公开(公告)号：KR100836953B1

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：KR1020070067428

申请日：2007-07-05

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 이민규 ,  유리유레프 ,  조양구 ,  이확주 ,  김주황

IPC: H01L21/66

Abstract: A soft X-ray reflection apparatus for measuring a thickness of silicon compound formed on a silicon substrate is provided to perform a correct thickness measurement process by obtaining accurately an angle of light. A target(120) is formed to convert an electron beam(110) to an X-ray(121). The target is made of one or more elements of W, Re, and Os or is coated with one or more compounds. A soft X-ray spectrum single crystal(130) is formed to introduce a soft X-ray(131) from the target onto a sample(1) as a silicon substrate having a silicon compound. A detector(140) detects a degree of energy absorbed into the silicon substrate while the soft X-ray reflected from the soft X-ray spectrum single crystal is absorbed into the silicon substrate. An analyzer(150) analyzes an incident angle and an output angle of the soft X-ray by using the degree of the absorbed energy.

Abstract translation: 提供了用于测量形成在硅衬底上的硅化合物的厚度的软X射线反射设备，以通过准确地获得光的角度来执行正确的厚度测量过程。 形成靶（120）以将电子束（110）转换成X射线（121）。 靶由W，Re和Os的一种或多种元素制成或涂覆有一种或多种化合物。 形成软X射线光谱单晶（130），以将来自靶的软X射线（131）引入作为具有硅化合物的硅衬底的样品（1）上。 当从软X射线光谱单晶反射的软X射线被吸收到硅衬底中时，检测器（140）检测吸收到硅衬底中的能量的程度。 分析器（150）通过使用吸收能量的程度来分​​析软X射线的入射角度和输出角度。

公开(公告)号：KR100588335B1

公开(公告)日：2006-06-09

申请号：KR1020040040408

申请日：2004-06-03

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박상열 ,  김영호 ,  양인철 ,  김주황

IPC: B81C1/00

Abstract: 본 발명은 고품질의 용융실리카를 활용하여 다중 채널 전기영동칩을 단순하고 경제적인 방법으로 대량 생산하는 방법과 내구성 및 광학적 특성이 우수하고 경제성 및 범용성이 뛰어난 다중 채널 전기영동칩에 관한 것이다.
본 발명은 이미 고품질로 생산 판매되고 있는 용융실리카 모세관을 활용하여 고가의 시설없이도 고품질의 고밀도 전기영동칩을 경제적인 방법으로 대량 생산할 수 있는 방법을 제공한다.
본 발명에서는 배열된 모세관을 기계적 강도가 높고 광학적 특성이 좋은 에폭시 수지에 침적시켜 칩을 제조함으로써, 전기영동칩의 내구성 등 현장 적용성이 극대화되도록 하였으며, 칩의 길이를 임의로 가변하여 다양한 분석용도에 활용할 수 있도록 하였다.
용융실리카 모세관, 다중 채널, 전기영동칩, 경제성, 고품질

公开(公告)号：KR100574775B1

公开(公告)日：2006-04-28

申请号：KR1020040028405

申请日：2004-04-23

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박상열 ,  김주황 ,  조양구 ,  유범조

IPC: G01N35/02

Abstract: 본 발명은 이송장치의 위치에 따라 다중 모세관의 간격이 가변될 수 있는 간격 가변형 다중 모세관을 이용한 시료용액 이송장치에 관한 것이다. 이를 위해, 복수의 시료용액 각각을 동시에 흡입하여 이송하기 위하여, 복수의 시료용액을 흡입 및 배출할 수 있는 흡입배출수단(10); 일단이 흡입배출수단(10)에 연결되고 타단이 상기 각 시료용액에 담궈지는 복수의 모세관(10); 모세관(10)을 직교하는 XYZ축 방향으로 각각 이송시킬 수 있는 이송수단;을 포함하는 시료용액 이송장치에 있어서, 이송수단의 제 1 위치 및 제 2 위치에 대응하여 각 모세관(10)의 간격을 소정 간격으로 변이시킬 수 있는 간격변이수단이 제공된다.
모세관, 시료용액, 이송장치, 실린더, 공압, 모터, 샘플조, 바이오칩

公开(公告)号：KR1020050103028A

公开(公告)日：2005-10-27

申请号：KR1020040028405

申请日：2004-04-23

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 박상열 ,  김주황 ,  조양구 ,  유범조

IPC: G01N35/02

CPC classification number: G01N35/10 ,  G01N35/1011 ,  G01N2035/0479 ,  G01N2035/1039

Abstract: 본 발명은 이송장치의 위치에 따라 다중 모세관의 간격이 가변될 수 있는 간격 가변형 다중 모세관을 이용한 시료용액 이송장치에 관한 것이다. 이를 위해, 복수의 시료용액 각각을 동시에 흡입하여 이송하기 위하여, 복수의 시료용액을 흡입 및 배출할 수 있는 흡입배출수단(10); 일단이 흡입배출수단(10)에 연결되고 타단이 상기 각 시료용액에 담궈지는 복수의 모세관(10); 모세관(10)을 직교하는 XYZ축 방향으로 각각 이송시킬 수 있는 이송수단;을 포함하는 시료용액 이송장치에 있어서, 이송수단의 제 1 위치 및 제 2 위치에 대응하여 각 모세관(10)의 간격을 소정 간격으로 변이시킬 수 있는 간격변이수단이 제공된다.