PROCEDE DE DEPOT PAR EPITAXIE EN PHASE GAZEUSE

    公开(公告)号:FR3057102A1

    公开(公告)日:2018-04-06

    申请号:FR1659611

    申请日:2016-10-05

    Abstract: L'invention concerne un Procédé de dépôt par épitaxie en phase gazeuse de silicium, de germanium ou de silicium-germanium sur une surface (35) semiconductrice monocristalline d'un substrat, ce procédé comprenant des étapes successives suivantes : disposer le substrat dans un réacteur d'épitaxie balayé par un gaz porteur ; porter la température du substrat à une première valeur ; introduire, pendant une première durée, au moins un premier gaz précurseur du silicium et/ou un gaz précurseur du germanium ; et réduire la température du substrat à une deuxième valeur, le procédé comprenant, à la fin de la première durée, le maintien de 1'introduction du premier gaz précurseur du silicium et/ou l'introduction d'un deuxième gaz précurseur du silicium, lesdits gaz ayant une pression partielle adaptée à former une couche de silicium ayant une épaisseur inférieure à 0, 5 nm.

    PROCEDE DE FABRICATION D'UN TRANSISTOR A EFFET DE CHAMP A CAPACITE PARASITE REDUITE

    公开(公告)号:FR3049110A1

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:FR1652403

    申请日:2016-03-21

    Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication, comprenant les étapes de : -fournir un substrat (100) comportant une couche de matériau semi-conducteur (133) surmontée d'une grille sacrificielle comportant un isolant de grille sacrificiel comportant : -une partie médiane, et -des bords surmontés d'espaceurs sacrificiels et présentant une épaisseur tox; -retirer l'isolant de grille sacrificiel et le matériau de grille sacrificiel; -former un dépôt conforme d'une épaisseur thk de matériau diélectrique à l'intérieur de la gorge formée pour former un isolant de grille, avec tox > thk ≥ tox/2 ; -former une électrode de grille (142) dans la gorge ; -retirer les espaceurs sacrificiels pour découvrir des bords (122) de la couche d'isolant de grille ; -former des espaceurs (150, 151) sur les bords (122) de la couche d'isolant de grille de part et d'autre de l'électrode de grille (142), ces espaceurs présentant une constante diélectrique au plus égale à 3,5.

    Structure de transistor ou de triode à effet tunnel et à nanocanal isolant
    80.
    发明公开
    Structure de transistor ou de triode à effet tunnel et à nanocanal isolant 审中-公开
    三极管三极管

    公开(公告)号:EP1816689A1

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:EP07101675.2

    申请日:2007-02-02

    CPC classification number: H01L45/00 B82Y10/00 H01L29/7613

    Abstract: L'invention concerne un dispositif microélectronique doté d'au moins un transistor ou triode, à modulation de courant tunnel de type Fowler-Nordheim reposant sur un substrat (101-100), la triode ou le transistor comprenant:
    - au moins un premier bloc (110) destiné à jouer le rôle de cathode et au moins un deuxième bloc (112) destiné à jouer le rôle d'anode, le premier bloc et le deuxième bloc reposant sur le substrat et étant séparés par une zone isolante (115) de canal reposant sur le substrat,
    - au moins une zone (118) de diélectrique de grille, reposant au moins sur ladite zone isolante (115) de canal, et au moins une grille (120) reposant sur ladite zone (118) de diélectrique de grille. L'invention concerne également un procédé de réalisation d'un tel dispositif.

    Abstract translation: 该器件具有隧道效应晶体管或三极管,其包括由沟道绝缘区(115)分开的阳极块(110)和阴极块(112)。 块和绝缘区位于衬底上,其中块包括具有不同材料的两层堆叠。 栅极介电区(118)位于绝缘区上,其中栅极(120)位于介电区上。 绝缘区的临界尺寸为1-10nm。 还包括用于生产微电子器件的独立权利要求。

Patent Agency Ranking