公开(公告)号：JPWO2009098788A1

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：JP2009552377

申请日：2008-03-25

Applicant: 電気化学工業株式会社

Inventor： 史博 中原 ,  史博 中原 ,  良三 野々垣 ,  良三 野々垣 ,  良典 照井 ,  良典 照井

IPC: H01J9/02

CPC classification number: H01J9/025 ,  H01J1/16 ,  H01J1/3044 ,  H01J9/042 ,  H01J37/073 ,  H01J37/3056 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

Abstract: 陰極が円錐台形状を有する電子銃であって放射電流密度が均一な電子銃を、効率よく製造する。タングステン又はモリブデンの単結晶ニードルに金属元素の酸化物を拡散させるための供給源を設けてなる陰極電子銃の製造方法であって、陰極である単結晶端部に、予め機械加工により平坦面を有する円錐台形状に形成後、集束ガリウムイオンビームにより前記平坦面表層を薄削除し再平坦化する。

公开(公告)号：JP2010086967A

公开(公告)日：2010-04-15

申请号：JP2009228377

申请日：2009-09-30

Applicant: Carl Zeiss Nts Gmbh ,  Nanotools Gmbh ,  カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハーCarl Zeiss NTS GmbH ,  ナノツールズ ゲーエムベーハー

Inventor： DREXEL VOLKER ,  MANTZ ULRICH ,  IRMER BERND ,  PENZKOFER CHRISTIAN

IPC: H01J37/073 ,  H01J1/304 ,  H01J9/02

CPC classification number: H01J37/065 ,  H01J1/3044 ,  H01J37/06 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30446 ,  H01J2201/30476 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2237/065 ,  Y10T29/49888

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron beam source with easy mounting and with long useful life. SOLUTION: A beam electron source includes a base, chips which are fixed to the base, separately extended from the base, equipped with a core which is applied with a surface made of a first material and a coating layer made of a second material, and providing a surface of the chip with the second material, a first electric terminal electrically connected with the coating layer, an extraction electrode having a gap facing to the chip, and a second electric terminal electrically connected with the extraction electrode. The beam electron source satisfies at least one of the following conditions: the electric conductivity of the first material is lower than one of 10 5 s/m, 10 3 s/m, 10s/m, 10 -1 s/m, 10 -3 s/m, 10 -5 s/m, or 10 -7 s/m, the electric conductivity of the second material is higher than one of 10 -7 s/m, 10 -5 s/m, 10 -3 s/m, 10 -1 s/m, 10 2 s/m, 10 4 s/m, or 10 6 s/m, or the ratio of the electric conductivity between the second material and the first material is greater than one of 10:1, 100:1, 10 4 , 10 6 , or 10 8 . COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供电子束源，安装方便，使用寿命长。 解决方案：束电子源包括基座，芯片固定到与基座分开延伸的基部，配备有芯，其被施加有由第一材料制成的表面和由第二材料制成的涂层 并且提供具有第二材料的芯片的表面，与涂层电连接的第一电端子，具有面向芯片的间隙的引出电极和与引出电极电连接的第二电端子。 束电子源满足以下条件中的至少一个：第一材料的电导率低于10 5 / s / m，10 3 s / m ，10s / m，10 -1 s / m，10 -3 s / m， SP> -7 s / m，第二材料的电导率高于10 -7 s / m，10 -5 m，10 -3 s / m，10 -1 s / m，10 2 s / SP> s / m或10 6 / s / m，或者第二材料与第一材料之间的电导率之比大于10:1,100:1,10:1， SP> 4 ，10 6 或10 8 。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：TW201919085A

公开(公告)日：2019-05-16

申请号：TW107126021

申请日：2018-07-27

Applicant: 英商伊溫斯科技公司 ,  EVINCE TECHNOLOGY LIMITED

Inventor： 泰勒 蓋瑞斯安德魯 ,  TAYLOR, GARETH ANDREW ,  摩倫 大衛安德魯詹姆士 ,  MORAN, DAVID ANDREW JAMES ,  卡爾 約翰彼得 ,  CARR, JOHN PETER ,  費拉 保羅 ,  FARRAR, PAUL ,  麻塞 馬克凱倫 ,  MASSEY, MARK KIERAN

IPC: H01J1/304 ,  H01J21/10 ,  H01J3/02

CPC classification number: H01J1/3044 ,  H01J3/022 ,  H01J3/027 ,  H01J21/105 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30426

Abstract: 提供一種用於控制電子流的裝置10。該裝置包括一陰極12、埋在一鑽石基板16中之一長形的電導體14、一陽極18及設於基板表面20上之一控制電極22，其用於改變在該電導體14之末端26之區域中之電場。亦提供一種製造該裝置10的方法。

Abstract in simplified Chinese: 提供一种用于控制电子流的设备10。该设备包括一阴极12、埋在一钻石基板16中之一长形的电导体14、一阳极18及设于基板表面20上之一控制电极22，其用于改变在该电导体14之末端26之区域中之电场。亦提供一种制造该设备10的方法。

公开(公告)号：TW201522972A

公开(公告)日：2015-06-16

申请号：TW103126739

申请日：2014-08-05

Applicant: 日立高新技術科學股份有限公司 ,  HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION

Inventor： 小堺智一 ,  KOZAKAI, TOMOKAZU ,  松田修 ,  MATSUDA, OSAMU ,  杉山安彦 ,  SUGIYAMA, YASUHIKO ,  相田和男 ,  AITA, KAZUO ,  荒卷文朗 ,  ARAMAKI, FUMIO ,  八坂行人 ,  YASAKA, ANTO ,  大庭弘 ,  OBA, HIROSHI

IPC: G01Q60/10 ,  G01Q60/24 ,  H01J1/304 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J1/3044 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/24 ,  G01Q70/08 ,  G01Q70/16 ,  H01J1/3048 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3002 ,  H01J2201/30415 ,  H01J2201/30496 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006

Abstract: 能夠位置再現性良好地製作形成於銥針尖的末端部的末端為1個原子的角錐結構，既能夠使得雜質不 易附著，又能夠長時間保持末端的1個原子。 銥針尖在銳化的〈210〉方位的單晶的末端部具有角錐結構，該角錐結構的末端僅透過1個銥原子形成，該銥原子由1個{100}結晶面和2個{111}結晶面包圍。將形成角錐結構的末端的1個銥原子作為第1層，第1層的正下方的第2層具有位於三角形的頂點的3個銥原子，第2層的正下方的第3層具有位於三角形的頂點和邊的6個銥原子。

Abstract in simplified Chinese: 能够位置再现性良好地制作形成于铱针尖的末端部的末端为1个原子的角锥结构，既能够使得杂质不 易附着，又能够长时间保持末端的1个原子。 铱针尖在锐化的〈210〉方位的单晶的末端部具有角锥结构，该角锥结构的末端仅透过1个铱原子形成，该铱原子由1个{100}结晶面和2个{111}结晶面包围。将形成角锥结构的末端的1个铱原子作为第1层，第1层的正下方的第2层具有位于三角形的顶点的3个铱原子，第2层的正下方的第3层具有位于三角形的顶点和边的6个铱原子。