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公开(公告)号：KR1020060000815A
公开(公告)日：2006-01-06
申请号：KR1020040049786
申请日：2004-06-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01Q60/38 , H01L21/027 , H01L21/31 , H01L21/324 , H01L29/772
CPC classification number: G01Q60/38 , H01L21/0273 , H01L21/31 , H01L21/324 , H01L29/772
Abstract: 본 발명은 양자점 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 마이크로 머시닝 기술과 반도체 소자 제작 공정을 응용하여 끝이 뾰족한 탐침을 제작하고 리프트 오프 공정을 이용하여 탐침의 첨두부에 금속 양자점을 형성함으로써 테라 비트급 탐침형 정보 저장장치에 사용할 수 있고 정보의 센싱 능력을 향상시키면서 생산 제조원가를 낮추는 양자점 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 상기 목적은 (a) 캔틸레버 지지대의 상부에 탐침을 형성하는 단계; (b) 상기 캔틸레버 지지대의 상부에 다층막 형성후, 2회에 걸친 패턴 형성 및 트랜지스터의 채널 영역에 탐침이 위치하며 탐침의 양측 경사면에 소스 및 드레인 영역이 형성되도록 캔틸레버 아암을 형성하는 단계; (c) 상기 기판 상부에 포토레지스트를 도포하고 애싱하여 탐침의 첨두부를 노출시키는 단계; (d) 상기 포토레지스트의 상부에 금속막을 형성하고 상기 포토레지스트를 제거하여 탐침의 첨두부에만 금속막을 남기는 단계; (f) 상기 탐침의 첨두부에 금속점을 증착시키는 단계; 및 (g) 상기 캔틸레버 아암의 일부를 제거하여 캔틸레버 아암을 부상시키는 단계를 포함하는 양자점 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 제조 방법에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명의 양자점 트랜지스터 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조 방법은 마이크로 머시닝 기술과 반도체 소자 제작 공정을 응용하여 끝이 뾰족한 탐 침을 제작하고 리프트 오프 공정을 이용하여 탐침의 첨두부에 금속 양자점을 형성함으로써 테라 비트급 탐침형 정보 저장장치에 사용할 수 있고 정보의 센싱 능력을 향상시키면서 생산 제조원가를 낮추는 효과가 있다.
양자점, 원자간력, 현미경, 캔틸레버-
公开(公告)号：KR101809355B1
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：KR1020160032268
申请日：2016-03-17
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 고분자수지내에서의젖음성이향상되고, 분산성, 열전도특성및 전기전도특성이우수한삼차원탄소나노구조체및 그의제조방법이개시된다. 본발명에따른삼차원탄소나노구조체는이차원탄소소재상에일차원탄소소재가위치하여형성된삼차원탄소소재를포함하되, 삼차원탄소소재는표면에자기조립단분자층이형성되어있다.
Abstract translation: 一种三维碳纳米结构体及其制造方法，该三维碳纳米结构体在聚合物树脂中的润湿性提高，分散性，导热性，导电性优异。 根据本发明的包括由放置在二维碳材料的一维的碳材料形成的三维的碳材料的三维碳纳米结构，三维的碳材料是在表面上形成自组装单层。
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公开(公告)号：KR101779668B1
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：KR1020150138419
申请日：2015-10-01
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 비표면적이극대화된전기전도성의삼차원유무기하이브리드탄소소재및 그의제조방법이개시된다. 본발명의일 실시예에따른삼차원유무기하이브리드탄소소재는, 이차원탄소소재상에일차원탄소소재가위치하여형성된삼차원유무기하이브리드탄소소재로서, 삼차원탄소소재는표면에다공성금속산화물층이형성되어있다.
Abstract translation: 公开了一种具有最大比表面积的导电三维有机 - 无机混合碳材料及其制造方法。 在根据本发明的一个实施例的三维无机混合碳材料是由放置在二维碳材料的一维的碳材料形成的三维无机混合碳材料，三维的碳材料形成的表面上的多孔金属氧化物层 。
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公开(公告)号：KR101679693B1
公开(公告)日：2016-11-28
申请号：KR1020140165409
申请日：2014-11-25
Applicant: 전자부품연구원
IPC: C01B31/02
Abstract: 고순도의탄소나노튜브를이종의탄소소재상에고수율로제조할수 있는탄소나노튜브제조방법및 하이브리드탄소나노튜브복합체가개시된다. 본발명의일 실시예에따른탄소나노튜브제조방법에서는탄소지지체상에탄소나노튜브성장담지체를형성하고, 탄소나노튜브성장담지체에탄소나노튜브성장촉매를담지시킨후 탄소나노튜브성장촉매가담지된탄소나노튜브성장담지체상에탄소나노튜브를성장시켜탄소나노튜브가제조된다.
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公开(公告)号：KR1020160062810A
公开(公告)日：2016-06-03
申请号：KR1020140165409
申请日：2014-11-25
Applicant: 전자부품연구원
IPC: C01B31/02
CPC classification number: C01B32/16 , C01B32/162
Abstract: 고순도의탄소나노튜브를이종의탄소소재상에고수율로제조할수 있는탄소나노튜브제조방법및 하이브리드탄소나노튜브복합체가개시된다. 본발명의일 실시예에따른탄소나노튜브제조방법에서는탄소지지체상에탄소나노튜브성장담지체를형성하고, 탄소나노튜브성장담지체에탄소나노튜브성장촉매를담지시킨후 탄소나노튜브성장촉매가담지된탄소나노튜브성장담지체상에탄소나노튜브를성장시켜탄소나노튜브가제조된다.
Abstract translation: 公开了碳纳米管和混合碳纳米管复合材料的制备方法。 在本发明中，可以以高产率在两种类型的碳基材料上制备具有高纯度的碳纳米管。 根据本发明的一个实施方案，碳纳米管的制备方法通过在碳载体上形成碳纳米管生长支持元件来制备碳纳米管，在碳纳米管生长支持元件上负载碳纳米管生长催化剂，并在碳纳米管生长支持元件上生长碳纳米管 支撑碳纳米管生长催化剂的碳纳米管生长支撑元件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101618211B1
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：KR1020130166405
申请日：2013-12-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은메탈메쉬형성용산화구리잉크조성물및 이를이용한메탈메쉬형성방법에관한것으로, 더욱상세하게는공정 take-time을줄이고공정비용을절감할수 있으며광조사를통한소결공정으로기판의손상을최소화할수 있는메탈메쉬형성용산화구리잉크조성물및 이를이용한메탈메쉬형성방법에관한것이다. 본발명의메탈메쉬형성용산화구리잉크조성물은, 산화구리, 구리산화막을갖는구리입자또는구리전구체: 및광 조사에의해산화된구리를환원시키는아스코르브산을포함한다.
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公开(公告)号：KR1020150095420A
公开(公告)日：2015-08-21
申请号：KR1020140016694
申请日：2014-02-13
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 양친성 유기분자를 이용한 액상 그래핀 나노플레이트 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 액상 그래핀 나노플레이트 제조방법은 팽창 가능한 흑연을 열처리하여 팽창 흑연을 제조하는 1단계; 팽창 흑연을 황산 및 질산의 혼합용액에 넣고 반응시켜 팽창 흑연의 가장자리만을 기능화시키는 2단계; 및 양친성 유기분자가 용해된 용매에 기능화된 팽창 흑연을 첨가하고, 초음파 분쇄를 통해 기능화된 팽창 흑연을 액상에서 그래핀 나노플레이트로 박리시키는 3단계를 포함한다.
Abstract translation: 公开了使用两亲性有机分子制备石墨烯纳米板的方法。 根据本发明的实施方案，制备石墨烯纳米板的方法包括：通过热处理能够膨胀的石墨来制造膨胀石墨的第一步骤; 通过使膨胀石墨在硫酸和硝酸的混合溶液中反应而仅使膨胀石墨的边缘官能化的第二步骤; 以及将功能化膨胀石墨加入其中溶解两亲性有机分子的溶剂中，并将通过超声波粉碎功能化的膨胀石墨从液相分离成石墨烯纳米板的第三步骤。
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公开(公告)号：KR101545637B1
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：KR1020130157208
申请日：2013-12-17
Applicant: 전자부품연구원
IPC: C01B31/02
CPC classification number: C01B32/16
Abstract: 탄소지지체와탄소나노튜브가직접연결된형태의 3차원구조를갖는탄소나노구조체제조방법이개시된다. 본발명의일 실시예에따른탄소나노구조체제조방법은무전해도금을이용하여탄소지지체의표면에탄소나노튜브합성을위한금속촉매를담지하는 1단계; 및금속촉매로부터탄소나노튜브를성장시키되, 금속촉매가탄소나노튜브의상단팁 부위에위치하도록성장시키는 2단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020150077676A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：KR1020130166407
申请日：2013-12-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은산화구리잉크조성물및 이를이용한전극형성방법에관한것으로, 더욱상세하게는내열성이우수하여솔더링(soldering)dl 가능하고, 광조사를통한소결공정으로공정 take-time을줄이고공정비용을절감할수 있으며기판의손상을최소화할수 있는산화구리잉크조성물및 이를이용한전극형성방법에관한것이다. 본발명의산화구리잉크조성물은, 산화구리, 구리산화막을갖는구리입자또는구리전구체; 광조사에의해산화된구리를환원시키는환원제; 에폭시아세틸레이트(Epoxy acrylate), 폴리비닐아세탈(Polyvinyl acetal) 및페놀(phenol)계수지를포함하는바인더; 및용매를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种氧化铜油墨组合物及使用该氧化铜油墨组合物的电极的制造方法，更具体地说，涉及由于耐热性优异而能够焊接的组合物，能够缩短加工时间并降低加工成本 以及通过光辐射的烧结工艺来最小化衬底的损伤。 根据本发明，铜氧化物油墨组合物包括：铜颗粒或具有氧化铜和氧化铜膜的铜前体; 用于还原由光辐射氧化的铜的还原剂; 包含环氧丙烯酸酯，聚乙烯醇缩醛和酚醛树脂的粘合剂; 和溶剂。
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公开(公告)号：KR1020150077675A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：KR1020130166406
申请日：2013-12-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은산화구리잉크조성물및 이를이용한전극형성방법에관한것으로, 더욱상세하게는공정 take-time을줄이고공정비용을절감할수 있으며광조사를통한소결공정으로기판의손상을최소화할수 있는산화구리잉크조성물및 이를이용한전극형성방법에관한것이다. 본발명의산화구리잉크조성물은, 산화구리, 구리산화막을갖는구리입자또는구리전구체: 및광 조사에의해산화된구리를환원시키는환원제를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种氧化铜油墨组合物及使用该氧化铜油墨组合物的电极的制造方法，更具体地说，涉及能够缩短处理时间并降低工艺成本以及通过以下方法使基板损伤最小化的组合物 烧结过程通过光线辐射。 根据本发明，铜氧化物油墨组合物包括：铜颗粒或具有氧化铜和氧化铜膜的铜前体; 以及还原剂，用于还原被光辐射氧化的铜。
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