公开(公告)号：CN103282319A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201180062824.6

申请日：2011-12-20

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 辻村知之 ,  西泽学 ,  小池章夫

IPC: C03C3/087 ,  C03C1/00 ,  C03C3/091 ,  C03C3/093 ,  G02B1/00 ,  G02F1/1333

CPC classification number: C03C3/091 ,  C03C3/087 ,  C03C3/093

Abstract: 本发明涉及一种无碱玻璃，其中，应变点为735℃以上，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10-7～40×10-7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s时的温度T2为1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s时的温度T4为1340℃以下，失透温度为1330℃以下，以基于氧化物的摩尔%表示，包含SiO2：66～69、Al2O3：12～15、B2O3：0～1.5、MgO：6～9.5、CaO：7～9、SrO：0.5～3、BaO：0～1和ZrO2：0～2，并且MgO+CaO+SrO+BaO为16～18.2，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.35以上，MgO/(MgO+CaO)为0.40以上且小于0.52，MgO/(MgO+SrO)为0.45以上。

公开(公告)号：CN103261109A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201180059101.0

申请日：2011-12-02

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 辻村知之 ,  西泽学 ,  小池章夫

IPC: C03C3/087 ,  C03C1/00 ,  C03C3/091 ,  C03C3/093

CPC classification number: C03C3/091 ,  C03C3/087

Abstract: 本发明涉及一种无碱玻璃，其中，应变点为725℃以上，50～300℃下的平均热膨胀系数为30×10-7～40×10-7/℃，玻璃粘度达到102dPa·s的温度T2为1710℃以下，玻璃粘度达到104dPa·s的温度T4为1320℃以下，以基于氧化物的摩尔%表示，包含SiO2：66～70、Al2O3：12～15、B2O3：0～1.5、MgO：大于9.5且为13以下、CaO：4～9、SrO：0.5～4.5、BaO：0～1和ZrO2：0～2，MgO+CaO+SrO+BaO为17～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.4以上，MgO/(MgO+CaO)为0.4以上，MgO/(MgO+SrO)为0.6以上，并且实质上不含碱金属氧化物。

公开(公告)号：CN103003054A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201180034592.3

申请日：2011-07-06

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  宫坂顺子 ,  中西博志

IPC: B29C59/02 ,  C03C19/00 ,  B29C33/38 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076

CPC classification number: B29D11/00769 ,  B24B9/10 ,  B29C59/002 ,  B29C59/026 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C19/00 ,  C03C2201/42 ,  C03C2204/08 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明涉及一种压印模具用含TiO2石英玻璃基材，具有主表面和侧面，其中，所述侧面的算术平均粗糙度(Ra)为1nm以下，所述侧面的10μm至1mm波长范围的凹凸的均方根(MSFR_rms)为10nm以下。

公开(公告)号：CN102417298A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201010299419.3

申请日：2010-09-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 西泽学 ,  中尾泰昌 ,  小池章夫 ,  加濑准一郎

IPC: C03C3/091

Abstract: 本发明提供比重小、膨胀系数小、且耐酸性优良的无碱玻璃。所述无碱玻璃以摩尔％表示，包含：SiO2：64～76、Al2O3：5～14、B2O3：5～16、MgO：1～16.5、CaO：0～14、SrO：0～6、BaO：0～2，且优选MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.1以上。

公开(公告)号：CN101959820A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106555.1

申请日：2009-02-26

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  斋藤健太 ,  邵龙 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也

IPC: C03C4/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B19/1415 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/70 ,  C03B2207/81 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用EUV光辐照时的范围内，其线性热膨胀系数基本为零，并具有极高的表面平滑度。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的TiO2含量为7.5至12质量％，线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，并且条纹应力水平的标准偏差(σ)在至少一个面内的30mm×30mm的区域内为0.03MPa以下。

公开(公告)号：CN101959817A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106333.X

申请日：2009-02-25

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54

Abstract: 本发明提供一种TiO2-SiO2玻璃，其在用作EUVL用曝光工具的光学部件时，当用高EUV能量光辐照时，所述玻璃的线性热膨胀系数基本上为零。本发明涉及含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1000℃以下，OH浓度为600ppm以上，线性温度系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，且在20至100℃温度范围内的平均线性热膨胀系数为50ppb/℃以下。

公开(公告)号：CN101959812A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106891.6

申请日：2009-02-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也 ,  桔优子

IPC: C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00

CPC classification number: C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。