Abstract:
Dispositif de transfert thermique comprenant un empilement qui comprend : au moins une couche conductrice de la chaleur (3), présentant au moins une portion de récupération de chaleur (5), apte à être placée en regard d'une source de chaleur, et une portion d'évacuation de chaleur (6), apte à être placée en regard d'un puits thermique, et au moins une couche d'absorption de la chaleur (4), incluant une matière à changement de phase, dont une face est accolée à au moins une partie d'au moins une face de ladite couche conductrice de la chaleur. Dispositif électronique comprenant un tel dispositif de transfert thermique.
Abstract:
L'invention concerne un Procédé de dépôt par épitaxie en phase gazeuse de silicium, de germanium ou de silicium-germanium sur une surface (35) semiconductrice monocristalline d'un substrat, ce procédé comprenant des étapes successives suivantes : disposer le substrat dans un réacteur d'épitaxie balayé par un gaz porteur ; porter la température du substrat à une première valeur ; introduire, pendant une première durée, au moins un premier gaz précurseur du silicium et/ou un gaz précurseur du germanium ; et réduire la température du substrat à une deuxième valeur, le procédé comprenant, à la fin de la première durée, le maintien de 1'introduction du premier gaz précurseur du silicium et/ou l'introduction d'un deuxième gaz précurseur du silicium, lesdits gaz ayant une pression partielle adaptée à former une couche de silicium ayant une épaisseur inférieure à 0, 5 nm.
Abstract:
L'invention concerne un circuit intégré (1), comprenant : -un transistor à effet de champ (2), comprenant : -des première et deuxième électrodes de conduction (201, 202) ; -une zone de canal (203) disposée entre les première et deuxième électrodes de conduction ; -un empilement de grille (220) disposé à l'aplomb de la zone de canal, et comprenant une électrode de grille (222) ; -un point mémoire de type RRAM (31) ménagé sous la zone de canal, ou ménagé dans l'empilement de grille sous l'électrode de grille.
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un substrat hybride SOI/massif, comprenant les étapes suivantes : a) partir d'une plaquette SOI comprenant une couche semiconductrice monocristalline appelée couche SOI (3), sur une couche isolante (2), sur un substrat semiconducteur monocristallin (1) ; b) déposer sur la couche SOI au moins une couche de masquage (17, 18) et former des ouvertures traversant la couche de masquage, la couche SOI et la couche isolante jusqu'à atteindre le substrat ; c) faire croître par une alternance répétée d'étapes d'épitaxie sélective et de gravure partielle un matériau semi-conducteur (27) ; et d) graver des tranchées d'isolement entourant lesdites ouvertures remplies de matériau semiconducteur, en empiétant vers l'intérieur sur la périphérie des ouvertures.
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication, comprenant les étapes de : -fournir un substrat (100) comportant une couche de matériau semi-conducteur (133) surmontée d'une grille sacrificielle comportant un isolant de grille sacrificiel comportant : -une partie médiane, et -des bords surmontés d'espaceurs sacrificiels et présentant une épaisseur tox; -retirer l'isolant de grille sacrificiel et le matériau de grille sacrificiel; -former un dépôt conforme d'une épaisseur thk de matériau diélectrique à l'intérieur de la gorge formée pour former un isolant de grille, avec tox > thk ≥ tox/2 ; -former une électrode de grille (142) dans la gorge ; -retirer les espaceurs sacrificiels pour découvrir des bords (122) de la couche d'isolant de grille ; -former des espaceurs (150, 151) sur les bords (122) de la couche d'isolant de grille de part et d'autre de l'électrode de grille (142), ces espaceurs présentant une constante diélectrique au plus égale à 3,5.
Abstract:
L'invention concerne un dispositif microélectronique doté d'au moins un transistor ou triode, à modulation de courant tunnel de type Fowler-Nordheim reposant sur un substrat (101-100), la triode ou le transistor comprenant: - au moins un premier bloc (110) destiné à jouer le rôle de cathode et au moins un deuxième bloc (112) destiné à jouer le rôle d'anode, le premier bloc et le deuxième bloc reposant sur le substrat et étant séparés par une zone isolante (115) de canal reposant sur le substrat, - au moins une zone (118) de diélectrique de grille, reposant au moins sur ladite zone isolante (115) de canal, et au moins une grille (120) reposant sur ladite zone (118) de diélectrique de grille. L'invention concerne également un procédé de réalisation d'un tel dispositif.