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公开(公告)号：KR100879728B1
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：KR1020080116800
申请日：2008-11-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/304 , B08B3/00 , G02F1/13
Abstract: 본 발명은 유연한 기판을 세정하기 위한 새로운 세정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 플렉시블 기판의 세정 방법은 플렉시블 기판을 넣고 플렉시블 기판의 양쪽 주면 상에 각각 위치하는 회전식 제1 롤러를 이용해 플렉시블 기판의 양쪽 주면에 부착된 불순물을 점착력을 이용하여 떼어내는 단계와, 제1 롤러에 비해 상대적으로 큰 점착력을 가진 회전식 제2 롤러를 이용하여 제1 롤러로부터 제2 롤러로 불순물을 전사시켜 제거하는 단계를 포함한다.
플렉시블 기판, 세정, 플렉시블 소자, 플렉시블 디스플레이-
公开(公告)号：KR100817215B1
公开(公告)日：2008-03-27
申请号：KR1020060119863
申请日：2006-11-30
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/336 , H01L29/78
CPC classification number: H01L51/055 , H01L51/0021 , H01L51/0023 , H01L51/105
Abstract: A self-aligned organic FET(field effect transistor) is provided to reduce parasitic capacitance by using a photosensitive polymer thin film as a gate electrode and by preventing a gate electrode from overlapping a source/drain electrode. A gate electrode is formed on a substrate(201) by using a photosensitive polymer thin film. A gate insulation layer(203) is formed on the substrate and the gate electrode. A source electrode(206) and a drain electrode(207) are formed on the gate insulation layer at both sides of a channel region in a manner that doesn't overlap the gate electrode. An organic semiconductor layer is formed on the gate insulation layer in the channel region. The gate insulation layer can be made of an organic or inorganic material with transparency. A transparent electrode can be used as the source electrode and the drain electrode.
Abstract translation: 提供了自对准的有机FET（场效应晶体管），通过使用光敏聚合物薄膜作为栅电极并防止栅电极与源/漏电极重叠来减小寄生电容。 通过使用感光性聚合物薄膜，在基板（201）上形成栅电极。 在基板和栅电极上形成栅极绝缘层（203）。 源极电极（206）和漏电极（207）以不与栅电极重叠的方式形成在沟道区两侧的栅极绝缘层上。 在沟道区域的栅极绝缘层上形成有机半导体层。 栅极绝缘层可以由具有透明性的有机或无机材料制成。 可以使用透明电极作为源电极和漏电极。
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公开(公告)号：KR100795103B1
公开(公告)日：2008-01-17
申请号：KR1020060094249
申请日：2006-09-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02F1/167
CPC classification number: G02F1/167 , G02F1/1303
Abstract: A microcapsule patterning method is provided to form a specific pattern without physical and chemical damage of the microcapsule by patterning the microcapsule through an ejector after manufacturing microcapsule slurry, thereby using the pattern as a pixel of an e-paper as a flat panel display and accordingly implementing a natural color display without deterioration of performance. A microcapsule patterning method comprises the following steps of: manufacturing a microcapsule slurry where a microcapsule and a soluble binder are mixed(S100); receiving the microcapsule slurry in a liquid ejector where an inlet and an outlet are formed(S110); and patterning a pixel using the microcapsule by applying the microcapsule slurry, received in the liquid ejector, on a substrate(S120). The liquid ejector applies the microcapsule slurry by using pressure.
Abstract translation: 提供微胶囊图案化方法，通过在制造微胶囊浆料之后通过喷射器图案化微胶囊来形成特定图案而不会对微胶囊造成物理和化学损伤，从而将图案作为电子纸的像素作为平板显示器 实现自然色彩显示，而不会降低性能。 微胶囊图案化方法包括以下步骤：制备混合微胶囊和可溶性粘合剂的微胶囊浆液（S100）; 在形成入口和出口的液体喷射器中接收微胶囊浆料（S110）; 以及通过将容纳在液体喷射器中的微胶囊浆料施加到基底上，使用微胶囊来构图像素（S120）。 液体喷射器通过使用压力来施加微胶囊浆料。
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74.发明授权유기물 전도체막의 미세 패터닝 방법, 이로부터 형성된미세 패턴화된 유기물 전도체막 및 이를 적용한 유기 박막트랜지스터 有权有机导体薄膜的精细图案化方法，通过该方法形成的精细图案化有机导体膜和使用其的有机薄膜晶体管
公开(公告)号：KR100668291B1
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：KR1020040103698
申请日：2004-12-09
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L51/40 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 유기물 전도체막의 미세 패터닝 방법, 이로부터 형성된 미세 패턴화된 유기물 전도체막 및 미세 패턴화된 유기물 전도체막을 적용시킨 유기 박막 트랜지스터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기물 전도체의 미세 패터닝 방법은 노광조건을 제어하고, 리프트 오프 방법을 적용하여 유기물의 특성에 영향을 주지 않으면서 미세 패터닝이 가능한 방법을 제공하는 것이다.
유기물, 미세 패터닝, 감광막, 리프트 오프-
公开(公告)号：KR1020060067103A
公开(公告)日：2006-06-19
申请号：KR1020050038558
申请日：2005-05-09
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02F1/167
CPC classification number: G02F1/167 , G02F2001/1676 , G02F2001/1678
Abstract: 천연색 전기영동 디스플레이 및 그 제작방법이 제공된다. 본 발명은 하부막 위에 위치하며 일정 간격을 갖고 배치된 복수개의 하부 전극과, 복수개의 하부 전극 상에 배치된 제1 내지 제3 포토레지스트 챔버와, 제1 내지 제3 포토레지스트 챔버에 각각 수용되며 전기장에 차별적으로 동작하여 빨간색, 초록색, 파란색을 독립적으로 표시하는 제1 내지 제3 전자잉크, 그리고 제1 내지 제3 포토레지스트 챔버를 사이에 두고 복수개의 하부 전극과 마주하며 일정 간격을 갖고 배치된 복수개의 상부 전극을 포함한다.
전기영동 디스플레이, 전자잉크, 포토레지스트 시트, 칼라 표시-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100576719B1
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：KR1020030096220
申请日：2003-12-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L51/0545 , H01L51/0018 , H01L51/0036 , H01L51/0055 , H01L51/0068
Abstract: 본 발명의 하부 게이트형 유기박막 트랜지스터의 제조방법은, 기판상에 게이트도전막패턴을 형성하는 단계와, 기판의 노출표면 및 게이트도전막 위에 게이트절연막을 형성하는 단계와, 게이트절연막 위에 게이트도전막패턴과 중첩되는 게이트절연막의 일부표면이 노출되도록 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 단계와, 게이트절연막의 노출표면 위에 유기반도체박막을 형성하는 단계와, 유기반도체박막 위에 유기반도체박막의 일부표면을 노출시키는 보호막패턴을 형성하는 단계와, 그리고 보호막패턴을 식각마스크로 이용하여 유기반도체박막의 노출표면이 제거된 유기반도체박막패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
유기박막 트랜지스터,-
公开(公告)号：KR100521696B1
公开(公告)日：2005-10-14
申请号：KR1020030087486
申请日：2003-12-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: C23C16/00
Abstract: 시간 분할 광도움(photo assisted) 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 광을 제공하는 광도움부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号：KR100503425B1
公开(公告)日：2005-07-22
申请号：KR1020030006797
申请日：2003-02-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 저분자 유기물 박막 및 유기물 소자를 위한 증착방법과 장치에 관한 것으로, 콜드월(cold wall) 형태의 저진공 유기물 기상 증착장치 및 이를 이용한 증착방법을 제공한다. 본 발명에 따른 콜드월 형태의 저진공 유기물 기상 증착장치는 콜드월 형태의 반응 챔버를 구비하며, 유기물 소스 재료를 가열하여 유기물 소스 기상으로 만들어 주는 유기물 소스부, 유기물 소스 기상을 기판까지 운반해주는 운반가스를 주입할 수 있는 샤워 링(shower ring) 또는 파이프 형태의 운반가스부, 유기물 박막이 형성될 기판을 지지하며 그 온도를 조절할 수 있는 기판부, 잔류 유기물 부산물들이 챔버 벽면에 증착되는 것을 방지하며 자기 세척(self cleaning)이 가능하도록 온도조절이 가능한 보호부 및, 증착 반응 동안에 챔버의 전체 압력을 수 mTorr 영역에서 수백 Torr 영역까지의 저진공으로 유지할 수 있는 진공 펌프부를 포함하여 구성된다. 이러한 증착장치를 이용하면 기존의 진공 증착법보다 고압에서 표면이 매우 평탄한(smooth) 유기물 박막을 형성할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050064648A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：KR1020030096220
申请日：2003-12-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L51/0545 , H01L51/0018 , H01L51/0036 , H01L51/0055 , H01L51/0068
Abstract: 본 발명의 하부 게이트형 유기박막 트랜지스터의 제조방법은, 기판상에 게이트도전막패턴을 형성하는 단계와, 기판의 노출표면 및 게이트도전막 위에 게이트절연막을 형성하는 단계와, 게이트절연막 위에 게이트도전막패턴과 중첩되는 게이트절연막의 일부표면이 노출되도록 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 단계와, 게이트절연막의 노출표면 위에 유기반도체박막을 형성하는 단계와, 유기반도체박막 위에 유기반도체박막의 일부표면을 노출시키는 보호막패턴을 형성하는 단계와, 그리고 보호막패턴을 식각마스크로 이용하여 유기반도체박막의 노출표면이 제거된 유기반도체박막패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020050054152A
公开(公告)日：2005-06-10
申请号：KR1020030087486
申请日：2003-12-04
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/52 , B05D1/60 , C23C16/4485 , C23C16/45565 , C23C16/482 , Y10S261/65
Abstract: 시간 분할 광도움(photo assisted) 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 광을 제공하는 광도움부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.
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