差圧センサ及び差圧センサの製造方法

    公开(公告)号:JP2020148716A

    公开(公告)日:2020-09-17

    申请号:JP2019048414

    申请日:2019-03-15

    Abstract: 【課題】異なる位置から導入される流体の流路の内容積の差を少なくして高精度な測定を簡易な構造で行える差圧センサを提供する。 【解決手段】第一ケース部材11に設けられた第一台座部材21と、第二ケース部材12に設けられた第二台座部材22と、第一台座部材21と第二台座部材22との間に設けられ第一流体と第二流体との圧力差を検出するセンサチップ5とを備え、センサチップ5は、第一板部51と第二板部52との間で挟持されたダイアフラム部53を有する。第一ケース部材11の外面には第一開口11Aが形成され、第二ケース部材12の外面には第二開口12Aが形成され、第一ケース部材11の外面と第二ケース部材12の外面との間の中心Cがダイアフラム部53と一致し、かつ、ダイアフラム部53を挟んで第一板部51、第一台座部材21及び第一ケース部材11と第二板部52、第二台座部材22及び第二ケース部材12とを対称構造とする。 【選択図】図2

    光波長測定装置
    73.
    发明专利

    公开(公告)号:JPWO2018056208A1

    公开(公告)日:2019-07-04

    申请号:JP2017033445

    申请日:2017-09-15

    Abstract: 音響光学波長可変フィルタ(12)に高周波信号を加えて励振する高周波電圧発生回路(50)、基準波長発生器(13)、光波長変化型センサ(20)、音響光学波長可変フィルタ(12)から出力された出力光を基準波長発生器(13)と光波長変化型センサ(20)とに入力させる入力部(140)、基準波長発生器(13)から出力された出力光と光波長変化型センサ(20)で出力された出力光とを受光する測定光用受光器(30)、測定光用受光器(30)から出力される信号に基づいて光波長変化型センサ(20)の波長を演算する演算回路(60)、音響光学波長可変フィルタ(12)の温度を検知するフィルタ用温度検知部(91)、及びフィルタ用温度検知部(91)からの温度信号に基づいて音響光学波長可変フィルタ(12)に出力する周波数信号を制御する制御部(40)を備えた。

    センサモジュール及びセンサモジュールの製造方法
    79.
    发明专利
    センサモジュール及びセンサモジュールの製造方法 有权
    传感器模块和制造传感器模块的方法

    公开(公告)号:JP2016126017A

    公开(公告)日:2016-07-11

    申请号:JP2015255017

    申请日:2015-12-25

    CPC classification number: G01L9/0051

    Abstract: 【課題】複数の歪ゲージ間の出力にばらつきが少なく、出力調整が容易なセンサモジュールを提供すること。 【解決手段】ダイアフラム部10の平面部に形成された検出部20は、複数の歪ゲージ3と、歪ゲージ3のうち隣合う歪ゲージ3の間にそれぞれ接続された抵抗素子接続部4と、抵抗素子接続部4の一部を覆う導電体部6とを有し、抵抗素子接続部4のうち導電体部6から露出する第一直線部分411,421,431,441及び第二直線部分412,422,432,442と、導電体部6の第一直線部分411,421,431,441及び第二直線部分412,422,432,442を横切る辺61A、61B,62A,62B,63A,63B,64A,64Bとが直交する。抵抗素子接続部4と導電体部6とにX方向又はY方向に沿ったパターンずれが生じても、抵抗素子接続部4のうち導電体部6から露出した部分の面積は変化しない。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种传感器模块,其中多个应变片之间的输出变化小,并且可以调节输出。解决方案:形成在隔膜部分10的平面部分中的检测部分20 具有多个应变片3,连接在应变计3中的各相邻应变计3之间的电阻元件连接部4和覆盖电阻元件连接部4的一部分的导电体6,第一直线部411,421 电导体6露出的电阻元件连接部4的第二直线部412,422,432,442以及电导体6的侧面61A,61B,62A,62B,63A,63B,64A,64B 穿过第一直线段411,421,431,441和与直角相交的第二直线段412,422,432,442。 即使在电阻元件连接部4和电导体6中发生沿方向X或方向Y的图案偏移时,电导体6露出的电阻元件连接部4的部分的面积也不变化。图示: 图1

    圧力センサ
    80.
    发明专利
    圧力センサ 有权
    压力传感器

    公开(公告)号:JP2016099202A

    公开(公告)日:2016-05-30

    申请号:JP2014235835

    申请日:2014-11-20

    Inventor: 山田 信明

    Abstract: 【課題】軽量であり、操作部材を簡単に形成できる圧力センサを提供すること。 【解決手段】圧力センサ1は、圧力センサ素子10と、圧力センサ素子10に一体に接合され内部に圧力センサ素子10に被測定流体の圧力を導入する孔部21が形成された金属製のアダプター20と、アダプター20が収納される収納凹部31が形成され被接続部材2に接続される金属製のフィッティング部材30と、被接続部材2に設けられたバルブ3を押圧し被測定流体の圧力が導入される流路4とアダプター20の孔部21とを連通する連通路41が形成された操作部材40と、を備え、アダプター20とフィッティング部材30とは、塑性変形結合(メタルフロー)によって結合され、操作部材40は、アダプター20に当接する当接部42と、当接部42とは反対側に設けられバルブ3を押圧する押圧部43とを有する合成樹脂製部材である。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题:提供能够容易地形成按压部件的轻型压力传感器。解压缩装置:压力传感器1包括:压力传感器元件10; 与压力传感器元件10一体地连接并形成有用于将测量流体的压力引导到压力传感器元件10的孔21的金属适配器20; 形成有用于容纳适配器20并连接到连接构件2的壳体凹部31的金属配件构件30; 以及按压设置在连接部件2上的阀3的工作部件40,形成有连通路41,连通路41将被测流体的压力导入到其中的流路4与适配器20的孔21连通。 适配器20和装配构件30通过塑性变形的接头(金属流动)接合。 工作构件40由合成树脂制成,具有:与适配器20接触的接触部42; 以及设置在与接触部分42相对的一侧并按压阀3的按压部分43.选择的图示:图1

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