公开(公告)号：KR1019950021033A

公开(公告)日：1995-07-26

申请号：KR1019930027861

申请日：1993-12-15

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 장원익 ,  이종현 ,  장기호 ,  유형준

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 반도체 노광장비에 관한 것으로 특히 웨이퍼에 도포된 감광물질 위에 상을 형성시키는 노광장비의 구성장치인 가변 전정력이 가능한 레티클이송 및 구동 장치에 관한 것으로서 전정렬 오차를 수백㎛에서 수㎛로 가변할 수 있도록 전정렬 기능이 있는 자동 이송장치와 전정렬 및 정렬오차 내로 구현하기 위해0.01㎛ 해상도의 기어모터와 힌지스프링에 의해XY방향으로, 회전베어링과 기어모터에 의해 θ방향 그리고 X,Y와θ방향의 전정렬 오차가 수백㎛에서 수5㎛까지 변할 수 있도록 개선되도록 하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019940016685A

公开(公告)日：1994-07-23

申请号：KR1019920025026

申请日：1992-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이종현 ,  박흥옥

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 초고집적 반도체 분야에서 이용되는 것으로 전기적 입력에 따라 운동의 원인을 제공하는 구동체, 상기 구동체의 운동을 원하는 피구동체의 운동형태로 바꾸는 운동변환기구, 그리고 피구동체 자체와 피구동체를 정해진 궤적에 따라 운동을 유도하는 안내부등 크게 보아 이상의 4부분으로 이루어진 구동장치를 피가공 또는 피측정율의 위치를 정밀하게 구동하기 위하여 전체구조를 단판(monolithic)으로 얇게 제작하여 3축 운동이 정밀하게 이루어지도록 하는 힌지를 이용한 3축 운동의 단판 정밀 구동장치에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1019940012546A

公开(公告)日：1994-06-23

申请号：KR1019920020986

申请日：1992-11-10

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이상수 ,  이종현 ,  최상국 ,  강수일

IPC: H01L21/50

Abstract: 본 발명은 물체를 미크론 단위 이하의 극히 미세한 변위량을 원하는 위치로 이송하는데 필요한 소형 미세조정 장치에 관한 것으로, 좁은 공간내에서 얼라이먼트 마크 (18)의 높이, 기울기, 각도 등을 미세하게 위치 조정하기 위해 지지대 (6)에 얼라이먼트 마크 (18)가 접착된 테이블 (12)이 조립되며 3개의 지지대 암 (5) 끝부분에 소형정밀 피치를 갖도록 각각 구비된 상하 조절나사 (15)와; 상기 지지대 (6)에 테이블 (12)이 밀착되도록 하는 압축 스프링 (11)과; 상기 테이블 (12)을 회전시킬 수 있도록 하는 정밀소형 피치를 갖는 각도 조정나사 (16)와; 상기 테이블 (12)의 높이 및 기울기를 미세조정 하는 3개의 상하 조절나사 (15)룰 구성한 미세조정 장치이다.

公开(公告)号：KR1019940002734B1

公开(公告)日：1994-03-31

申请号：KR1019900021805

申请日：1990-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이종현 ,  김윤태 ,  김보우

IPC: H01L21/30

CPC classification number: G03F7/70691

Abstract: A wafer moving equipment, attached to a horizontal moving stage, is composed of (A) a hinge spring (11) of a rotation center connecting with a displacement enlarging part, (B) a displacement enlarging part for rotating a piezoelectric elongating element vertically, (C) a tilting equipment for assembling the hinge spring, the elongating element and the displacement enlarging part with 180o gap, and (D) a guiding component by assembling the same components of (C) at 90o angle to the moving direction.

Abstract translation: 安装在水平移动台上的晶片移动设备由（A）与位移放大部分连接的旋转中心的铰链弹簧（11）组成，（B）用于使压电伸长元件垂直地旋转的位移放大部分， （C）用于组装铰链弹簧，延伸元件和具有180°间隙的位移扩大部分的倾斜设备，以及（D）通过将（C）相同的部件（90）相对于移动方向组装的导向部件。

公开(公告)号：KR1019920005139B1

公开(公告)日：1992-06-26

申请号：KR1019890020565

申请日：1989-12-30

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 이종현 ,  이윤주 ,  김영부 ,  김지현

IPC: H04M3/22 ,  H04M3/08

Abstract: The circuit includes a maintenance processor (MP), and a buffer means (1) connected to a TD-bus. A shift register means (3) is connected to the buffer means (1), and an address decoder means (2) receives the address of an alarm access control unit assembly. An RDY signal generating means (4) receives RDY signals from the maintenance processor (MP), and a data buffer means (5) is connected to the shift register means (3). A parity generating/detecting and error signal generating means (6) is connected to the means (3)(4)(5). With the circuit, the errors of the TD-bus and other malfunctions are promptly detected.

Abstract translation: 电路包括维护处理器（MP）和连接到TD总线的缓冲器装置（1）。 移位寄存器装置（3）连接到缓冲装置（1），地址解码装置（2）接收报警存取控制单元组件的地址。 RDY信号发生装置（4）从维护处理器（MP）接收RDY信号，并且数据缓冲器装置（5）连接到移位寄存器装置（3）。 奇偶产生/检测和误差信号发生装置（6）连接到装置（3）（4）（5）。 使用该电路，会及时检测到TD总线错误和其他故障。

公开(公告)号：KR1019920005014B1

公开(公告)日：1992-06-22

申请号：KR1019890019581

申请日：1989-12-27

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 김영부 ,  이종현 ,  이미혜

IPC: H04M3/22 ,  H04Q11/00

Abstract: The circuit includes an address buffer (11) and an address decoder (12) connected to the address buffer (11). A control signal generating means (13) is connected to the address decoder (12), and a data latch means (14) is connected to the control signal generating means (13), thereby forming a level interface means (1) . A relay decoding and driving means (15) is connected to the level interface means (1), and a relay group (16) is connected to the relaying and driving means (15), thereby forming a relay control means (2). Further, subscriber line modules (17,18) and a time slot designating means (20) constitute a communication means (3). With the circuit, a line testing and a circuit testing can be carried out simultaneously.

Abstract translation: 电路包括地址缓冲器（11）和连接到地址缓冲器（11）的地址解码器（12）。 控制信号发生装置（13）连接到地址解码器（12），数据锁存装置（14）连接到控制信号发生装置（13），从而形成电平接口装置（1）。 继电器解码和驱动装置（15）连接到电平接口装置（1），并且继电器组（16）连接到继电和驱动装置（15），从而形成继电器控制装置（2）。 此外，用户线路模块（17,18）和时隙指定装置（20）构成通信装置（3）。 通过该电路，可以同时进行线路测试和电路测试。

公开(公告)号：KR100047073B1

公开(公告)日：1991-12-19

申请号：KR1019880017977

申请日：1988-12-30

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 장원익 ,  이용일 ,  이종현 ,  배남진

IPC: H01J37/10

公开(公告)号：KR102106315B1

公开(公告)日：2020-05-06

申请号：KR1020140074981

申请日：2014-06-19

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 한경은 ,  김선미 ,  권태현 ,  이종현 ,  조은영

IPC: H04L12/911 ,  H04L12/28

公开(公告)号：KR1020170006743A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：KR1020150097855

申请日：2015-07-09

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김광준 ,  윤지욱 ,  이정찬 ,  이종현 ,  이현재 ,  장순혁 ,  한찬교

IPC: H04Q11/00 ,  H04J14/02

Abstract: 파장-공간-시간광 스위칭을위한전광스위칭네트워크장치및 그방법이개시된다. 본발명의일 실시예에따른전광스위칭네트워크장치는, 전광스위칭패브릭으로패킷을전송하거나전광스위칭패브릭으로부터패킷을수신하는다수의톱오브랙(Top of Rack: ToR, 이하 ToR이라칭함) 스위치와, 소스측 ToR 스위치로부터수신된광 패킷을전광스위칭(all-optical switching)하여목적지측 ToR 스위치로전송하는배열도파로격자라우터(Arrayed Waveguide Grating Router: AWGR, 이하 AWGR이라칭함)가다수개의어레이형태로공간상에배치되는전광스위칭패브릭을포함한다.

公开(公告)号：KR1020160123646A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：KR1020150053950

申请日：2015-04-16

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이준기 ,  강세경 ,  허준영 ,  이종현

IPC: H04B10/40 ,  H04B10/07

Abstract: 본발명에따른동작속도자율설정광 트랜시버장치는전기신호가설정된동작속도에의해고정되지않은경우, 고정손실(Loss of Lock, LOL) 신호를생성하는광송신부, 설정된동작속도에따라수신된광신호를전기신호로변환하여재생하는광수신부및 생성된고정손실신호에기초하여광 트랜시버장치의동작속도를설정하는동작제어부를포함한다.