公开(公告)号：CN101959812B

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN200980106891.6

申请日：2009-02-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也 ,  桔优子

IPC: C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00

CPC classification number: C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。

公开(公告)号：CN101959812A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980106891.6

申请日：2009-02-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也 ,  桔优子

IPC: C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00

CPC classification number: C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。