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公开(公告)号：WO2012157867A2
公开(公告)日：2012-11-22
申请号：PCT/KR2012/003463
申请日：2012-05-03
CPC classification number: H01J49/0004 , H01J49/142 , H01J49/164 , H01J49/40 , H01J49/406
Abstract: 본 발명의 목적은 분석하고자 하는 대상의 분자량에 제한받지 않고 약물/대사체/지질/펩타이드와 같은 저분자량 분석이나 유전자/단백질과 같은 고분자량 분석이 모두 가능하도록 레이저빔 또는 이온빔을 동시에 사용하고, 또한 주사형 방법이 아닌 현미경 방법을 사용함으로써 측정 속도를 비약적으로 증대시키는, 초고속 멀티 모드 질량 분석을 위한 비행시간 기반 질량 현미경 시스템을 제공함에 있다.
Abstract translation: 本发明旨在提供一种用于超高速多模式质量分析的基于飞行时间的质量显微镜系统，用于同时使用激光束或离子束以实现低分子量分析，例如用于药物/代谢物/ 脂质/肽或高分子量分析，例如基因/蛋白质，而不受被分析物体的分子量的限制，并且通过使用显微镜法而不是扫描方法显着提高测量速度。
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公开(公告)号：WO2016024704A1
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：PCT/KR2015/005337
申请日：2015-05-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 하전입자 현미경의 입자빔 제어 장치 및 방법에 관한 것으로, 보 다 상세하게는 하전입자 현미경내 하전입자빔을 제어함으로써, 시료 표면의 정보를 획득하기 위해 정전 방식 또는 자기 방식의 편향기(스캐너)에 의해 왜곡되는 동적 특성을 바로 잡아 원하는 위치에 하전입자빔을 조사 시킴으로써 측정된 시료표면의 이미지가 왜곡되는 것을 방지하고, 고속으로 이미지를 획득 할 수 있도록 하며, 원하는 형태로 시료 표면을 가공할 수 있도록 하는 하전 입자빔 제어 장치 및 이를 이용한 하전입자빔의 제어 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种带电粒子显微镜的粒子束控制装置和方法，更具体地，涉及一种带电粒子束控制装置和使用该粒子束控制装置的带电粒子束控制方法，该方法控制带电粒子内的带电粒子束 显微镜，以校正由静电方案或磁性方案的偏转器（扫描仪）变形的动态特性，并将带电粒子束照射到期望的位置，以获取样本表面上的信息，从而防止样本表面的测量图像 不会变形，能够快速获取图像，并且能够以期望的形式处理样品表面。
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公开(公告)号：WO2017200124A1
公开(公告)日：2017-11-23
申请号：PCT/KR2016/005350
申请日：2016-05-20
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 모노크로미터에서 전자선의 진로를 편향시키는 원통형 정전렌즈를 대칭으로 배열하고 그 사이에 선택 가능한 복수개의 슬릿(slit)이 포함된 조리개(aperture)를 배치하여 중심 에너지 범위의 전자선을 선택하는 것이 가능한 모노크로미터를 구비한 전자선장치에 관한 것으로, 슬릿과 원형의 개구부를 하나의 조리개부에 병렬 배치하여 고분해능을 가지면서도 유지보수성능이 뛰어난 모노크로미터를 구비하기 때문에 공간분해능과 에너지분해능이 향상되는 효과를 가진다.
Abstract translation:
本发明通过将一个单色孔径（孔径）在偏转电子束的路径的圆筒形静电透镜的对称布置包括多个狭缝（狭缝）选自那些在选择 有能够单色本发明涉及一种电子束装置，将所述狭缝的开口作为优异的维护性止动部的圆形的，而具有高分辨率单色仪的中心，平行包括在所述能量范围内选择所述电子束 因此空间分辨率和能量分辨率得到改善。
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公开(公告)号：WO2016140542A1
公开(公告)日：2016-09-09
申请号：PCT/KR2016/002174
申请日：2016-03-04
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/0303 , G01N21/255 , G01N21/27 , G01N21/3577 , G01N21/8507 , G01N2021/0346
Abstract: 본 발명은 극미량 시료용 고감도 흡광셀을 포함하는 측정 장치에 관한 것으로, 양 단이 개방된 중공형상의 모세관을 포함하는 흡광셀; 상기 흡광셀의 일단이 장착되고, 상기 흡광셀의 상부에 배치되어 상기 흡광셀의 일단으로 빛을 조사하는 광 조사부를 포함하는 흡광셀 장착 블록; 내부에 담긴 시료에 상기 흡광셀의 타단이 침지되도록 배치된 측광용 침지부를 포함하고, 상기 흡광셀의 일단으로 조사되어 타단으로 방출되는 빛을 검출하는 수광 블럭;을 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种包括微量样品使用的高灵敏度光吸收单元的测量装置，该装置包括：含有毛细管的光吸收单元，两端都是中空的; 光吸收单元的一端安装在其上的光吸收单元安装块，并且包括发光单元，设置在光吸收单元的上部，用于向光吸收单元的一端照射光; 以及光接收块，其包括以使得所述光吸收单元的另一端浸入其中包含的样品的方式设置的光计量浸没单元，并且其检测照射到所述光吸收单元的一端的光;以及 发射到另一端。
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公开(公告)号：WO2015083973A1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/KR2014/011388
申请日：2014-11-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
Abstract: 본 발명은 하전입자 빔을 방출하는 하전입자 소스, 상기 하전입자 소스쪽에 구비되며, 전기장 또는 자기장에 의해 상기 하전입자 빔을 집속하여 주는 하나이상의 중간 집속렌즈, 및 최종 집속렌즈로서 시료쪽에 구비되며, 시료위에 집속되는 빔 스폿인 하전입자 빔 프로브를 형성시키는 대물렌즈를 포함하는 집속렌즈군, 상기 하전입자 소스 및 집속렌즈군을 내부에 구비하며, 상기 하전입자 소스로부터 방출된 하전입자 빔이 대물렌즈를 거쳐 시료에 조사되는 통로인 어퍼처를 구비하는 진공챔버, 상기 하전입자 빔의 조사 방향을 제어하여 바꾸어 주는 하나 이상의 편향기, 및 관찰 또는 가공하려는 시료를 지지하며, 상기 시료를 이동할 수 있는 시료 스테이지를 포함하는 하전입자 빔 프로브 형성 장치 및 이를 이용하여 시료를 관찰 또는 가공하는 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及带电粒子束探针形成装置和使用其的样品的观察或处理方法，该装置包括：用于发射带电粒子束的带电粒子源; 聚焦透镜组包括至少一个中间聚焦透镜，其设置在与带电粒子源相邻的位置处以通过电场或磁场聚焦带电粒子束，以及与样品相邻设置的物镜作为最终 聚焦透镜形成带电粒子束探针，其是聚焦在样品上的束斑; 包含带电粒子源和聚焦透镜组的真空室，其具有用作通道的孔，通过该通道使从带电粒子源发射的带电粒子束经由物镜瞄准样品; 至少一个偏转器，用于控制和改变带电粒子束的瞄准方向; 以及支持待观察或处理的样品并能够移动样品的样品台。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2012157868A3
公开(公告)日：2012-11-22
申请号：PCT/KR2012/003464
申请日：2012-05-03
Abstract: 본 발명의 목적은 비행시간 기반으로 질량 분석을 수행함에 있어서 종래에 비해 질량분해능을 훨씬 우수하게 하며, 이에 따라 다양한 약물/대사체/지질/펩타이드/유전자/단백질 등의 분석이 모두 가능하게끔 하는, 비행시간 기반 질량 분석을 위한 펄싱 클러스터 가스 이온건을 제공함에 있다.
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公开(公告)号：WO2017204380A1
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：PCT/KR2016/005545
申请日：2016-05-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 전자선장치에 구비되는 모노크로미터의 전극부를 통과하면서 에너지분포에 따라 분산되어 진행하는 전자선을 선택하는 에너지선택 슬릿을 미세하게 정밀가공하는 방법에 관한 것으로, 본 발명의 직사각형 슬릿은 에너지 선택을 위한 슬릿의 폭을 미세하면서도 정밀하게 가공하기 위하여 집속이온빔 장치(FIB)로 가공하고, 가공된 슬릿을 주사형 전자현미경 또는 투과형 전자현미경으로 측정한다. 또한 FIB와 전자현미경을 함께 설치한 장치를 이용하여 가공과 동시에 (in-situ) 측정을 수행하여 장치 간 이동 시간을 단축하고 제조 비용을 줄일 뿐 아니라 슬릿의 가공 정밀도를 높일 수 있으며, 슬릿의 정확한 치수, 슬릿에 부착되는 오염 입자(particle) 유무, 전자선의 슬릿 이외 부분 통과여부 및 슬릿의 정전기 검사를 통해 슬릿의 치수 정밀도를 개선하여 공간 분해능과 에너지 분해능이 향상된 슬릿을 갖춘 조리개부를 구현하여 궁극적으로 고성능 모노크로미터를 제조할 수 있다.
Abstract translation: 这
本发明涉及的方法中，在通过单色仪的电极分布在按照精确的电子束装置行进提供用于选择电子束能量选择狭缝的能量分布加工精细， 本发明的矩形缝隙被加工成聚焦离子束装置（FIB），和测量与扫描电子显微镜或透射型电子显微镜所处理的缝隙准确地处理，而微缝隙对能量选择的宽度。 此外，在相同的时间的处理通过使用与FIB和电子显微镜（原位）安装的装置通过减少设备之间的出行时间，以及降低制造成本，并增加狭缝的加工精度，狭缝准确执行测量 维，通过实现附连到该狭缝或不污染微粒（颗粒），通过的狭缝是否并穿过比电子束，以提高虹膜的狭缝部的与所述空间分辨率和能量分辨率增强狭缝的尺寸精度的部分之外的狭缝的静态检查最终 高性能单色器可以制造。
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公开(公告)号：WO2017164439A1
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：PCT/KR2016/002954
申请日：2016-03-24
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 하전입자선의 진로를 편향시키는 원통형 정전렌즈를 대칭으로 배열하고 그 사이에 에너지 선택 조리개(aperture)를 배치하여 중심 에너지 범위의 하전입자선을 선택하는 것이 가능한 하전입자선 장치에 관한 것으로, 모노크로미터 중앙 전극 및 상기 중앙전극을 중심으로 전방부와 후방부에 배열되는 복수 개의 전극이 절연을 통해 서로 고정되는 일체화 구조를 취하기 때문에, 전방부와 후방부에 각각의 렌즈를 별도로 마련하는 경우에 비해 광축에 대해 오프셋을 조정하는 기구가 간소해지는 장점을 가지며, 광학계의 대칭성에 의해 출사면에서 이차 수차가 상쇄된다.
Abstract translation:
本发明带电能够对称地设置在一个圆筒形静电透镜颗粒用于偏转线的过程和放置之间的能量选择孔（小孔）的选择在能量范围的中心的带电粒子束 由于整体式中心电极和布置在中心电极周围的前部和后部的多个电极通过绝缘彼此固定， 与分别设置各个透镜的情况相比，由于用于调整相对于光轴的偏移的机构的简单性，因此光学系统的对称性抵消了第二像差。
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公开(公告)号：WO2012153987A2
公开(公告)日：2012-11-15
申请号：PCT/KR2012/003657
申请日：2012-05-10
CPC classification number: H01J37/12
Abstract: 본 발명은 정전 렌즈의 구조에 관한 것으로서, 제 1 전극, 제 3 전극, 및 상기 제 1 전극과 상기 제 3전극의 사이에 일정 간격을 두고 이격 배치되는 제 2 전극을 포함하며, 세 전극의 중앙부에는 하전 입자 빔이 통과하는 관통구가 각기 형성되어 있으며, 세 전극의 관통구는 일렬로 정렬 배치되는 정전 렌즈의 구조를 개선한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及静电透镜的结构。 本发明的静电透镜包括第一电极，第三电极和插在第一电极和第三电极之间的第二电极，使得在三个电极之间存在预定的间隔。 三个电极中的每一个具有通孔，通过该通孔。 三个电极的通孔排列成一行。 因此，可以获得用于静电透镜的改进的结构。
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公开(公告)号：WO2010013921A2
公开(公告)日：2010-02-04
申请号：PCT/KR2009/004177
申请日：2009-07-28
IPC: G01J3/02
Abstract: 본 발명은 중에너지 이온빔 산란을 이용한 분광분석기에 관한 것으로서, 본 발명은 이온을 발생시키는 이온원(10); 이온을 평행빔으로 발생시키는 콜리메이터(collimator)(20); 평행빔을 가속화시키는 가속기(30); 가속된 이온빔을 펄스화하는 이온빔 펄스발생기(40); 펄스된 이온빔을 시편(1)으로 집속시키는 집속대물렌즈(50); 집속된 이온빔이 시편(1)으로부터 산란된 이온빔 펄스의 분광신호를 검출하는 검출기(60); 상기 검출기(60)에 의해 검출된 분광신호를 분석 처리하는 데이터 분석기(70); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用中等能量离子束散射的分光光度计，包括：产生离子的离子源（10），在平行光束中产生离子的准直器（20），加速平行光束的加速器（30） 脉冲加速离子束的脉冲离子束发生器（40），将脉冲离子束聚焦到样品（1）上的聚光镜 - 物镜（50），检测器（60），其检测光谱信号 从样品散射的聚焦离子束的脉冲和分析由检测器（60）检测的光谱信号的数据分析器（70）。
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