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公开(公告)号：KR1020170052470A
公开(公告)日：2017-05-12
申请号：KR1020160138547
申请日：2016-10-24
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/28 , H01L21/283 , H01L21/324 , H01L21/203 , H01L21/205
Abstract: 본발명은박막증착시반응성가스를혼입시켜금속의계면에너지를낮춤으로써아일랜드(island) 성장의억제하여연속적이고도균질한초박형박막성장을가능하게함과함께박막성장후 열처리또는광조사등의후처리를통해반응성가스성분을제거함으로써박막의전기적특성및 광학특성을향상시킬수 있는초박형금속연속박막및 그제조방법에관한것으로서, 본발명에따른초박형금속연속박막제조방법은증착대상금속을기판상에증착하여박막을형성함에있어서, 상기박막의형성시, 반응성가스를공급하여반응성가스가박막내에혼입되도록유도하는단계; 및형성된박막내의반응성가스성분을제거하는단계를포함하여이루어지는것을특징으로한다.
Abstract translation: 热处理或光照射等与这使得抑制后，本发明的后处理的薄膜的连续jeokyigodo均匀超薄膜生长在生长爱尔兰（岛）通过膜沉积过程中掺入的反应性气体降低金属表面能 本发明涉及一种超薄金属连续薄膜，其能够通过薄膜沉积方法通过去除反应性气体成分来改善薄膜的电特性和光学特性， 通过向薄膜中引入反应气体以引起反应气体并入薄膜中来形成薄膜; 并去除形成的薄膜中的反应性气体成分。
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公开(公告)号：KR101688401B1
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：KR1020140150130
申请日：2014-10-31
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/022425 , H01L31/0463 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521
Abstract: 박막태양전지의제조방법은투명기판의제1 면상에투명한제1 후면전극을증착하는단계; 제1 후면전극상에고전도성금속을포함하는제2 후면전극을증착하는단계; 제1 및제2 후면전극의이중층을분리하기위해제1 레이저스크라이빙을수행하는단계; 제2 후면전극상에셀레늄(Se) 또는황(S)을포함하는광흡수층을증착하는단계; 광흡수층을분리하기위해투명기판의제1 면과마주보는제2 면으로레이저를입사시켜제2 레이저스크라이빙을수행하는단계; 광흡수층상에투명전극을증착하는단계; 및투명전극을분리하기위해제2 면으로레이저를입사시켜제3 레이저스크라이빙을수행하는단계를포함한다. 이에따라, 기판입사레이저방식의패터닝을가능케하여패터닝공정의가격, 생산성, 정밀성을향상시키므로, 태양전지의경쟁력을확보할수 있다.
Abstract translation: 一种制造薄膜太阳能电池的方法包括：在透明基板的第一表面上沉积透明的第一后电极; 在所述第一后电极上沉积具有高导电金属的第二后电极; 执行第一激光划线工艺以分离第一和第二后电极的双层; 在第二后电极上沉积具有硒（Se）或硫（S）的光吸收层; 通过将激光输入到所述透明基板的第二表面以分离所述光吸收层来执行第二激光划线处理; 在所述光吸收层上沉积透明电极; 以及通过将激光输入到所述第二表面以分离所述透明电极来执行第三激光划线处理。 因此，可以以基板入射激光的方式进行图案化，以提高图案化处理的价格，生产率和精度。
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公开(公告)号：KR101575103B1
公开(公告)日：2015-12-08
申请号：KR1020140162457
申请日：2014-11-20
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C01B32/956 , B82B1/00 , C23C14/34
Abstract: 나노크기의주상입자조직을갖는초경도탄화규소박막은, 나노미터(nm)의폭을갖는장방형모양의입자들이기판의수직방향으로배열된결정질탄화규소와비정질탄화규소의복합구조를구성함으로써초경도값을갖는다. 이에따라, 탄화규소박막이초경도물성을갖게되어고온에서사용가능한절삭공구의코팅재료로사용가능하다.
Abstract translation: 具有纳米尺寸的柱状晶粒结构的超硬碳化硅薄膜通过形成晶体碳化硅和非晶质碳化硅的复合结构而具有超硬度值，其中具有纳米级（nm）宽度的矩形颗粒沿着 基质。 因此，具有超硬性的碳化硅薄膜可以用作可在高温下使用的切削工具的涂层材料。
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公开(公告)号：KR1020150097177A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：KR1020140018402
申请日：2014-02-18
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C23C28/04
Abstract: 본 발명은 초경모재 상에 코팅되는 다이아몬드박막을 제 1 박막층과 제 2 박막층의 이중층으로 구성하고, 제 1 박막층과 제 2 박막층의 압축잔류응력을 제어함으로써 다이아몬드박막과 초경모재 사이의 기계적 결합력을 향상시킴과 함께 다이아몬드박막의 박리 현상을 억제하여 다이아몬드 코팅공구 상에 코팅되는 다이아몬드박막의 두께를 증가시킬 수 있는 다이아몬드 코팅공구 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다이아몬드 코팅공구 제조방법은 초경모재 상에 제 1 박막층과 제 2 박막층을 순차적으로 증착하며, 상기 제 1 박막층과 제 2 박막층은 결정상의 다이아몬드박막이며, 상기 제 1 박막층은 제 2 박막층에 대비하여 상대적으로 큰 압축잔류응력을 갖도록 증착되고, 상기 제 2 박막층은 제 1 박막층에 대비하여 상대적으로 작은 압축잔류응력을 갖도록 증착되는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及金刚石涂层工具和制造方法，其能够通过将涂覆在碳化物基材上的金刚石膜形成第一和第二薄膜并控制金刚石薄膜和碳化物基材之间的机械结合力 通过抑制金刚石膜的分离现象，第一和第二薄膜的压缩残余应力和涂覆在涂层工具上的金刚石膜的厚度增加。 根据本发明，在制造方法中，第一和第二薄膜依次沉积在碳化物基材上，第一和第二薄膜是晶相金刚石薄膜，第一薄膜比第二薄膜具有比第二薄膜更大的压缩残余应力 薄膜，第二薄膜比第一薄膜具有更小的压缩残余应力。
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公开(公告)号：KR101284047B1
公开(公告)日：2013-07-09
申请号：KR1020110136213
申请日：2011-12-16
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/304
Abstract: CMP 패드 컨디셔너의 제조방법은 기판 상에 다이아몬드 박막을 형성하는 단계, 매트릭스 형태의 개구부를 갖는 마스크를 다이아몬드 박막 상에 위치시키는 단계, 마스크 상에 다이아몬드를 증착하여 다이아몬드 박막 상에 개구부에 대응하는 돌출부들을 형성하는 단계, 및 마스크를 제거하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 종래 CMP 패드 컨디셔너가 가진 컨디셔너의 부식과 다이아몬드의 탈착에 의한 문제점을 해결한 우수한 CMP 패드 컨디셔너를 제조할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101252669B1
公开(公告)日：2013-04-09
申请号：KR1020120071532
申请日：2012-07-02
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A method for rapidly growing diamond and an apparatus thereof are provided to secure a large-area thin film by using an HFCVD(Hot Filament Chemical Vapor Deposition). CONSTITUTION: The flow rate of precursor gas is controlled to control the concentration of atomic hydrogen. The precursor gas includes hydrogen and hydrocarbon. The chamber of an HFCVD apparatus includes a solid carbon source. The solid carbon source includes a structure of black lead. The structure of black lead has an opening part which is a space for moving gas. [Reference numerals] (AA) Mixed gas(hydrogen-hydrocarbon); (BB) Filament; (CC) Black lead structure; (DD) Substrate;
Abstract translation: 目的：提供快速生长金刚石的方法及其装置，以通过使用HFCVD（热丝化学气相沉积）固定大面积薄膜。 构成：控制前体气体的流量以控制原子氢的浓度。 前体气体包括氢和烃。 HFCVD装置的室包括固体碳源。 固体碳源包括黑色铅的结构。 黑色铅笔的结构具有作为气体移动空间的开口部分。 （标号）（AA）混合气体（氢 - 烃）; （BB）灯丝; （CC）黑铅结构; （DD）基材;
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公开(公告)号：KR101072444B1
公开(公告)日：2011-10-11
申请号：KR1020080121776
申请日：2008-12-03
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은 (1) 세라믹입자및 기지상을포함하는혼합조성물을세라믹몸체에도포하여표면층을형성시키는단계; (2) 상기표면층에포함된기지상을제거하여불규칙한요철모양의표면층을형성시키는단계; 및 (3) 상기기지상이제거된표면층에다이아몬드막을증착시키는단계를포함하는다이아몬드막이코팅된세라믹몸체의제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101012091B1
公开(公告)日：2011-02-07
申请号：KR1020080121295
申请日：2008-12-02
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 (1) 세라믹 몸체의 표면에 화학반응을 일으켜 반응 잔류물을 포함하는 표면층을 형성하는 단계; (2) 상기 세라믹 몸체의 표면층에 포함된 반응 잔류물을 제거하여 불규칙한 요철 모양의 표면층을 형성시키는 단계; 및 (3) 상기 불규칙한 요철 모양의 표면층에 다이아몬드막을 증착시키는 단계를 포함하는, 다이아몬드막이 코팅된 세라믹 몸체의 제조방법에 관한 것이다.
다이아몬드막, 표면 화학반응, 불규칙한 요철 모양, 식각, 증착-
公开(公告)号：KR100960595B1
公开(公告)日：2010-06-07
申请号：KR1020080061513
申请日：2008-06-27
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/20
CPC classification number: C30B29/16 , C23C16/407 , C30B25/02 , C30B28/12
Abstract: 본 발명은 박막 상에서의 표면 입자크기 및 표면 거칠기를 향상시켜 캐리어 이동도 특성 및 광산란 효과를 개선할 수 있는 박막 성장방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 박막 성장방법은 기판 상에 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들의 핵이 형성되는 제 1 단계와, 상기 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들 중 제 1 결정 성장방향을 갖는 제 1 결정입자들의 우선 성장을 유도하여, 우선 성장된 제 1 결정입자들로 이루어진 제 1 집합조직을 형성하는 제 2 단계 및 상기 다양한 결정 성장방향을 갖는 결정입자들 중 제 2 결정 성장방향을 갖는 제 2 결정입자들의 우선 성장을 유도하여, 우선 성장된 제 2 결정입자들로 이루어진 제 2 집합조직을 형성하는 제 3 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 제 2 집합조직을 구성하는 제 2 결정입자 각각의 표면 면적은 상기 제 1 집합조직을 구성하는 제 1 결정입자 각각의 표면 면적보다 큰 것을 특징으로 한다.
우선성장, 선택성장, 성장방향제어-
公开(公告)号：KR1020100042948A
公开(公告)日：2010-04-27
申请号：KR1020080102175
申请日：2008-10-17
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/31
Abstract: PURPOSE: A device with improved adhesive force between a diamond layer and a metal electrode layer under a high temperature oxidation atmosphere is provided to use a material from metal to oxide by maintaining the junction between diamond and metal electrodes. CONSTITUTION: A device comprises a diamond layer, a metal electrode layer and a buffer layer. The buffer layer is positioned between the diamond layer and the metal electrode layer. The buffer layer includes a layer repeatedly stacked with the layer selected from a group comprised of a (Me-N) layer, a (Si-N) layer, a (Me-Si-N) layer, a (B-N) layer, and a (Me-Si-N) layer.
Abstract translation: 目的：提供一种在高温氧化气氛下在金刚石层和金属电极层之间具有改善的粘合力的装置，以通过维持金刚石和金属电极之间的接合来使用金属与氧化物的材料。 构成：装置包括金刚石层，金属电极层和缓冲层。 缓冲层位于金刚石层和金属电极层之间。 缓冲层包括与由（Me-N）层，（Si-N）层，（Me-Si-N）层，（BN）层和 （Me-Si-N）层。
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