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公开(公告)号：KR1020150144849A
公开(公告)日：2015-12-29
申请号：KR1020140073413
申请日：2014-06-17
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 조사각도를조절하기위한장치및 방법에관한것으로서, 하전입자빔을방출하는하전입자빔 소스; 상기하전입자빔 소스와하기경통사이를연결하며, 센터링과오링의결합에의해이루어지는각도조절장치; 및상기각도조절장치와연결되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하며, 하전입자빔 프로브를형성시키는집속렌즈군을포함하는경통부;를포함하는하전입자빔 조사각조절장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种调整带电粒子束照射角度的装置及其方法，涉及一种带电粒子束照射角度调节装置，包括：带电粒子束源，其发射带电粒子束; 角度调节装置，其将带电粒子束源连接到筒体并通过中心环和O形环的联接而形成; 并且连接到角度调节装置的筒体通过电场或磁场收集带电粒子束，并且包括用于形成带电粒子束探针的聚焦透镜组。
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公开(公告)号：KR101615513B1
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：KR1020140073413
申请日：2014-06-17
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 조사각도를조절하기위한장치및 방법에관한것으로서, 하전입자빔을방출하는하전입자빔 소스; 상기하전입자빔 소스와하기경통사이를연결하며, 센터링과오링의결합에의해이루어지는각도조절장치; 및상기각도조절장치와연결되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하며, 하전입자빔 프로브를형성시키는집속렌즈군을포함하는경통부;를포함하는하전입자빔 조사각조절장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR100574775B1
公开(公告)日：2006-04-28
申请号：KR1020040028405
申请日：2004-04-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N35/02
Abstract: 본 발명은 이송장치의 위치에 따라 다중 모세관의 간격이 가변될 수 있는 간격 가변형 다중 모세관을 이용한 시료용액 이송장치에 관한 것이다. 이를 위해, 복수의 시료용액 각각을 동시에 흡입하여 이송하기 위하여, 복수의 시료용액을 흡입 및 배출할 수 있는 흡입배출수단(10); 일단이 흡입배출수단(10)에 연결되고 타단이 상기 각 시료용액에 담궈지는 복수의 모세관(10); 모세관(10)을 직교하는 XYZ축 방향으로 각각 이송시킬 수 있는 이송수단;을 포함하는 시료용액 이송장치에 있어서, 이송수단의 제 1 위치 및 제 2 위치에 대응하여 각 모세관(10)의 간격을 소정 간격으로 변이시킬 수 있는 간격변이수단이 제공된다.
모세관, 시료용액, 이송장치, 실린더, 공압, 모터, 샘플조, 바이오칩-
公开(公告)号：KR1020050103028A
公开(公告)日：2005-10-27
申请号：KR1020040028405
申请日：2004-04-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N35/02
CPC classification number: G01N35/10 , G01N35/1011 , G01N2035/0479 , G01N2035/1039
Abstract: 본 발명은 이송장치의 위치에 따라 다중 모세관의 간격이 가변될 수 있는 간격 가변형 다중 모세관을 이용한 시료용액 이송장치에 관한 것이다. 이를 위해, 복수의 시료용액 각각을 동시에 흡입하여 이송하기 위하여, 복수의 시료용액을 흡입 및 배출할 수 있는 흡입배출수단(10); 일단이 흡입배출수단(10)에 연결되고 타단이 상기 각 시료용액에 담궈지는 복수의 모세관(10); 모세관(10)을 직교하는 XYZ축 방향으로 각각 이송시킬 수 있는 이송수단;을 포함하는 시료용액 이송장치에 있어서, 이송수단의 제 1 위치 및 제 2 위치에 대응하여 각 모세관(10)의 간격을 소정 간격으로 변이시킬 수 있는 간격변이수단이 제공된다.
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