法制造的CZTSe光吸收薄膜具有优异的膜性质，因此使用其制造的CZTSe太阳能电池能够提高光电转换效率。

公开(公告)号：KR101388451B1

公开(公告)日：2014-04-24

申请号：KR1020120087925

申请日：2012-08-10

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 조아라 ,  윤경훈 ,  안세진 ,  윤재호 ,  곽지혜 ,  신기식 ,  박상현 ,  박주형

IPC: H01L31/0749 ,  H01L31/042 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/18 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02601 ,  H01L21/02614 ,  H01L21/02628 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/03923 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 CI(G)S계 원소를 포함하는 두 종류 이상의 이성분계 나노입자, CI(G)S계 원소를 포함하는 용액 전구체, 알코올계 용매 및 킬레이트제를 혼합하여 제조한 슬러리를 사용함으로써 CI(G)S계 박막과 몰리브데늄 사이에 형성되는 탄소층을 감소시킬 수 있는 CI(G)S계 박막의 제조방법에 관한 것이다. 구체적으로는, 본 발명에 따른 CI(G)S계 박막의 제조방법은 CI(G)S계 원소를 포함하는 두 종류 이상의 이성분계 나노입자, CI(G)S계 원소를 포함하는 용액 전구체, 알코올계 용매 및 킬레이트제를 혼합하여 슬러리를 제조하는 단계(단계 a); 상기 슬러리를 비진공 코팅하여 CI(G)S계 박막을 형성하는 단계(단계 b); 및 상기 형성된 CI(G)S계 박막에 셀렌화 열처리하는 단계(단계 c)를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020140038200A

公开(公告)日：2014-03-28

申请号：KR1020120104629

申请日：2012-09-20

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 박상현 ,  곽지혜 ,  안세진 ,  윤경훈 ,  신기식 ,  안승규 ,  조아라 ,  윤재호 ,  조준식 ,  유진수 ,  박주형 ,  어영주

IPC: H01L51/56 ,  H01L21/20

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/564 ,  C30B23/066

Abstract: Disclosed are a vacuum evaporation source with a source residue discharge type shutter and an evaporation device including the same. The vacuum evaporation source with the source residue discharge type shutter comprises a vacuum evaporation source body including an outer container which provides a cylindrical inner space, a crucible which is mounted inside the outer container, and a heater which is arranged between the outer container and the crucible and heats the crucible; and a shutter which is disposed at the output side of the vacuum evaporation source body to open and close the output of the crucible and has multiple flow guides extended from an area corresponding to the output of the crucible to the outer area of the outer container to discharge a source residue condensed at the inner surface facing the output of the crucible to the outside of the outer container. The evaporation device according to the present invention has the above-described configuration and comprises multiple vacuum evaporation sources disposed to be inclined to the center of a substrate in a vacuum chamber.

Abstract translation: 公开了一种具有源极残渣放电型快门的真空蒸发源和包括其的蒸发装置。 具有源残渣排放型活门的真空蒸发源包括：真空蒸发源体，其包括提供圆柱形内部空间的外部容器;安装在外部容器内部的坩埚;以及加热器，其设置在外部容器和 坩埚加热坩埚; 以及快门，其设置在真空蒸发源体的输出侧，以打开和关闭坩埚的输出，并且具有从与坩埚的输出对应的区域延伸到外部容器的外部区域的多个流动引导件， 将在面向坩埚输出的内表面处冷凝的源残渣排出到外容器的外部。 根据本发明的蒸发装置具有上述结构，并且包括多个真空蒸发源，其设置成在真空室中倾斜于基板的中心。

公开(公告)号：KR101282291B1

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：KR1020120022668

申请日：2012-03-06

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 조준식 ,  윤경훈 ,  안세진 ,  곽지혜 ,  윤재호 ,  조아라 ,  신기식 ,  안승규 ,  어영주 ,  유진수 ,  박상현 ,  박주형

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/1828 ,  H01G9/204 ,  H01G9/2059 ,  H01G9/209 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/1888 ,  H01L51/42 ,  H01L51/4233 ,  H01L51/447 ,  Y02E10/542 ,  Y02E10/549

Abstract: PURPOSE: A method for forming a ZnO concavo-convex structure and a solar cell using the same are provided to form a uniform thin film on a concavo-convex structure by using a wet etching method. CONSTITUTION: A substrate (10) is prepared. A nanostructure (20) of which height and width is nanometer scale is formed. A zinc oxide thin film (30) is formed on the substrate having the nanostructure. The zinc oxide thin film is wet-etched. A concavo-convex structure (35) is formed by etching the periphery of the nanostructure.

Abstract translation: 目的：提供一种用于形成ZnO凹凸结构的方法和使用其的太阳能电池，以通过使用湿式蚀刻方法在凹凸结构上形成均匀的薄膜。 构成：制备基材（10）。 形成高度和宽度为纳米级的纳米结构（20）。 在具有纳米结构的基板上形成氧化锌薄膜（30）。 氧化锌薄膜被湿式蚀刻。 通过蚀刻纳米结构的周边形成凹凸结构（35）。

公开(公告)号：KR101279370B1

公开(公告)日：2013-07-04

申请号：KR1020110140283

申请日：2011-12-22

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 곽지혜 ,  윤재호 ,  안세진 ,  윤경훈 ,  정성훈 ,  신기식 ,  안승규 ,  조아라 ,  박상현

IPC: H01L31/06 ,  H01L31/042 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 태양전지용 CZTSe계 박막의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 CZTSe계 박막이 개시된다. 본 발명의 CZTSe계 박막의 제조방법은, (S1) Cu, Zn, Sn 및 Se을 동시진공증발법에 따라 기판에 증착하는 단계; 및 (S2) 감소된 기판 온도에서 Sn과 Se을 동시진공증발법에 따라 추가로 증착시키는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 고온의 기판 온도에서 Cu, In, Sn, Se를 동시진공증발법을 이용하여 증착한 후 그보다 낮은 기판 온도에서 Sn과 Se을 추가로 증착함으로써 높은 기판 온도에서의 열처리에 의한 Sn 손실을 최소화하고, 박막 내 원소 분포를 균일하게 하여 궁극적으로 에너지 변환효율이 높은 태양전지용 CZTSe계 박막을 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020120110496A

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：KR1020110028388

申请日：2011-03-29

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 조준식 ,  박상현 ,  이정철 ,  박주형 ,  신기식 ,  윤경훈

IPC: H01L31/054 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/054 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/18

Abstract: PURPOSE: A rear reflective film for a thin film solar cell, a forming method thereof and the thin film solar cell including the same are provided to improve the scattering reflectance of a wavelength area by improving the surface illumination of the rear reflective film. CONSTITUTION: An aluminum layer(22) is formed on a substrate. One or more materials selected from Si, O, Cu and Pt dope the aluminum layer. The doped aluminum layer intensifies crystal growth. A transparent conductive film(24) is formed on the surface of the doped aluminum layer. A silver coating layer(23) is formed on the doped aluminum layer.

Abstract translation: 目的：提供一种用于薄膜太阳能电池的后反射膜，其形成方法和包括该反射膜的薄膜太阳能电池，以通过改进后反射膜的表面照明来改善波长区域的散射反射率。 构成：在基板上形成铝层（22）。 选自Si，O，Cu和Pt中的一种或多种材料掺杂铝层。 掺杂的铝层增强晶体生长。 在掺杂的铝层的表面上形成透明导电膜（24）。 在掺杂的铝层上形成银涂层（23）。

公开(公告)号：KR101063250B1

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：KR1020080111752

申请日：2008-11-11

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 장보윤 ,  안영수 ,  김준수 ,  박상현 ,  김동국 ,  유권종

IPC: C30B13/14 ,  C30B13/24 ,  C30B15/10 ,  C30B15/16

CPC classification number: C30B13/14 ,  Y10T117/10 ,  Y10T117/1024 ,  Y10T117/1032 ,  Y10T117/1068

Abstract: 간접 용융 및 직접 용융이 가능한 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니 및 이를 이용한 실리콘 용융 정련 장치에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 실리콘 전자기 유도 용융용 흑연 도가니는 상부가 개방되어 실리콘 원료가 장입되고, 외측 벽이 유도코일에 의해 둘러싸이는 원통형 구조를 갖는 흑연 재질의 도가니로서, 상기 유도코일에 흐르는 전류에 의해 발생하는 전자기력이 상기 도가니 내부 중심방향으로 작용하여, 용융되는 실리콘이 상기 전자기력에 의해 상기 도가니 내측 벽에 접촉하지 않도록, 상기 도가니 외측 벽과 내측 벽을 관통하는 연직방향의 복수의 슬릿이 형성되어 있는 것으로 이루어진다.

公开(公告)号：KR101034618B1

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：KR1020070130209

申请日：2007-12-13

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 한치환 ,  한상도 ,  전명석 ,  전일수 ,  박상현 ,  이학수

IPC: H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/542

Abstract: 본 발명은 염료감응 태양전지용 겔형 고분자 전해질, 이를 포함하는 염료감응 태양전지 및 염료감응 태양전지의 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게, 본 발명은 자외선 경화형 우레탄아크릴레이트 단량체, 이의 올리고머, 이의 중합체 및 이의 공중합체로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 고분자 성분을 포함함으로써, 종래의 액체 전해액에서 발생하는 전해액의 휘발 또는 누출의 문제점을 최소화하고, 염료감응 태양전지에 적용시 외부의 환경변화에 대하여 장기적으로 안정하면서, 동시에 종래 액체 전해액에서와 유사한 전압 및 광전환 효율을 나타내는 염료감응 태양전지용 겔형 고분자 전해질, 이를 포함하는 염료감응 태양전지 및 염료감응 태양전지의 제조방법에 관한 것이다.
자외선, 경화, 겔, 고분자, 전해질, 염료감응, 태양전지, 우레탄아크릴레이트